• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
  • Публикации ВШЭ
  • Глава
  • Нанесение титановых пленок на стеклянные подложки с использованием установки Плазменный Фокус "ПФ-4"
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Приоритетные направления
  • бизнес-информатика
  • государственное и муниципальное управление
  • гуманитарные науки
  • инженерные науки
  • компьютерно-математическое
  • математика
  • менеджмент
  • право
  • социология
  • экономика
по году
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • еще
Тематика
Новости
17 июня 2026 г.
Биоинформатики НИУ ВШЭ обнаружили 20 опасных мутаций в гене, связанном с легочной артериальной гипертензией
Ученые НИУ ВШЭ совместно с коллегами из российских университетов выяснили, какие мутации в гене ACVRL1 опасны для пациентов с легочной артериальной гипертензией. Они смоделировали, как изменения в гене влияют на связывание АТФ с белком — процесс, от которого зависит передача сигналов, необходимых для работы сосудов. Оказалось, что 20 из 32 вариантов могут нарушать передачу сигнала и провоцировать болезнь. Результаты опубликованы в Journal of Structural Biology.
17 июня 2026 г.
Интеллектуальная робототехника: кадровый голод и масса возможностей
Пока на рынке мало кадров, способных заниматься разработкой интеллектуальных робототехнических систем. Между тем именно к этому идет робототехника. Как учат ее проектированию и каково будущее отрасли, в интервью IQ Media рассказал заведующий Проектно-учебной лабораторией робототехники НИУ ВШЭ Вадим Моргачев.
17 июня 2026 г.
Каким должно быть образование, чтобы готовить кадры для экономики будущего
Эти вопросы обсудят на форуме HR EXPO PRO ЛЮДЕЙ, который состоится 18-19 июня в Москве. В его работе примет участие ректор НИУ ВШЭ Никита Анисимов, федеральные министры, HR-директора компаний, ректоры вузов, эксперты. На форуме будет представлен стенд, посвященный программам ДПО НИУ ВШЭ.

 

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации
  • Книги
  • Статьи
  • Главы в книгах
  • Препринты
  • Верификация публикаций
  • Расширенный поиск
  • Правила использования материалов
  • Наука в ВШЭ

?

Нанесение титановых пленок на стеклянные подложки с использованием установки Плазменный Фокус "ПФ-4"

С. 164–164.
Ерискин А. А.
В печати

Существует достаточно много способов напыления пленок различных материалов на диэлектрические и металлические поверхности, таких как магнетронное и термическое распыления материалов, методы химического и электролитического осаждения и др. Однако, после осаждения пленок для улучшения их адгезии с подложкой приходится применять химическую и термическую обработку, что часто приводит к неконтролируемым изменениям физических свойств пленок. Таким образом, поиск альтернативных методов напыления пленок, не требующих дополнительных затрат на термо- и гальвано-химическую обработку, остается актуальным. В данной работе предлагается метод нанесения металлических пленок на стеклянные подложки с использованием  импульсной плазмы, получаемой на установке Плазменный Фокус; описывается схема проведения эксперимента и приводятся результаты исследований полученных пленок.

Язык: русский
Полный текст
Ключевые слова: плазменный фокусplasma focusтонкие пленкиthin films depositionнапылениеsprayingmetal coatingsметаллические покрытия

