Технологические особенности формирования катодных узлов автоэмиссионных и туннельных нано- и микроприборов

Н. Н. Балан; Е. Н. Ивашов; П. А. Лучников; А. Б. Невский

?

Технологические особенности формирования катодных узлов автоэмиссионных и туннельных нано- и микроприборов

Наноматериалы и наноструктуры. 2012. № 2. С. 35–43.

Балан Н. Н., Ивашов Е. Н., Лучников П. А., Невский А. Б.

Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии, а также эмиттеров на основе наноструктурированных углеродных материалов. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий с использованием силицида платины в качестве основного электродного слоя эмиттера.

Приоритетные направления: инженерные науки

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: термический отжиг электродная эмиссия туннельный ток катодный узел туннельный преобразователь силицид платины

Perovskite nanoparticles Cs4PbBr6 and CsPbBr3: synthesis, analysis and peculiar optical properties

Гущина В. А., / Series chemrxiv-2023-vpzhz-v2 "ChemRxiv". 2023.

Наночастицы полностью неорганических перовскитов CsPbBr3 и Cs4PbBr6 интенсивно изучаются благодаря их уникальным свойствам и широкому спектру применений; однако природа их оптических свойств до сих пор полностью не изучена из-за сложности синтеза однофазных наночастиц. В данной статье мы описываем особенности синтеза однофазных частиц и результаты их химического и фазового анализа. Используя данные о концентрациях наночастиц, мы ...

Добавлено: 14 мая 2026 г.

Algorithmic overlaps as thermodynamic variables: from local to cluster Monte Carlo dynamics in critical phenomena

Пиле Я. Э., Deng Y., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2026. No. 2604.10254.

Добавлено: 20 апреля 2026 г.

Determining the boundary of dynamical chaos in the generalized Chirikov map via machine learning

Чернышов Д. П., Сатанин А. М., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2025.

Добавлено: 21 ноября 2025 г.

Doping dependence of low-energy charge collective excitations in high-Tc cuprates

Каган М. Ю., Silkin V. M., Efremov D. V., / Series arXiv "math". 2024. No. 2411.12836.

Добавлено: 27 ноября 2024 г.

Influence of anisotropy on the study of critical behavior of spin models by machine learning methods

Суховерхова Д. Д., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2410.14523.

...

Добавлено: 21 октября 2024 г.

Comparison of the microcanonical population annealing algorithm with the Wang-Landau algorithm

Мозоленко В. К., Fadeeva Marina, Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2405.10865.

Добавлено: 20 мая 2024 г.

Majorana modes and Fano resonances in Aharonov- Bohm ring with topologically nontrivial superconducting bridge

Каган М. Ю., Аксёнов С. В., / Series Research Square "Research Suqare". 2024. No. 1.

Добавлено: 10 апреля 2024 г.

High-frequency dielectric anomalies in a highly frustrated square kagome lattice nabokoite family compounds ACu7(TeO4)(SO4)5Cl (A=Na, K, Rb, Cs)

Ребров Я. В., Глазков В. Н., Murtazoev A. F. и др., / Series cond-mat "arxiv.org". 2023.

Добавлено: 29 января 2024 г.

Nondestructive KPFM-assisted Quality Control in Fabrication of GaAs High-Speed Electronics

Shurakov A., Kaurova N., Belikov I. и др., / Series Physics "arxiv.org". 2022.

Добавлено: 15 сентября 2023 г.

Superconducting spin valves based on a single spiral magnetic layer

Пугач Н. Г., Safonchik M. O., Belotelov V. и др., / Series "cond-mat". 2022. No. 2110.00369.

Добавлено: 16 ноября 2022 г.

Charge transport in the spatially correlated exponential random energy landscape: effect of the non-positive correlation function

Новиков С. В., / Series cond-mat "arxiv.org". 2022. No. 2209.14955.

Добавлено: 1 ноября 2022 г.

Software Complex for the Numerical Solution of the Isotropic Imaginary-Axis Eliashberg Equations

Ихсанов Р. Ш., Mazur E., Каган М. Ю., / Series "Working papers by Cornell University". 2022. No. 2202.01452.

Добавлено: 4 февраля 2022 г.

Theory of Ionic Liquids with Polarizable Ions on a Charged Electrode

Будков Ю. А., Zavarzin S., Kolesnikov A. L., Journal of Physical Chemistry C 2021 Vol. 125 No. 38 P. 21151–21159

Добавлено: 16 сентября 2021 г.

Synthesis, structure, and PDE inhibiting activity of the anionic DNIC with 5-(3-pyridyl)-4H-1,2,4-triazole-3-thiolyl, the nitric oxide donor.

Sanina N., Isaeva U., Utenyshev A. и др., Inorganica Chimica Acta 2021 Vol. 527 Article 120559

Добавлено: 16 сентября 2021 г.

Influence of Morphology of the Press Powder Particles and Thermal Annealing on the Structure and Microhardness of Palladium Obtained by Solid-Phase Sintering

Bondarenko Gennady, Gaidar A., Gorelova Ekaterina и др., Key Engineering Materials 2018 No. 781 P. 41–46

Добавлено: 29 сентября 2018 г.

Перспективные электродные материалы автоэмиссионных и туннельных микроприборов

Балан Н. Н., Ивашов Е. Н., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: материалы международной научно-технической конференции (2012).: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. С. 319–325.

Рассмотрены конструкции и особенности технологии изготовления перспективных острийных катодов туннельных и автоэмиссионных микроприборов, выполняемых по кремниевой технологии. Приведены основные характеристики и технологические режимы формирования электродных покрытий на основе силицида платины в качестве электродного слоя эмиттера. ...

Добавлено: 12 февраля 2013 г.

Технологические принципы формирования пленочных элементов туннельного НЭМС преобразователя

Балан Н. Н., Ивашов Е. Н., Лучников П. А., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 260–267.

В настоящей работе рассмотрены принципы создания электродных покрытий основных элементов наноэлектромеханического преобразователя с диафрагменным упругим чувствительным элементом (УЧЭ) с использованием эффекта электронного туннелирования при использовании процессов КМОП технологии. Разработаны специальные технологические процессы, предназначенные для формирования электродов туннельного преобразователя на основе тугоплавкого материала – силицида платины, обладающего по сравнению с прочими материалами рядом преимуществ, таких как химическая ...

Добавлено: 8 февраля 2013 г.

Структура зонда в СЗМ для исследования поверхности диэлектрических подложек

Ефимов И. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю. и др., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 1.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 235–236.

В статье рассмотрен ряд ограничений использования СЗМ для исследования поверхностной структуры материалов. Предложено техническое решение позволяющее значительно расширить область применения сканирующих зондовых микроскопов. ...

Добавлено: 8 февраля 2013 г.

Формирование границы раздела фаз в системе Ni-Mo при облучении высокоэнергетическими электронами

Артамонов А. В., Бондаренко Г. Г., Якункин М. М., Металлы 2009 № 4 С. 360–364

Исследовано изменение диффузионной проницаемости и тепловой проводимости границы раздела фаз в системе Мо (20 мкм) – Ni (1мм) при термическом отжиге и облучении высокоэнергетическими электронами. Показано, что по величине тепловой проводимости может быть исследован диффузионный процесс установления квазистационарного состояния на границе раздела. ...

Добавлено: 14 октября 2012 г.