• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Структура зонда в СЗМ для исследования поверхности диэлектрических подложек

С. 235-236.
Ефимов И. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.

В статье рассмотрен ряд ограничений использования СЗМ для исследования поверхностной структуры материалов. Предложено техническое решение позволяющее значительно расширить область применения сканирующих зондовых микроскопов.