В книге

Всероссийская молодежная конференция по фундаментальным и инновационным вопросам современной физики
Кн. 5. , М.: РИИС ФИАН, 2013.
Похожие публикации
Study of low temperature reactive magnetron sputtering NbN films for fabrication of an ultra-high sensitive detector
Ивашенцева И. В., Каурова Н. С., Воронов Б. М. и др., St. Petersburg Polytechnical University Journal: Physics and Mathematics 2025 Vol. 18 No. 3.2 P. 129–133
Сверхпроводящие пленки NbN, изготовленные методом реактивного магнетронного распыления, являются чувствительным элементом болометров на эффекте © Ivashentseva I.V., Kaurova N.S., Voronov B.M., Goltsman G.N., Tretyakov I.V., 2025. Published by Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University. 129 St. Petersburg Polytechnic University Journal. Physics and Mathematics. 2025. Vol. 18. No. 3.2 электронного разогрева HEB. Основной принцип HEB ...
Добавлено: 24 декабря 2025 г.
Морфология и электрические параметры тонких алюминиевых пленок, осаждаемых на подложки при температурах от 77 до 800 K
Тарасов М. А., Ломов А. А., Чекушкин А. М. и др., Письма в Журнал технической физики 2025 Т. 51 № 4 С. 42–45
Выполнены экспериментальные исследования базовых параметров пленок алюминия толщиной 150 nm на подложках Si(111), SiO2/Si(001). Пленки получены методами магнетронного распыления и термического испарения в диапазоне температур от 77 до 800K. Для охлаждения подложки до температуры жидкого азота изготовлена вакуумная вставка в установку Z400, а для нагрева до 800K использован штатный нагреватель установки Kurt Lesker. Установлено, что криогенное осаждение адатомов алюминия ...
Добавлено: 6 сентября 2025 г.
The Critical Temperature of Superconducting Aluminum Films
Арутюнов К. Ю., Седов Е. А., Завьялов В. В. и др., Physics of Metals and Metallography, USA 2023 Vol. 124 No. 1 P. 53–57
The R(T) dependences of thin superconducting aluminum films deposited on leucosapphire and gallium arsenide substrates by electron beam sputtering and molecular beam epitaxy have been experimentally studied. Regardless of morphology, a noticeable increase in the critical temperature of the superconducting transition with a decrease in the film thickness is found. The effect is interpreted as a ...
Добавлено: 31 января 2024 г.
Квантовые эффекты при формировании двойниковой границы в Pb
Божко С. И., Ксенз А. С., Фокин Д. А. и др., Журнал технической физики 2023 Т. 93 № 7 С. 928–930
Расслоение наноостровков Pb на вицинальной поверхности Si(7 7 10) на слои толщиной 2 nm, обусловленное квантованием электронного спектра, подразумевает образование двумерных дефектов, разделяющих слои Pb. С помощью модельных расчетов в приближении теории функционала плотности показано, что минимальной энергией образования обладает двойниковая граница, энергия которой равна 15meV/at. Установлено, что двойниковая граница формируется на стадии роста очередного ...
Добавлено: 20 декабря 2023 г.
Electron phase-breaking time in ultra-thin Nb films
A. I. Lomakin, E. M. Baeva, Titova Nadezhda A. и др., St. Petersburg Polytechnical University Journal: Physics and Mathematics 2022 Vol. 15 No. 3.3 P. 64–69
Here we study the temperature dependences of the electron phase-breaking time τϕ in ultra-thin superconducting niobium (Nb) films. In Nb films, passivated with a layer of silicon (Si), the observed temperature dependence of the phase-breaking time is τϕ ~ Т^(-2.5), is resembling the electron-phonon scattering. However, in the uncovered Nb films, we observe the saturation of τϕ at low ...
Добавлено: 12 сентября 2023 г.
Влияние импульсных пучково-плазменных воздействий на структурные характеристики и механические свойства поверхностного слоя в сплаве Инконель 718
Боровицкая И. В., Демин А. С., Комолова О. А. и др., Металлы (Российская Академия наук, Российская Федерация 2023 № 4 С. 34–42
Представлены результаты исследования воздействий импульсных потоков ионов гелия (ИГ) и гелиевой плазмы (ГП) на сплав Инконель 718, приготовленный по аддитивной технологии методом селективного лазерного сплавления с последующей термической обработкой. Определены основные структурные изменения в облученном поверхностном слое (ПС) для двух режимов облучения – мягкого (с плотностью мощности излучения            q = 2 ∙108 Вт/см2 при длительности ...
Добавлено: 3 июля 2023 г.
Сверхпроводимость в тонких пленках нитрида рутения
