• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Критерий качества в УФ – литографии

С. 75-78.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Лучников П. А., Степанчиков С. В.

Предложены функциональные, технологические, структурные, экономические, экологические и локальные критерии, на основании которых строится обобщённый критерий качества технологического процесса ультрафиолетовой литографии, а также оборудования, непосредственно участвующего в его осуществлении. Для реализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах предложено техническое решение, удовлетворяющее предложенным критериям качества и имеющее высокую экономическую эффективность.