• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Контроль толщины нанопокрытий

Датчики и системы. 2012. № 1. С. 60-65.
Юрин А. И., Филимонов В. В., Карцев Е. А.

Рассмотрены методы и средства измерений толщины тонких пленок. Особое внимание уделено вопросам измерения толщин покрытий нанометрового диапазона и сравнительной оценки разрешающей способности и погрешностей различных методов их измерения.