Влияние отжига на строение пленок ZnO, выращенных магнетронным распылением

С. А. Налимов; Шашин Д. Е.; А. И. Юрин

АБВ
АБВ
АБВ

Обычная версия сайта

Приоритетные направления

по году

Тематика

Новости

15 мая 2026 г.

В НИУ ВШЭ разрабатывают нейросеть для сферы науки и инноваций

Исследователи НИУ ВШЭ учат большие языковые модели понимать русскоязычную научную терминологию, увеличивая при этом их энергоэффективность. Адаптированная модель работает в 2,7 раза быстрее и требует на 73% меньше памяти, чем исходная открытая модель, что позволяет запускать ее на более доступном оборудовании. Программа прошла государственную регистрацию.

15 мая 2026 г.

Стартовал совместный спецпроект бренд-медиа Вышки IQ Media и iFORA ИСИЭЗ

В мае 2026 года стартовал научно-популярный проект «Искусственный интеллект: технологии, данные и будущее», который стал результатом работы двух команд — проекта iFORA Института статистических исследований и экономики знаний НИУ ВШЭ и редакции бренд-медиа IQMedia. Медийно-аналитический спецпроект посвящен современному развитию искусственного интеллекта и аналитике больших данных.

14 мая 2026 г.

<a>Ученые ФКН ВШЭ представили работы в сфере ИИ и биоинформатики на ICLR 2026

Ученые Института искусственного интеллекта и цифровых наук факультета компьютерных наук ВШЭи студенты трека «ИИ360: Инженерия искусственного интеллекта» бакалаврской программы «Прикладная математика и информатика» приняли участие в международной конференции ICLR — одном из самых авторитетных мировых форумов в области машинного обучения и представления данных. В этом году конференция состоялась в Рио-де-Жанейро (Бразилия).

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации

?

Влияние отжига на строение пленок ZnO, выращенных магнетронным распылением

Гл. 1. С. 156–159.

Налимов С. А., Шашин Д. Е., Юрин А. И.

На подложках аморфных и кристаллических материалов реактивным магне-
тронным распылением выращены (нетангенциальный механизм роста) пленки ZnO с
текстурированием кристаллической фазы по направлению <0001>, соответствующему
оси симметрии 63. Отжиг на воздухе уменьшает содержание рентгеноаморфной фазы,
концентрацию собственных точечных дефектов и разориентацию кристаллитов пленок
ZnO.

Язык: русский

Текст на другом сайте

Ключевые слова: nanofilms нанопленки пленки ZnO

В книге

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC– 2018», 19–23 ноября 2018 г.

М.: Московский технологический университет (МИРЭА), 2018.

The enhancement of the critical temperature in thin aluminium films

Седов Е. А., Голоколенов И. А., Konstantinidis G. и др., , in: Cryogenics 2019. Proceedings of the 15th IIR International Conference: Prague, Czech Republic, April 8-11, 2019Vol. 15.: P.: IIF-IIR, 2019. P. 363–368.

Добавлено: 11 января 2020 г.

Nanoarchitecture: Toward Quantum-Size Tuning of Superconductivity.

Арутюнов К. Ю., Zavialov Vitalii, Седов Е. А. и др., Physica Status Solidi - Rapid Research Letters 2019 No. 1800317 P. 1–5

Добавлено: 18 января 2019 г.

Защитные наноструктурированные пленки нитридов металлов (TiN, ZrN, AlN) и углеродных материалов

Налимов С. А., Багдасарян С. А., Юрин А. И. и др., В кн.: Материалы XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» (Москва, КВЦ «Сокольники, 2018, 24-26 апреля 2018г.). М.: Новелла. 2018, 272с.: Новелла, 2018. С. 154–159.

Рассмотрено влияние условий формирования на состав и строение наноструктурированных пленок нитридов металлов (TiN, ZrN и AlN), пленок алмаза и алмазоподобных углеродных пленок. Пленки TiN, ZrN и AlN получали методами дугового разряда и ВЧ-магнетронного распыления. Пленки алмаза выращивали из газовой смеси водорода и метана, активированной дуговым разрядом. Алмазоподобные углеродные пленки получали методами ВЧ-магнетронного распыления, диодного ВЧ-разряда в газовой смеси ...

Добавлено: 1 июня 2018 г.

Технология формирования и диагностика параметров растущих наноразмерных пленок

Смирнов И. С., Новоселова Е. Г., В кн.: Функциональные наноматериалы для космической техники. Труды 2-й Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых.: М.: МИЭМ, 2011. С. 31–38.

Рассмотрены вопросы определения параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования методом in-situ рентгеновской рефлектометрии ...

Добавлено: 20 февраля 2014 г.