• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Учет эффекта релаксации упругих напряжений в приборно-технологической модели SiGe/SOI ГМОПТ

С. 253-255.
Орехов Е. В., Пугачёв А. А., Самбурский Л. М., Торговников Р. А.

Данная работа посвящена учёту эффекта релаксации упругих напряжений в структуре SiGe ГМОПТ методом приборно-технологического моделирования.

В книге

Под редакцией: В. Синкевич, А. Филатов, Савченко Е. М. и др. М.: МНТОРЭС им. А. С. Попова, 2013.