Защитные наноструктурированные пленки нитридов металлов (TiN, ZrN, AlN) и углеродных материалов

С. А. Налимов; Багдасарян С. А.; А. И. Юрин; Борисов В. В.

?

Защитные наноструктурированные пленки нитридов металлов (TiN, ZrN, AlN) и углеродных материалов

С. 154–159.

Налимов С. А., Багдасарян С. А., Юрин А. И., Борисов В. В.

Рассмотрено влияние условий формирования на состав и строение наноструктуриро-
ванных пленок нитридов металлов (TiN, ZrN и AlN), пленок алмаза и алмазоподобных углерод-
ных пленок. Пленки TiN, ZrN и AlN получали методами дугового разряда и ВЧ-магнетронного
распыления. Пленки алмаза выращивали из газовой смеси водорода и метана, активированной
дуговым разрядом. Алмазоподобные углеродные пленки получали методами ВЧ-магнетронного
распыления, диодного ВЧ-разряда в газовой смеси циклогексана и водорода и распыления гра-
фита ионным пучком. Исследована взаимосвязь состава и строения синтезированных пленок с
механическими свойствами слоистых структур на их основе.

Язык: русский

Ключевые слова: diamond-like carbon films nanofilms нанопленки наноструктурированные пленки

В книге

Материалы XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» (Москва, КВЦ «Сокольники, 2018, 24-26 апреля 2018г.). М.: Новелла. 2018, 272с.

Новелла, 2018.

The enhancement of the critical temperature in thin aluminium films

Седов Е. А., Голоколенов И. А., Konstantinidis G. и др., , in: Cryogenics 2019. Proceedings of the 15th IIR International Conference: Prague, Czech Republic, April 8-11, 2019Vol. 15.: P.: IIF-IIR, 2019. P. 363–368.

Добавлено: 11 января 2020 г.

Nanoarchitecture: Toward Quantum-Size Tuning of Superconductivity.

Арутюнов К. Ю., Zavialov Vitalii, Седов Е. А. и др., Physica Status Solidi - Rapid Research Letters 2019 No. 1800317 P. 1–5

Добавлено: 18 января 2019 г.

Влияние отжига на строение пленок ZnO, выращенных магнетронным распылением

Налимов С. А., Шашин Д. Е., Юрин А. И., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC– 2018», 19–23 ноября 2018 г.: М.: Московский технологический университет (МИРЭА), 2018. Гл. 1 С. 156–159.

На подложках аморфных и кристаллических материалов реактивным магнетронным распылением выращены (нетангенциальный механизм роста) пленки ZnO с текстурированием кристаллической фазы по направлению <0001>, соответствующему оси симметрии 63. Отжиг на воздухе уменьшает содержание рентгеноаморфной фазы, концентрацию собственных точечных дефектов и разориентацию кристаллитов пленок ZnO. ...

Добавлено: 12 декабря 2018 г.

Технология формирования и диагностика параметров растущих наноразмерных пленок

Смирнов И. С., Новоселова Е. Г., В кн.: Функциональные наноматериалы для космической техники. Труды 2-й Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых.: М.: МИЭМ, 2011. С. 31–38.

Рассмотрены вопросы определения параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования методом in-situ рентгеновской рефлектометрии ...

Добавлено: 20 февраля 2014 г.

Физические и механические своцства, модель формирования и структура защитных пленок на основе углерода

Николаев Д. П., Физика волновых процессов и радиотехнические системы 2013 Т. 16 № 2 С. 64–69

В статье рассмотрены физические свойства, условия охлаждения и структура углеродных пленок. Достоинства и недостатки алмазоподобных углеродных пленок, области применения. Методы PVD. Предложена модель связывания атомов углерода имплантированных в аморфную углеродную матрицу. Согласно которой единственным и достаточным условием является ограничение температуры матрицы. Модель 3 SP связывания позволяет оценить понимание механизма PVD углеродных пленок, а также нестабильных ...

Добавлено: 25 ноября 2013 г.