• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
  • Публикации ВШЭ
  • Глава
  • Обобщенный критерий оценки качества оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Приоритетные направления
  • бизнес-информатика
  • государственное и муниципальное управление
  • гуманитарные науки
  • инженерные науки
  • компьютерно-математическое
  • математика
  • менеджмент
  • право
  • социология
  • экономика
по году
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • еще
Тематика
Новости
22 мая 2026 г.
Лаборатория живых смыслов: как проект НИУ ВШЭ и СахГУ переосмысляет труд
Проект «Зеркальные лаборатории» НИУ ВШЭ — Пермь и Сахалинского государственного университета (СахГУ) изучает, как культура, среда и технологии формируют и меняют трудовые смыслы. Исследование объединяет индивидуальный опыт, профессиональные нормы, городские проблемы, творческие практики и цифровые условия труда. Руководитель Лаборатории междисциплинарных исследований по антропологии труда НИУ ВШЭ в Перми Лилия Пантелеева рассказала о работе проекта.
21 мая 2026 г.
«Пик глупости» и «долина отчаяния»: экономисты НИУ ВШЭ предложили объяснение эффекта Даннинга - Крюгера
Эффект Даннинга — Крюгера, который описывает резкий всплеск уверенности в своих силах у новичков и такое же стремительное ее падение при наборе опыта, объясняется особенностями процесса обучения и набора новых знаний. К такому выводу пришли сотрудник факультета экономических наук НИУ ВШЭ Андрей Ворчик вместе с независимым исследователем Муратом Мамышевым. Они разработали математическую модель процесса обучения и показали, как формируется и изменяется субъективная уверенность по мере накопления знаний и как  преподаватель может уменьшить «долину отчаяния» для ученика.
20 мая 2026 г.
«Еж» против «родственника»: ученые измерили, как мозг реагирует на неожиданные слова в живой речи
Российские нейрофизиологи с участием исследователей из НИУ ВШЭ показали, что изучать восприятие живой речи можно с помощью вызванных потенциалов. Они доказали, что метод применим не только к отдельным словам, но и к непрерывной речи. Оказалось, что слова, сильно отличающиеся по смыслу от предыдущего контекста, мозг обрабатывает дольше, а служебные слова анализирует в два этапа: сначала определяет их грамматическую роль, а затем на этой основе предсказывает следующее слово. Исследование опубликовано в журнале Frontiers in Human Neuroscience.

 

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации
  • Книги
  • Статьи
  • Главы в книгах
  • Препринты
  • Верификация публикаций
  • Расширенный поиск
  • Правила использования материалов
  • Наука в ВШЭ

?

Обобщенный критерий оценки качества оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 88–92.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Степанчиков С. В.

В работе рассматриваются основные дефекты технологического процесса иммерсионной ультрафиолетовой литографии, предлагается упорядоченная система критериев оценки качества и интегральный обобщенный критерий качества, используемые при автоматизированном проектировании оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии и позволяющие выполнить научно обоснованный, технически целесообразный, технологически и экономически выгодный выбор параметров нового технического решения.

Язык: русский
Ключевые слова: экономическая эффективностьиммерсионная ультрафиолетовая литографиятехнологическая дефектность процессакритерий качества

