?
Основы нанометрологии
Карцев Е. А., Юрин А. И.
Приведены основные понятия и определения нанометрологии, сведения об истории развития исследований в нанометровом диапазоне. Рассмотрена классификация нанообъектов, их свойства и параметры. Изложены принципы элементного и структурного анализа нанообъектов и вопросы метрологического обеспечения нанотехнологий. Особое внимание уделено методам и средствам исследования поверхностей и нанопокрытий. Достаточно подробно рассмотрены конструкция и метрологические характеристики сканирующих туннельных, электронных и атомно-силовых микроскопов.
Приоритетные направления:
компьютерно-математическое
Язык:
русский