• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Технология формирования и диагностика параметров растущих наноразмерных пленок

С. 31-38.
Смирнов И. С., Новоселова Е. Г.

Рассмотрены вопросы определения параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования методом in-situ рентгеновской рефлектометрии