• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Нанесение титановых пленок на стеклянные подложки с использованием установки Плазменный Фокус "ПФ-4"

С. 164-164.
Ерискин А. А.

Существует достаточно много способов напыления пленок различных материалов на диэлектрические и металлические поверхности, таких как магнетронное и термическое распыления материалов, методы химического и электролитического осаждения и др. Однако, после осаждения пленок для улучшения их адгезии с подложкой приходится применять химическую и термическую обработку, что часто приводит к неконтролируемым изменениям физических свойств пленок. Таким образом, поиск альтернативных методов напыления пленок, не требующих дополнительных затрат на термо- и гальвано-химическую обработку, остается актуальным. В данной работе предлагается метод нанесения металлических пленок на стеклянные подложки с использованием  импульсной плазмы, получаемой на установке Плазменный Фокус; описывается схема проведения эксперимента и приводятся результаты исследований полученных пленок.