Проектирование сверхвысоковакуумного модульного оборудования электронного производства с учетом уровня привносимых загрязнений

С. В. Степанчиков

АБВ
АБВ
АБВ

Обычная версия сайта

Приоритетные направления

по году

Тематика

Новости

26 мая 2026 г.

Гибкость рынка труда как новая норма: ее формы и адаптация работников

Гибкий рынок труда, который наблюдается сегодня, — не временная тактика или вынужденная мера, а системный ответ на ряд вызовов. Как меняется карьера, какие формы гибкости встречаются и как работникам адаптироваться к ним, в колонке для IQ Медиа размышляет директор Института занятости и профессий НИУ ВШЭ Федор Прокопов.

25 мая 2026 г.

Биологи ВШЭ получили «молекулярный отпечаток» преэклампсии

Исследователи НИУ ВШЭ использовали новый способ моделирования состояния гипоксии в клетках плаценты при беременности, осложненной преэклампсией, и обнаружили молекулярные маркеры кислородного голодания тканей. Гипоксия — один из ключевых механизмов преэклампсии, полученные результаты важны для более точной и своевременной диагностики заболевания, а также для разработки эффективных методов лечения. Работа опубликована в журнале Placenta.

22 мая 2026 г.

Лаборатория живых смыслов: как проект НИУ ВШЭ и СахГУ переосмысляет труд

Проект «Зеркальные лаборатории» НИУ ВШЭ — Пермь и Сахалинского государственного университета (СахГУ) изучает, как культура, среда и технологии формируют и меняют трудовые смыслы. Исследование объединяет индивидуальный опыт, профессиональные нормы, городские проблемы, творческие практики и цифровые условия труда. Руководитель Лаборатории междисциплинарных исследований по антропологии труда НИУ ВШЭ в Перми Лилия Пантелеева рассказала о работе проекта.

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации

?

Проектирование сверхвысоковакуумного модульного оборудования электронного производства с учетом уровня привносимых загрязнений

С. 129–132.

Степанчиков С. В.

Проведена оценка уровня загрязнения микрочастицами технологической среды при работе сверхвысоковакуумного модульного оборудования. Рассмотрены составляющие уровня загрязнения микрочастицами привносимыми в вакуумный объём из атмосферы, с напускаемыми газами и от работающих внутрикамерных механических и технологических систем.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: электронное производство сверхвысоковакуумное модульное оборудование уровень привносимых загрязнений рациональное проектирование оборудования

В книге

Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва

Ч. 7: Проблемы надежности и качества. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012.

Твёрдосмазочные покрытия для улучшения экологии вакуумной технологической среды в электронном производстве

Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В., Экология промышленного производства 2011 № 3 С. 59–62

Предложены твёрдосмазочные покрытия, предназначенные для улучшения экологических параметров вакуумного оборудования электронного производства. Представлены результаты экспериментальных исследований фрикционных характеристик твёрдосмазочных покрытий. Разработаны конструктивно-технологические решения опорных узлов механических систем, позволяющие улучшить экологию вакуумной технологической среды. ...

Добавлено: 17 мая 2013 г.

Снижение загрязнений объектов электронного производства в сверхвысоковакуумном модульном оборудовании

Степанчиков С. В., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 122–125.

Сформулирован принцип создания системы снижения загрязнений построенный на основе анализа источников генерации микрочастиц, привносимых на обрабатываемые объекты в сверхвысоковакуумном модульном оборудовании электронного производства, и анализ факторов, влияющих на них. ...

Добавлено: 3 февраля 2013 г.