?
Технология формирования и диагностика параметров растущих наноразмерных пленок
С. 31–38.
Смирнов И. С., Новоселова Е. Г.
Рассмотрены вопросы определения параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования методом in-situ рентгеновской рефлектометрии
Язык:
русский
Седов Е. А., Голоколенов И. А., Konstantinidis G. и др., , in: Cryogenics 2019. Proceedings of the 15th IIR International Conference: Prague, Czech Republic, April 8-11, 2019Vol. 15.: P.: IIF-IIR, 2019. P. 363–368.
Добавлено: 11 января 2020 г.
Арутюнов К. Ю., Zavialov Vitalii, Седов Е. А. и др., Physica Status Solidi - Rapid Research Letters 2019 No. 1800317 P. 1–5
Добавлено: 18 января 2019 г.
Налимов С. А., Шашин Д. Е., Юрин А. И., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC– 2018», 19–23 ноября 2018 г.: М.: Московский технологический университет (МИРЭА), 2018. Гл. 1 С. 156–159.
На подложках аморфных и кристаллических материалов реактивным магнетронным распылением выращены (нетангенциальный механизм роста) пленки ZnO с
текстурированием кристаллической фазы по направлению <0001>, соответствующему
оси симметрии 63. Отжиг на воздухе уменьшает содержание рентгеноаморфной фазы,
концентрацию собственных точечных дефектов и разориентацию кристаллитов пленок
ZnO. ...
Добавлено: 12 декабря 2018 г.
Налимов С. А., Багдасарян С. А., Юрин А. И. и др., В кн.: Материалы XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» (Москва, КВЦ «Сокольники, 2018, 24-26 апреля 2018г.). М.: Новелла. 2018, 272с.: Новелла, 2018. С. 154–159.
Рассмотрено влияние условий формирования на состав и строение наноструктурированных пленок нитридов металлов (TiN, ZrN и AlN), пленок алмаза и алмазоподобных углеродных пленок. Пленки TiN, ZrN и AlN получали методами дугового разряда и ВЧ-магнетронного
распыления. Пленки алмаза выращивали из газовой смеси водорода и метана, активированной
дуговым разрядом. Алмазоподобные углеродные пленки получали методами ВЧ-магнетронного
распыления, диодного ВЧ-разряда в газовой смеси ...
Добавлено: 1 июня 2018 г.
Пруцков Г. В., Пашаев Э. М., Субботин И. А. и др., В кн.: Первый российский кристаллографический конгресс. Сборник тезисов.: М.: НП-Принт, 2016. С. 134–134.
В работе показано использование комплементарного подхода к анализу серии разнородных экспериментов на примере рентгеновских методов исследований. ...
Добавлено: 14 февраля 2017 г.
Тихонов А. М., Асадчиков В. Е., Волков Ю. О. и др., Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики 2016 Т. 104 № 12 С. 880–887
Применив модельно-независимый подход к восстановлению профилей электронной концентрации по данным рентгеновской рефлектометрии, нами прослежен процесс упорядочения мультислоя из бислоев DSPC на кремнезольной подложке. По нашему мнению, электропорация бислоев в поле анионных наночастиц кремнезема значительно ускоряет процесс насыщения их Na+ и Н2О, что объясняет как относительно небольшое время формирования структуры мультислоя, так и избыток концентрации электронов ...
Добавлено: 15 декабря 2016 г.
Likhachev I. A., Subbotin I. A., Prutskov G. V. и др., , in: First AfLS Conference and Workshop 2015. Book of abstracts.: [б.и.], 2015. P. 23–23.
Добавлено: 17 июня 2016 г.
Пруцков Г. В., Рогачев А. В., Терентьев А. В., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2016. С. 284–284.
В работе показаны результаты структурных исследований гетерокомпозиций Si/EuO/cap-layer, при помощи совместной обработки результатов рентгеновской дифракции и рефлектометрии. Получены профили распределения компонент поляризуемости для образцов по глубине. ...
Добавлено: 17 июня 2016 г.
Пруцков Г. В., Лихачев И. А., В кн.: Сборник аннотаций национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследования наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования" (СИН НАНО 2015), г. Москва, 6 - 10 июля 2015 г.: М.: НИЦ «Курчатовский институт», 2015. С. 105–106.
В работе описан подход комплексного обсчета данных рентгеновской дифракции и рефлектометрии для структур спинтроники. ...
Добавлено: 13 июля 2015 г.