В книге

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва
Ч. 7: Проблемы надежности и качества. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012.
Похожие публикации
Оценка цены перспективного воздушного судна на основе его летно-технических характеристик
Урюпин И. В., Власенко А. О., Сухарев А. А., Экономика и математические методы 2025 Т. 61 № 4 С. 73–85
В настоящее время одной из приоритетных задач отечественной промышленности является создание перспективных гражданских самолетов. Для рыночного успеха заложенные при создании перспективной авиатехники решения должны обеспечивать конкурентоспособную стоимость жизненного цикла, определяемую не только уровнем прямых эксплуатационных расходов, но и приемлемой для потребителя ценой продукта. Определение цены перспективного самолета методом аналогов или доходным методом может представлять проблему ...
Добавлено: 24 февраля 2026 г.
Оценка цены перспективного воздушного судна на основе его летно-технических характеристик
Урюпин И. В., Власенко А. О., Сухарев А. А., Экономика и математические методы 2025 Т. 61 № 4 С. 73–85
В настоящее время одной из приоритетных задач отечественной промышленности является создание перспективных гражданских самолетов. Для рыночного успеха заложенные при создании перспективной авиатехники решения должны обеспечивать конкурентоспособную стоимость жизненного цикла, определяемую не только уровнем прямых эксплуатационных расходов, но и приемлемой для потребителя ценой продукта. Определение цены перспективного самолета методом аналогов или доходным методом может представлять проблему ...
Добавлено: 12 декабря 2025 г.
Потенциальный социальный эффект при применении электронных средств нагревания табака: результаты моделирования
Попович Л. Д., Светличная С. В., Розанов А. В., Качественная клиническая практика 2025 № 2 С. 16–26
Актуальность. Антитабачная политика в России позволила сократить долю курильщиков до 30,7 %, однако около трети курильщиков не готовы бросить курить. Недооценка сложности полного отказа от курения является серьёзным барьером на пути улучшения здоровья населения. За последние годы накопилось достаточно данных о том, что электронные системы нагревания табака менее вредны для здоровья и являются достаточно эффективным средством ...
Добавлено: 22 июля 2025 г.
Экономическая оценка эффективности использования биологически модифицированных удобрений
Митрофанов С. В., Тетерин В. С., Панферов Н. С. и др., Техника и оборудование для села 2025 № 2(332) С. 44–48
Представлена методика оценки экономической эффективности биомодификации твердых минеральных удобрений, которая включает в себя анализ прямых и косвенных затрат, связанных с созданием оборудования, производством биомодифицированной тукосмеси, а также расходами на её транспортировку и внесение. Экономическая эффективность применения биомодифицированных удобрений оценивалась на основе полевых испытаний на масличном подсолнечнике сорта Алей. Результаты показали, что экономический эффект от их ...
Добавлено: 5 апреля 2025 г.
Оценка экономической эффективности социальных технологий: потенциал когнитивного интервью
Сабля А. А., ИНТЕРакция. ИНТЕРвью. ИНТЕРпретация 2024 Т. 16 № 1 С. 107–128
В статье рассматривается 7‑аспектная модель М. Шрайнера и его коллег по оценке экономической эффективности социальных программ на примере технологии  «Организация  работы  междисциплинарной  команды  специалистов со случаем  нарушения  прав  и  законных  интересов  ребенка».  Методом служит когнитивное интервью с экспертом, внедряющим данную социальную технологию,  с  помощью  которого  автор  проверяет,  насколько  корректно были эксплицированы аспекты эвалюативной модели Шрайнера, ...
Добавлено: 7 мая 2024 г.
О возможности совершенствования системы производственного контроля на угледобывающих предприятиях с использованием инструментария теории игр
Петров И. В., Васин А. А., Вартанов С. А., Горный журнал 2020 № 4 С. 76–80
Предложена двухуровневая система контроля за соблюдением техники безопасности на добычных участках угольных шахт с обоснованием основных параметров системы и затрат на ее функционирование на основе инструментария теории игр. ...
Добавлено: 30 сентября 2023 г.
Моделирование потенциального эффекта ревакцинации против коклюша детей в 6–7 и 14 лет в рамках национального календаря профилактических прививок
Брико Н. И., Миндлина А. Я., Михеева И. В. и др., Эпидемиология и вакцинопрофилактика 2021 Т. 20 № 5 С. 4–20
Актуальность. В настоящее время в рамках Национального календаря профилактических прививок не предусмотрена ревакцинация против коклюша детей в возрасте старше 18 месяцев. При этом в мировой практике продемонстрирована эпидемиологическая и экономическая целесообразность ревакцинации против коклюша детей в возрасте 6-7 лет, а также подростков. Цель. На основе математической модели разработать прогноз динамики заболеваемости коклюшем и оценить потенциальный ...
Добавлено: 31 августа 2023 г.
Управление экономической эффективностью производственных систем в условиях непрерывного потока новых проектов
Мыльников Л. А., Проблемы управления 2020 № 6 С. 31–45
