Порометрия наноразмерных пленок рентгеновским методом

Е. Г. Новоселова; И. С. Смирнов; И. С. Монахов; Касьянов О. М.

АБВ
АБВ
АБВ

Обычная версия сайта

Приоритетные направления

по году

Тематика

Новости

14 мая 2026 г.

<a>Ученые ФКН ВШЭ представили работы в сфере ИИ и биоинформатики на ICLR 2026

Ученые Института искусственного интеллекта и цифровых наук факультета компьютерных наук ВШЭи студенты трека «ИИ360: Инженерия искусственного интеллекта» бакалаврской программы «Прикладная математика и информатика» приняли участие в международной конференции ICLR — одном из самых авторитетных мировых форумов в области машинного обучения и представления данных. В этом году конференция состоялась в Рио-де-Жанейро (Бразилия).

14 мая 2026 г.

«Физика - это то, на чем строится мир»

Стипендиат Фонда Владимира Потанина физик Нина Джанаева занимается исследованиями в области нанофотоники. В интервью проекту «Молодые ученые Вышки» она рассказала о наноколодцах, научной интуиции и пользе физики для приготовления слоек с кремом франжипан.

13 мая 2026 г.

Исследователи Вышки - о бездомности, психологии смысла, курении и правах пациентов

В конце апреля в культурном центре Community состоялся третий полуфинал девятого сезона «Научных боев». Четыре исследователя пробирались через импровизированные джунгли социальных проблем, медицинских прав и психологических лабиринтов. У каждого было 10 минут, никаких презентаций — только реквизит, харизма и истории, от которых захватывало дух.

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации

?

Порометрия наноразмерных пленок рентгеновским методом

С. 211–211.

Новоселова Е. Г., Смирнов И. С., Монахов И. С., Касьянов О. М.

В докладе описан рентгенорефлектометрический метод определения пористости пленок наноразмерной толщины (10-150 нм) и приведены результаты измерений пленок ПФМС.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: наноразмерные пленки porosimetry nanoscale films порометрия

В книге

Тезисы докладов Всероссийского совещания по использованию рассеяния нейтронов и синхротронного излучения в конденсированных средах (РНСИ-КС-2014)

СПб.: ФГБУ "ПИЯФ" НИЦ "Курчатовский институт", 2014.

Технология формирования и диагностика параметров растущих наноразмерных пленок

Смирнов И. С., Новоселова Е. Г., В кн.: Функциональные наноматериалы для космической техники. Труды 2-й Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых.: М.: МИЭМ, 2011. С. 31–38.

Рассмотрены вопросы определения параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования методом in-situ рентгеновской рефлектометрии ...

Добавлено: 20 февраля 2014 г.

Применение метода in-situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок кремния

Новоселова Е. Г., Смирнов И. С., Егоров А. А. и др., В кн.: IX Международная конференция и VIII Школа молодых ученых «Кремний-2012». Книга тезисов.: СПб.: Научно-образовательный центр нанотехнологий РАН, 2012. С. 304–304.

В докладе приводятся описание созданной экспериментальной установки для напыления наноразмерных пленок различных материалов, а также результаты экспериментов по магнетронному напылению наноразмерных пленок кремния и других материалов на различные подложки. На основе экспериментальных данных выявлены границы применимости метода и требования к процессам напыления и условиям измерения. ...

Добавлено: 13 декабря 2012 г.

Рентгеновская рефлектометрия in situ. Возможности и ограничения

Егоров А. А., Монахов И. С., Новоселова Е. Г. и др., В кн.: Труды ХХII Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 9-14 июля 2012 г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2012. С. 354–366.

В статье подчеркивается актуальность in situ методов контроля параметров наноразмерных пленок, изложены теоретические основы метода in situ рентгеновской рефлектометрии, обосновывается перспективность данного метода по сравнению с другими широко известными методами. Авторами приведены результаты экспериментов и расчета временных зависимостей параметров (плотности, шероховатости поверхности) наноразмерных пленок углерода, алюминия и титана. На основе этих данных продемонстрированы возможности и указаны ...

Добавлено: 13 декабря 2012 г.