Глава
Cтруктурные особенности кристаллов кремния, подвергнутых облучению протонами и термической обработке
С. 211-215.
Методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии исследована структура кристаллов кремния, имплантированных протонами. Проанализировано распределение деформации в нарушенных слоях.
Язык:
русский
Полный текст (PDF, 220 Кб)