В условиях постоянного появления новой инновационной продукции возникает необходимость осуществления более эффективного планирования и управления деятельностью производственных систем с помощью повышения уровня формализации при описании процессов, связанных с формированием производственного портфеля производственной системы. Цель статьи заключается в решении задачи объемно-календарного планирования и определении требований к потоку и проектам, которые позволяют производственной системе эффективно функционировать в ...
Добавлено: 1 февраля 2023 г.
Структурно-функциональное моделирование в управлении эффективностью информационной инфраструктуры поддержки принятия решений производственных систем
Мыльников Л. А., Научно-техническая информация. Серия 2: Информационные процессы и системы 2023 № 1 С. 10–22
Рассмотрен подход, позволяющий на основе структурно-функционального моделирования повысить экономическую эффективность производственных систем за счет трансформации их информационной инфраструктуры. Для достижения этой цели предложена новая нотация, позволяющая формализовывать процессы, протекающие в организационных системах и выделять субъект управления в явном виде, а также имитировать работу структурно-функциональной модели системы поддержки принятия решений для исследования её производительности и эффективности. В результате получен ...
Добавлено: 27 января 2023 г.
Обоснование методики проектирования взаимосвязанной поточной работы комплексов машин
Митрофанов С. В., Панферов Н. С., Тетерин В. С., Сельский механизатор 2021 № 2 С. 6–7
Представлены данные о разрабатываемой методике нормирования и проектирования взаимосвязанных поточных процессов в области агрохимического обеспечения сельского хозяйства. В ее основу положены теория массового обслуживания и статистического моделирования. ...
Добавлено: 10 января 2023 г.
Концептуальное проектирование радиолокационной станции с синтезированием апертуры антенны (РСА) на воздушном носителе "из первых принципов"
Рассадин А. Э., Журнал радиоэлектроники 2012 № 1 С. 1–35
В работе обсуждается методология концептуального критерии качества проектирования — и для РСА как системы в целом, и для проектирования РСА на воздушном носителе в рамках парадигмы математической технологии, причём акцент делается на физических, а не на феноменологических моделях. Введены её подсистем. Рассмотрено приближение матрицы УЭПР по данным дистанционного зондирования с помощью двумерных атомарных интерполянтов, двумерных ...
Добавлено: 18 декабря 2022 г.
Новый взгляд на развитие лесного комплекса:Часть 1. Устойчивое развитие
Шварц Е. А., Стариков И. В., Харламов В. С. и др., Использование и охрана природных ресурсов в России 2020 № 3 С. 43–53
Статья посвящена вопросам преодоления кризиса лесного хозяйства России и выработке качественно новойстратегии развития отрасли, ориентированной прежде всего на переход к устойчивом развитию лесного сектора. Лес-ное хозяйство рассматривается как ключевая компонента лесного комплекса, тесно взаимоувязанная со смежнымиотраслями, стратегии развития которых должны быть гармонизированы. Определены долгосрочные риски и вызовыотрасли, лежащие в первую очередь в плоскости использования экстенсивной ...
Добавлено: 11 февраля 2022 г.
Labor Productivity in Siberian Regions—is the Divergence Great: Estimates Based on a New Approach Taking Into Account Structural Differences of the Economies
Zaytsev A. A., Клочко О. А., Sirotin E. Yu., Regional Research of Russia 2021 Vol. 11 No. 1 P. S35–S46
Добавлено: 28 октября 2021 г.
Новая экономическая реальность: вызов для производственных систем
Нетланд Т., Баев Г. О., Выговский С., Стандарты и качество 2020 № 6 С. 106–107
Кризис негативно сказался на самых разных аспектах международной кооперации - в первую очередь на производстве высокотехнологичного оборудования. В этой сфере в текущих экономических реалиях первостепенное значение приобретают формирование и оптимизация цепей поставок. Торбьорн НЕТЛАНД, доктор наук, профессор Высшей технической школы Цюриха (ETH Zurich), член Глобального совета будущего развития промышленности Всемирного экономического форума, анализирует потенциальные возможности ...
Добавлено: 10 октября 2021 г.
Водная стратегия – приоритет диффузной модели территориального развития России
Сидорова М. В., Ясинский С. В., Вишневская И. А., Международная экономика 2019 № 1 С. 68–79
Несмотря на достигнутые успехи в возрастании роли России в решении ряда глобальных мировых проблем, существуют настоятельная необходимость перехода от центростремительной к диффузной (рассредоточенной) модели территориального развития ее регионов в целях снижения уровня пространственной неоднородности их социально-экологического развития. Такой переход может быть обеспечен в том числе и путем реализации Водной стратегии Российской Федерации, направленной на эффективное ...
Добавлено: 30 ноября 2020 г.
Разработка программного обеспечения для оценки «коэффициента качества производства» радиотехнических устройств непилотируемых космических аппаратов
Королев П. С., В кн.: Труды международного симпозиума НАДЕЖНОСТЬ и КАЧЕСТВО 2020Т. 2.: Пенза: Пензенский государственный университет, 2020. С. 291–294.