Ильин А. С., Стругова А. О., Кон И. А. и др., В кн.: Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVII Международного симпозиума (Нижний Новгород, 13–16 марта 2023 г.) в 2х томах. Том 1Т. 1: Секции 1, 2, 4, 6.: Н. Новгород: ИПФ РАН, 2023. С. 105–106.
Обнаружена сверхпроводимость в пленках RuN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Критическая температура сверхпроводящего перехода составляет от 0,77 до 1,29 К, в зависимости от подложки. Определены параметры кристаллической решетки сверхпроводящих пленок: решетка кубическая с параметрами a = b = c = 4.5586 Å, a = b = g = 87.96°. Результаты измерения температурных зависимостей второго критического магнитного ...
Добавлено: 26 марта 2023 г.
Nonlinear microwave response of clean superconducting films
Radkevich A., Семенов А. Г., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 106 No. 9 Article 094505
Добавлено: 29 января 2023 г.
Транспортные свойства слоистых гетероструктур на базе проводящего полимера
Арутюнов К. Ю., Беляев К. А., Артемов В. В. и др., Физика твердого тела 2023 Т. 65 № 1 С. 151–156
Полидифениленфталид (ПДФ) относится к классу органических диэлектриков, которые при приложении внешнего электростатического поля и/или механического напряжения проявляют электропроводящие свойства. В настоящей работе экспериментально исследовались транспортные характеристики тонкопленочных слоистых струкур свинец−ПДФ−свинец в широком температурном диапазоне. При достаточно высоких температурах вольтамперные зависимости удовлетворительно описываются в рамках инжекционной модели токов, ограниченных объемным зарядом. При температурах ниже  7.5K в ряде образцов наблюдаются особенности, ...
Добавлено: 25 ноября 2022 г.
Критическая температура сверхпроводящих пленок алюминия
Арутюнов К. Ю., Седов Е. А., Завьялов В. В. и др., Физика металлов и металловедение 2023 Т. 124 № 1 С. 56–60
Экспериментально исследованы R(T) зависимости тонких сверхпроводящих пленок алюминия, изготовленных на подложках из лейкосапфира и арсенида галлия методом электронно-лучевого распыления и молекулярно-лучевой эпитаксии. Безотносительно к морфологии, был обнаружен заметный рост критической температуры сверхпроводящего перехода с уменьшением толщины пленки. Эффект интерпретируется как проявление квантового размерного эффекта. ...
Добавлено: 24 ноября 2022 г.
Induced electric conductivity in organic polymers
Арутюнов К. Ю., Гурский А. С., Artemov V. и др., Beilstein Journal of Nanotechnology 2022 Vol. 13 P. 1551–1557
Добавлено: 24 ноября 2022 г.
Small-angle neutron scattering in the fully polarized phase of noncollinear magnets with interfacial-like Dzyaloshinskii-Moriya interaction
Утесов О. И., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 106 No. 17 Article 174408
Добавлено: 21 ноября 2022 г.
Light quenching of photoluminescence in hybrid films of InP/InAsP/InP nanowires and CdSe/ZnS colloidal quantum dots
Khrebtov A. I., Kulagina A. S., Драгунова А. С. и др., Optical Materials 2022 Vol. 127 Article 112277
Исследована фотолюминесценция пленки, полученной однородным нанесением коллоидного раствора квантовых точек CdSe/ZnS, покрытых оксидом триоктилфосфина, на массив изолированных нитевидных нанокристаллов(ННК)  InP/InAsP/InP, впоследствии удаленных с подложки. В спектре фотолюминесценции пленки наблюдаются полосы излучения, соответствующие нановставкам InAsP (1,25–1,5 мкм) и квантовым ямам (1,0–1,2 мкм). Установлено, что зависимость интенсивности фотолюминесценции от интенсивности возбуждения имеет нелинейный характер, который мы интерпретируем как ...
Добавлено: 4 октября 2022 г.
Туннельная интерферометрия и измерение толщины ультратонких металлических плёнок Pb(111)
Уставщиков С. С., Путилов А. В., Аладышкин А. Ю., Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики 2017 Т. 106 С. 476–482
Методами низкотемпературной сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии изучены спектры дифференциальной туннельной проводимости для ультратонких пленок свинца, выращенных на монокристаллах кремния Si(111)7 × 7, с толщиной от 9 до 50 монослоев свинца. Для таких систем характерно существование локальных максимумов туннельной проводимости, причем положение максимумов дифференциальной проводимости определяется спектром размерно–квантованных состояний электронов в металлическом слое и, следовательно, ...
