?
Критерий качества в УФ – литографии
С. 75–78.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Лучников П. А., Степанчиков С. В.
Предложены функциональные, технологические, структурные, экономические, экологические и локальные критерии, на основании которых строится обобщённый критерий качества технологического процесса ультрафиолетовой литографии, а также оборудования, непосредственно участвующего в его осуществлении. Для реализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах предложено техническое решение, удовлетворяющее предложенным критериям качества и имеющее высокую экономическую эффективность.
В книге
Ч. 7: Проблемы надежности и качества. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012.
Мыльникова А. В., Мыльников Л. А., Научно-техническая информация. Серия 2: Информационные процессы и системы 2026 № 2 С. 24–33
Представлены результаты сравнительной оценки качества машинного перевода, выполненного большими языковыми моделями (LLM): DeepSeek, Grok, Mistral, Qwen, GigaChat, Yandex, на основе перевода выразительных языковых средств (фразеологизмов, омонимов, каламбуров и т.д.) и текстов различных функциональных стилей. Качество перевода оценивалось количественно с помощью метрик когерентности (BLEU, METEOR, chrF) и качественно — путем экспертного анализа на соответствие критериям адекватности, ...
Добавлено: 27 февраля 2026 г.
Белова П. Е., В кн.: Подготовка экспертов гуманитарных специальностей в современных реалиях.: М.: Государственный институт русского языка им. А.С. Пушкина, 2025. С. 55–60.
В данной статье поднимается актуальная в настоящее время проблема определения качества онлайн-курсов,
обозначается возможность привлечения эксперта-лингвиста к анализу материалов курса и представляется новый вид лингвистической экспертизы, направленный на установление соответствия предоставленной информации заявленной программе курса. ...
Добавлено: 4 февраля 2026 г.
Ананин Д. П., Баранников К. А., Стрикун Н. Г. и др., Университетское управление: практика и анализ 2023 Т. 27 № 1 С. 12–22
В работе исследуются изменения качества российского высшего образования за последние три года сквозь призму мнения преподавателя как одного из ключевых акторов образовательного процесса. В фокусе исследования – основные факторы влияния на качество высшего образования и характер изменений образовательной среды в постпандемию, в частности, за счет применения цифровых решений. В статье представлены первичные (общие) результаты онлайн-опроса ...
Добавлено: 19 ноября 2025 г.
Чашкин Л. Б., Полесский С. Н., Тумковский С. Р., В кн.: Российский форум «Микроэлектроника 2025». 11-я Научная конференция «ЭКБ и микроэлектронные модули». Сборник тезисов. Научно-технологический университет «Сириус», 21-27 сентября 2025 г.: М.: Техносфера, 2025. С. 273–274.
Данное исследование анализирует взаимосвязь температуры и мощности в германиевом транзисторе МП37, выявляя их совместное влияние на интенсивность отказов через экспериментальные измерения и цифровое моделирование с использованием цифрового двойника. Основным результатом стало обнаружение критической точки температуры, после которой характер зависимости интенсивности отказов от температуры изменяется. ...
Добавлено: 24 октября 2025 г.
М.: Техносфера, 2025.
В выпуск включены тезисы докладов конференции, освещающие актуальные вопросы разработки, производства и применения электронной компонентной базы и электронных модулей. ...
Добавлено: 24 октября 2025 г.
Билятдинов К. З., Меняйло В. В., Орлов И. В., Вестник воздушно-космической обороны 2024 № 1(41) С. 100–107
В работе представлены схема декомпозиции информационных процессов, схемы информационных циклов управления, схема принятия управленческих решений по результатам оценки качества телекоммуникационных систем и схема реализации систем поддержки принятия решений в системах управления телекоммуникационных систем, имеющих в своем составе мультиагентные системы.
Совершенствование информационных циклов управления основано на использовании цикла Дёминга (PDCA), информационных ресурсов, а также апробированных методов и ...
Добавлено: 19 апреля 2024 г.