Работа посвящена разработке программного обеспечения для автоматизированной оценки «коэффициента качества производства» радиотехнических устройств непилотируемых космических аппаратов. Продемонстрирована визуализация в виде гистограммы предлагаемого структурированного (онтологического) подхода к формированию вопросника для проведения как внутреннего, так и внешнего аудита. Предложена реализация нечеткой логики для численной оценки весовых коэффициентов требований с помощью критериев оценки качества. ...
Добавлено: 13 сентября 2020 г.
Эффективность технологической модернизации молочного скотоводства
Суровцев В. Н., Никулина Ю. Н., Гордеев В. В. и др., Молочное и мясное скотоводство 2017 № 4 С. 5–10
Рассмотрены тенденции, проблемы и пути повышения экономической эффективности процесса технологической модернизации с целью обеспечения расширенного воспроизводства в молочном скотоводстве. Выявлены факторы, определяющие производственные и экономические результаты хозяйств, осуществивших модернизацию молочного скотоводства в Ленинградской области. Определены региональные особенности, влияющие на оптимальный масштаб производства и размещение животноводческих объектов в хозяйствах при модернизации производства и новом строительстве. Анализ ...
Добавлено: 8 ноября 2019 г.
Реализация региональных и местных преимуществ для устойчивого развития молочного скотоводства
Суровцев В. Н., Никулина Ю. Н., Молочное и мясное скотоводство 2018 № 2 С. 12–16
Рассмотрено влияние региональных и местных условий на доходность молочного скотоводства на примере хозяйств Ленинградской области. Выявлены производственно-экономические факторы, обеспечивающие передовым хозяйствам региона высокую доходность отрасли с учетом затрат на воспроизводство стада без учета субсидий. Широкий спектр применяемых инноваций позволяет передовым хозяйствам обеспечить доходность молочного скотоводства в районах с различными природно-климатическими условиями вне зависимости от месторасположения ...
Добавлено: 8 ноября 2019 г.
Эффективность освоения систем роботизированного доения
Суровцев В. Н., Никулина Ю. Н., Молочное и мясное скотоводство 2018 № 8 С. 3–7
В статье рассмотрена эффективность освоения технологий роботизированного доения на Северо-Западе России. Высокая эффективность роботов достигается при выборе хозяйствами стратегии, в наибольшей степени использующей их преимущества, а именно: возможности этапной модернизации или строительства, отсутствие необходимости локализации поголовья, реализация возможностей по увеличению срока продуктивного хозяйственного использования высокопродуктивных коров. Комбинирование технологий в хозяйствах с поэтапной модернизацией и установкой ...
Добавлено: 16 октября 2019 г.
Типы межфирменных связей и их сравнительная экономическая эффективность: исследование отрасли российского ритейла
Белявский Б. А., Российский журнал менеджмента 2019 Т. 17 № 2 С. 179–202
В статье на основе концепций маркетинга взаимоотношений, стратегического менедж­мента и новой экономической социологии обсуждаются два принципа классификации межфирменных связей — по горизонтальному и вертикальному типам отношений. Предложена оригинальная авторская типология моделей межфирменных связей, состоящая из четырех идеальных типов. Оцениваются количественная распространенность каждого из типов отношений и их сравнительная экономическая эффективность по динамике продаж, изменению товарного ассортимента и положению относительно конкурентов. ...
Добавлено: 25 июля 2019 г.
  • О ВЫШКЕ
  • Цифры и факты
  • Руководство и структура
  • Устойчивое развитие в НИУ ВШЭ
  • Преподаватели и сотрудники
  • Корпуса и общежития
  • Закупки
  • Обращения граждан в НИУ ВШЭ
  • Фонд целевого капитала
  • Противодействие коррупции
  • Сведения о доходах, расходах, об имуществе и обязательствах имущественного характера
  • Сведения об образовательной организации
  • Людям с ограниченными возможностями здоровья
  • Единая платежная страница
  • Работа в Вышке
  • ОБРАЗОВАНИЕ
  • Лицей
  • Довузовская подготовка
  • Олимпиады
  • Прием в бакалавриат
  • Вышка+
  • Прием в магистратуру
  • Аспирантура
  • Дополнительное образование
  • Центр развития карьеры
  • Бизнес-инкубатор ВШЭ
  • Образовательные партнерства
  • Обратная связь и взаимодействие с получателями услуг
  • НАУКА
  • Научные подразделения
  • Исследовательские проекты
  • Мониторинги
  • Диссертационные советы
  • Защиты диссертаций
  • Академическое развитие
  • Конкурсы и гранты
  • Внешние научно-информационные ресурсы
  • РЕСУРСЫ
  • Библиотека
  • Издательский дом ВШЭ
  • Книжный магазин «БукВышка»
  • Типография
  • Медиацентр
  • Журналы ВШЭ
  • Публикации
  • http://www.minobrnauki.gov.ru/
    Министерство науки и высшего образования РФ
  • https://edu.gov.ru/
    Министерство просвещения РФ
  • http://www.edu.ru
    Федеральный портал «Российское образование»
  • https://elearning.hse.ru/mooc
    Массовые открытые онлайн-курсы
  • НИУ ВШЭ1993–2026
  • Адреса и контакты
  • Условия использования материалов
  • Политика конфиденциальности
  • Правила применения рекомендательных технологий в НИУ ВШЭ
  • Карта сайта
Редактору