Добавлено: 15 сентября 2022 г.
Пространственно-неоднородные квантово-размерные состояния и визуализация скрытых дефектов в пленках Pb(111)
Путилов А. В., Уставщиков С. С., Божко С. И. и др., Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики 2019 Т. 109 С. 789–796
Методами низкотемпературной сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии исследована пространственная зависимость дифференциальной проводимости ультратонких Pb пленок, осажденных на поверхность Si(111)7×7. Для Pb пленок характерно наличие квантово-размерных состояний электронов проводимости и, соответственно, максимумов дифференциальной туннельной проводимости, при этом их энергия определяется в основном локальной толщиной Pb слоя. Обнаружено, что величина туннельной проводимости в пределах атомарно-гладких террас может ...
Добавлено: 15 сентября 2022 г.
The role of defects in solid state dewetting of ultrathin Ag film on Si(557)
Chaika A. N., Bozhko S. I., Ионов А. М. и др., Scripta Materialia 2021 Vol. 194 Article 113655
Добавлено: 5 декабря 2021 г.
Surface spin waves propagation in tapered magnetic stripe
Калябин Д. В., Sadovnikov A. V., Beginin E. и др., Journal of Applied Physics 2019 Vol. 126 No. 17 Article 173907
Добавлено: 26 октября 2021 г.
Измерение амплитудно-частотных характеристик кинетической индуктивности в сверхпроводящих пленках.
Шеин К. В., Арутюнов К. Ю., Завьялов В. В., Известия Уфимского научного центра РАН 2021 № 1 С. 106–110
Исследовались тонкие сверхпроводящие полоски в форме плотноупакованных меандров, изготовленных из ультратонких сверхпроводящих полосок нитрида ниобия (NbN) шириной примерно 100 нм, толщиной 5 нм и длиной до 100 мкм. В структурах был обнаружен эффект большой кинетической индуктивности при температурах ниже критической. Изучалась зависимость резонансной частоты LC–контура от температуры, где в качестве индуктивности L был использован сверхпроводящий ...
Добавлено: 27 мая 2021 г.
Установка «Вихрь» типа «плазменный фокус» для диагностики радиационно-термической стойкости материалов перспективных для термоядерной энергетики и аэрокосмической техники
Грибков В. А., Боровицкая И. В., Демин А. С. и др., Приборы и техника эксперимента 2020 № 1 С. 75–83
Описаны плазменно-пучковая установка “Вихрь” типа “плазменный фокус” (п.ф.) с энергией ~5 кДж, введенная недавно в эксплуатацию в ИМЕТ РАН, устройство ее составных элементов и параметры. Рассмотрены физические процессы, происходящие в рабочей камере п.ф.: генерация пучков быстрых электронов, ионов, кумулятивной струи горячей плазмы, жесткого рентгеновского излучения, а при использовании в качестве рабочего газа дейтерия – нейтронов. Проведены эксперименты по испытанию ...
Добавлено: 20 апреля 2021 г.
  • О ВЫШКЕ
  • Цифры и факты
  • Руководство и структура
  • Устойчивое развитие в НИУ ВШЭ
  • Преподаватели и сотрудники
  • Корпуса и общежития
  • Закупки
  • Обращения граждан в НИУ ВШЭ
  • Фонд целевого капитала
  • Противодействие коррупции
  • Сведения о доходах, расходах, об имуществе и обязательствах имущественного характера
  • Сведения об образовательной организации
  • Людям с ограниченными возможностями здоровья
  • Единая платежная страница
  • Работа в Вышке
  • ОБРАЗОВАНИЕ
  • Лицей
  • Довузовская подготовка
  • Олимпиады
  • Прием в бакалавриат
  • Вышка+
  • Прием в магистратуру
  • Аспирантура
  • Дополнительное образование
  • Центр развития карьеры
  • Бизнес-инкубатор ВШЭ
  • Образовательные партнерства
  • Обратная связь и взаимодействие с получателями услуг
  • НАУКА
  • Научные подразделения
  • Исследовательские проекты
  • Мониторинги
  • Диссертационные советы
  • Защиты диссертаций
  • Академическое развитие
  • Конкурсы и гранты
  • Внешние научно-информационные ресурсы
  • РЕСУРСЫ
  • Библиотека
  • Издательский дом ВШЭ
  • Книжный магазин «БукВышка»
  • Типография
  • Медиацентр
  • Журналы ВШЭ
  • Публикации
  • http://www.minobrnauki.gov.ru/
    Министерство науки и высшего образования РФ
  • https://edu.gov.ru/
    Министерство просвещения РФ
  • http://www.edu.ru
    Федеральный портал «Российское образование»
  • https://elearning.hse.ru/mooc
    Массовые открытые онлайн-курсы
  • НИУ ВШЭ1993–2026
  • Адреса и контакты
  • Условия использования материалов
  • Политика конфиденциальности
  • Правила применения рекомендательных технологий в НИУ ВШЭ
  • Карта сайта
Редактору