Александрова М. Ю., Мониторинг общественного мнения: Экономические и социальные перемены 2023 № 5 С. 26–49
Измерение эффективности социальной работы представляет собой актуальную прикладную задачу с учетом непрерывного роста интереса к оценке и разработке профессиональных стандартов и другим аспектам оказания социальных услуг. Исследования показывают, что, в зависимости от методов измерения и выбора эмпирического объекта, оценивание социальных услуг нередко дает большой разброс в получаемых результатах.Цель статьи — попытаться объединить исследовательскую и практическую ...
Добавлено: 5 декабря 2023 г.
М.: Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", 2022.
Добавлено: 12 января 2023 г.
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X
Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки
перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.).
Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами
российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными
сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций
и вузов, работающих ...
Добавлено: 12 ноября 2021 г.
М.: Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2021.
Российский форум «Микроэлектроника-2021» 7-я Научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Сборник тезисов Республика Крым, г. Алушта, 03–09 октября 2021 г. ...
Добавлено: 31 октября 2021 г.
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск II настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ...
Добавлено: 25 октября 2021 г.
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск I настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем –2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организацийи предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций ...
Добавлено: 26 августа 2021 г.
М.: МАКС Пресс, 2020.
В выпуске представлены тезисы докладов XIII Международной конференции «Кремний – 2020» и XII Школы молодых ученых по актуальным проблемам физики и технологии кремниевой электроники и нанометровых приборов, освещающие актуальные темы разработки процессов создания перспективной элементной базы и новых путей её использования. Кроме традиционных тем исследования процессов в объёме кремния, на поверхности и на границах раздела, ...
Добавлено: 29 ноября 2020 г.
ИППМ РАН, 2020.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники.
Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Добавлено: 29 сентября 2020 г.
Рекламно-издательский центр "ТЕХНОСФЕРА", 2020.
Специальный выпуск Международный форум «Микроэлектроника-2019» 5-я Международная научная конференция «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули». Республика Крым, г. Алушта, 30 сентября – 5 октября 2019 г. ...
Добавлено: 26 июня 2020 г.
НИИСИ РАН, 2019.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 18-ой Научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 24 по 27 июня 2019 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук».
Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников российских вузов и научно-производственных организаций в областях электроники, микроэлектроники и наноэлектроники, а также специализирующейся в ...
Добавлено: 15 марта 2020 г.
SPIE, 2019.
Добавлено: 30 ноября 2019 г.
Прокофьева Е. Н., Востриков А. В., Старых В. А., , in: 2019 International Science and Technology Conference "EastСonf" (March, 1-2 2019).: IEEE, 2019. P. 1–4.
Добавлено: 5 марта 2019 г.
М.: НИИСИ РАН, 2018.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 17-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 14 по 18 мая 2018 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», а также ООО «Галактический поток», при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант РФФИ № 18-07-20020).
Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников ...
Добавлено: 7 ноября 2018 г.
М., Зеленоград: ИППМ РАН, 2018.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники.
Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Добавлено: 21 октября 2018 г.
М.: НИИСИ РАН, 2017.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 16-ой Всероссийской научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 3 по 7 июля 2017 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук», Московским научно-техническим обществом радиотехники, электроники и связи имени А.С. Попова при поддержке Российского Фонда Фундаментальных Исследований (Грант ...
Добавлено: 13 сентября 2017 г.
Мулеев Е. Ю., Транспорт: наука, техника, управление 2016 № 8 С. 35–43
Рассматриваются подходы к изучению качества услуг общественного транспорта. Выделяются два подхода. Первый фокусируется на эксплуатационных параметрах функционирования системы. Второй подразумевает использование методов социологических исследований для определения пользовательских предпочтений. Показано, что обе перспективы в России имеют как свои преимущества, так и недостатки. Однако сама идея регулярных обследований качества пассажирских перевозок представляется сомнительной. ...
Добавлено: 31 октября 2016 г.