Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва

Ч. 7: Проблемы надежности и качества. М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012.

Ответственный редактор: Сигов А. С.

В настоящий сборник включены материалы Международной НТК INTERMATIC – 2012, отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоматериалов и технологий.

Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.

В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы IV Всероссийской научно – технической школы – конференции молодых ученых «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 4 – 6 декабря 2012 г., Москва.

Главы книги

Проектирование сверхвысоковакуумного модульного оборудования электронного производства с учетом уровня привносимых загрязнений

Степанчиков С. В., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 7: Проблемы надежности и качества.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 129–132.

Проведена оценка уровня загрязнения микрочастицами технологической среды при работе сверхвысоковакуумного модульного оборудования. Рассмотрены составляющие уровня загрязнения микрочастицами привносимыми в вакуумный объём из атмосферы, с напускаемыми газами и от работающих внутрикамерных механических и технологических систем. ...

Добавлено: 3 февраля 2013 г.

Критерий качества в УФ – литографии

Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 7: Проблемы надежности и качества.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 75–78.

Предложены функциональные, технологические, структурные, экономические, экологические и локальные критерии, на основании которых строится обобщённый критерий качества технологического процесса ультрафиолетовой литографии, а также оборудования, непосредственно участвующего в его осуществлении. Для реализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах предложено техническое решение, удовлетворяющее предложенным критериям качества и имеющее высокую экономическую эффективность. ...

Добавлено: 5 февраля 2013 г.

Алгоритм выбора технологического решения в ультрафиолетовой литографии

Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 7: Проблемы надежности и качества.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 82–87.

В настоящей работе предлагается метод выбора технологического решения для ультрафиолетового литографического оборудования из ряда недоминируемых альтернатив, также предложен алгоритм выбора недоминируемго решения при разработке технологического процесса в ультрафиолетовой литографической технологии и алгоритм поиска технических решений литографических установок. ...

Добавлено: 5 февраля 2013 г.

Обобщенный критерий оценки качества оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии

Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 7: Проблемы надежности и качества.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 88–92.

В работе рассматриваются основные дефекты технологического процесса иммерсионной ультрафиолетовой литографии, предлагается упорядоченная система критериев оценки качества и интегральный обобщенный критерий качества, используемые при автоматизированном проектировании оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии и позволяющие выполнить научно обоснованный, технически целесообразный, технологически и экономически выгодный выбор параметров нового технического решения. ...

Добавлено: 5 февраля 2013 г.

Ключевые слова: физическая электроника, технология радиоэлектронного приборостроения, радиоматериалы