• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Трансформация радиационных дефектов в кремнии, имплантированном протонами, при низкотемпературной термообработке

С. 362-370.
Дьячкова И. Г., Новоселова Е. Г., Смирнов И. С.

Изучены особенности образования и трансформации радиационных дефектов в имплантированных ионами водорода слоях кремниевых пластин в процессе термической обработки. Методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии исследована эволюция радиационных дефектов в процессе отжига.