?
Влияние материала затвора МДП-структур на процессы сильнополевой зарядовой деградации подзатворного диэлектрика
Выполнено сравнительное исследование процессов сильнополевой зарядовой
деградации подзатворного диэлектрика структур металл-диэлектрик-полупроводник (МДП)
с алюминиевым и поликремниевым затвором. Зарядовые явления в МДП-структурах
изучали методом сильнополевой инжекции электронов в диэлектрик в режиме возрастания
плотности стрессового инжекционного тока с кратковременными переключениями
в измерительный режим при постоянной низкой плотности инжекционного тока.
Использование данного метода позволило получить новые данные о процессах зарядовой
деградации подзатворного диэлектрика МДП-структур с различным материалом затвора
при сильнополевых инжекционных воздействиях. Установлено, что в МДП-структурах с
поликремниевым затвором, легированным фосфором за счет образования тонкой пленки
фосфорно-силикатного стекла существенно снижается скорость протекания процессов
зарядовой деградации, а также более чем на порядок повышается средняя величина
заряда, инжектированного в подзатворный диэлектрик до пробоя при сильнополевом
стрессовом испытании.