• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Cтруктурные особенности кристаллов кремния, подвергнутых облучению протонами и термической обработке

С. 211-215.
Смирнов И. С., Новоселова Е. Г., Дьячкова И. Г.

Методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии исследована структура кристаллов кремния, имплантированных протонами. Проанализировано распределение деформации в нарушенных слоях.