Дровосеков А. Б., Крейнес Н. М., Савицкий А. О. и др., Журнал экспериментальной и теоретической физики 2015 Т. 147 № 6 С. 1204–1219
Изучено влияние толщины прослойки хрома на магнитное состояние многослойной структуры [Fe/Cr/Gd/Cr]n. Методами СКВИД-магнитометрии и ферромагнитного резонанса в интервале температур 4.2 - 300К исследована серия структур Fe/Cr/Gd с толщинами прослойки Cr в диапазоне 4 - 30Å. Для описания экспериментальных результатов используется модель эффективного поля, учитывающая биквадратичный вклад в энергию межслойного обмена, а также неоднородное распределение намагниченности ...
Добавлено: 9 июня 2015 г.
Новоселова Е. Г., Смирнов И. С., Монахов И. С. и др., В кн.: Тезисы докладов Всероссийского совещания по использованию рассеяния нейтронов и синхротронного излучения в конденсированных средах (РНСИ-КС-2014).: СПб.: ФГБУ "ПИЯФ" НИЦ "Курчатовский институт", 2014. С. 211–211.
В докладе описан рентгенорефлектометрический метод определения пористости пленок наноразмерной толщины (10-150 нм) и приведены результаты измерений пленок ПФМС. ...
Добавлено: 11 марта 2015 г.
Пруцков Г. В., Ковальчук М. В., Пашаев Э. М. и др., В кн.: Нанотехнологии функциональных материалов (НФМ’14): Труды международной научно-технической конференции.: СПб.: Издательство Санкт-Петербургского политехнического университета, 2014. С. 423–423.
В статье приводится исследование структур различных новых функциональных материалов, таких как эпитаксиальные слои оксида европия на кремнии или гетероструктуры на основе твердых растворов вида InP/AlGaAs/InAs/InGaAs/InAlAs при помощи методов высокоразрешающей рентгеновской дифракции и рентгеновской рефлектометрии. Полученные этими методиками результаты показали хорошее согласование как друг с другом, так и с другими методами изучения структурного совершенства материалов, такими как ...
Добавлено: 25 декабря 2014 г.
Пруцков Г. В., Субботин И. А., Ковальчук М. В. и др., , in: XTOP 2014, Book of abstract. 12th Biennial Conference on High-Resolution X-Ray Diffraction and Imaging, 14 - 19 september 2014.: [б.и.], 2014. P. 186–186.
Добавлено: 25 декабря 2014 г.
Смирнов И. С., Kondrashov P. E., Baranov A. M., Solid state Technology 1999 Vol. 42 No. 5 P. 53–58
Добавлено: 22 марта 2013 г.
Смирнов И. С., Монахов И. С., Егоров А. А. и др., Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники 2013 № 1 С. 34–37
В настоящее время особую значимость приобретают методы мониторинга, позволяющие измерять параметры пленочных структур непосредственно во время их формирования – in-situ методы. Применение этих методов способствует получению пленок с заданными характеристиками, позволяя оперативно корректировать режимы технологического процесса. В статье описываются возможности метода in-situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок в процессе их формирования.Приведены результаты экспериментов ...
Добавлено: 19 марта 2013 г.
Новоселова Е. Г., Смирнов И. С., Егоров А. А. и др., В кн.: IX Международная конференция и VIII Школа молодых ученых «Кремний-2012». Книга тезисов.: СПб.: Научно-образовательный центр нанотехнологий РАН, 2012. С. 304–304.
В докладе приводятся описание созданной экспериментальной установки для напыления наноразмерных пленок различных материалов, а также результаты экспериментов по магнетронному напылению наноразмерных пленок кремния и других материалов на различные подложки. На основе экспериментальных данных выявлены границы применимости метода и требования к процессам напыления и условиям измерения. ...
Добавлено: 13 декабря 2012 г.
Егоров А. А., Монахов И. С., Новоселова Е. Г. и др., В кн.: Труды ХХII Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 9-14 июля 2012 г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2012. С. 354–366.
В статье подчеркивается актуальность in situ методов контроля параметров наноразмерных пленок, изложены теоретические основы метода in situ рентгеновской рефлектометрии, обосновывается перспективность данного метода по сравнению с другими широко известными методами. Авторами приведены результаты экспериментов и расчета временных зависимостей параметров (плотности, шероховатости поверхности) наноразмерных пленок углерода, алюминия и титана. На основе этих данных продемонстрированы возможности и указаны ...
Добавлено: 13 декабря 2012 г.