?
Идеология проектирования вакуумного оборудования радиоэлектронного приборостроения
С. 249–252.
Васин В. А., Вишневский А. С., Дальская Г., Степанчиков С. В.
Анализ тенденций развития современной электронной техники в отечественной практике и в промышленно развитых странах свидетельствует о непрерывном расширении масштабов применения высоких вакуумных технологий и технологического оборудования для их реализации. Одним из важнейших факторов, определяющих уровень и надёжность оборудования этого класса, является не только его способность формировать необходимые для соответствующих технологических процессов вакуумные условия, но и сохранять их стабильными в течении технологического цикла.
Аналогичные проблемы возникают при создании высоковакуумного оборудования в приборостроительной, авиационной и космической технике, в прецизионной металлургии для уникальных процессов атомной и термоядерной энергетики, ядерной физики, физики элементарных частиц, вплоть до тонких химических и медицинских технологий.
В книге
Ч. 2. , М.: Энергоатомиздат, 2009.
Галиуллин А. А., Мартанов С. Г., Скориков М. Л. и др., Приборы и техника эксперимента 2022 № 6 С. 137–139
В оптических исследованиях образец зачастую должен находиться в условиях, отличных от стандартных, например: при повышенной или пониженной температурах, в вакууме, в атмосфере инертного или агрессивного газа. Для создания подобных условий необходима камера с прозрачным окном, помещаемым под объектив микроскопа с большим рабочим отрезком. Зачастую такая камера представляет собой оптический криостат для микроскопии, дорогостоящий и не ...
Добавлено: 14 ноября 2022 г.
М.: Московский технологический университет (МИРЭА), 2018.
В настоящий сборник включены материалы Международной НТК «INTERMATIC–2018», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области прикладной физики твердого тела, наноструктур, физической электроники, радиоматериалов и технологий, радиоэлектронного приборостроения, информационных технологий и телекоммуникаций, проблем надежности и качества. ...
Добавлено: 12 декабря 2018 г.
Новелла, 2018.
Опубликованы материалы докладов XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» по направлениям: вакуумные технологии и технологическое оборудование, новые технологии формирования тонких металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс, материалы вакуумной техники; криогенная и криовакуумная техника. ...
Добавлено: 24 апреля 2018 г.
М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2014.
В настоящий сборник включены материалы Международной НТК «INTERMATIC–2014», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоматериалов и технологий.
Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.
В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы VI Всероссийской научно-технической школы-конференции ...
Добавлено: 2 июня 2015 г.
М.: МГТУ МИРЭА, 2014.
В настоящий сборник включены материалы Международной НТК «INTERMATIC–2014», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоэлектронного приборостроения. Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов. В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы VI Всероссийской научно-технической ...
Добавлено: 8 декабря 2014 г.
М.: Энергоатомиздат, 2013.
В настоящий сборник включены материалы Международной НТК INTERMATIC – 2013, отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоматериалов и технологий. Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов. В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы ...
Добавлено: 28 января 2014 г.
МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2013.
В настоящий сборник включены материалы НТК «INTERMATIC-2013», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоматериалов и технологий.
Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.
В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы V Всероссийской научно – технической ...
Добавлено: 25 января 2014 г.
М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2013.
В настоящий сборник включены материалы НТК «INTERMATIC-2013», отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области радиоматериалов и технологий.
Сборник рассчитан на специалистов в области физической электроники и технологии радиоэлектронного приборостроения. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.
В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы V Всероссийской научно – технической ...
Добавлено: 24 января 2014 г.
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013.
В сборник включены материалы докладов по следующим научным направлениям конференции: - физические явления и процессы в вакууме; - расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; - средства получения, измерения вакуума и течеискание; - процессы в вакуумных электрофизических установках и приборах; - вакуумные технологии и нанотехнологии; - вакуумная механика и трибология; - вакуумные биомедицинские технологии, ...
Добавлено: 3 октября 2013 г.
М.: Энергоатомиздат, 2010.
В настоящий сборник включены материалы НТК INTERMATIC-2010, отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области материалов и компонентов радиоэлектроники и приборов РЭА.
Сборник рассчитан на специалистов в области физической радиоэлектроники. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.
В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы II Всероссийской научно – технической ...
Добавлено: 22 сентября 2013 г.
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 237–238.
Проводится анализ устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием (УБМВ) вакуумного оборудования электронной техники, с точки зрения надёжности шарикоподшипников, работающих в условиях прогреваемого вакуума в диапазоне остаточных давлений 101…10-8 Па и температуры до 500оС. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Лучников П. А. и др., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 225–228.
Рассматриваются особенности современного вакуумного технологического оборудования по получению тонкоплёночных структур, в котором габаритные размеры обрабатываемых поверхностей достигают 300 мм и более. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 219–221.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения. Проводится компьютерное моделирование и рассчитывается газовый поток из опорного узла УБМВ, при различных значениях температуры и давления в вакуумной камере. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 134–136.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения и влияния на остаточное давление вблизи зоны трения. ...
Добавлено: 5 февраля 2013 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В., Технология машиностроения 2011 № 6 С. 27–28
Разработана математическая модель сложных перемещений исполнительного устройства автоматизированного вакуумного технологического оборудования, позволяющая управлять равномерностью нанесения тонких пленок с целью ее повышения. Приведены технологические преимущества l-координатных исполнительных устройств в сравнении с планетарными компоновками и основные пути управления и повышения равномерности нанесения тонких пленок в вакууме. ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., Структурная Надёжность 2011 № 2 С. 40–48
Представлены методы расчёта трибоэкологических параметров, влияющих на загрязнение внутрикамерных объёмов вакуумного оборудования и дефектность, привносимую на обрабатываемые изделия электронной техники. Выполнен расчёт коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме в зависимости от разряжения окружающей среды для случаев упругого и пластичного контактного взаимодействия, а также расчёт интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., Электромагнитные волны и электронные системы 2011 № 4 С. 49–55
Рассмотрены особенности проектирования элементов и устройств вакуумного оборудования, предназначенных для реализации экологически чистых и энергосберегающих технологий в электронном производстве. Выполнены расчёты коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме, в зависимости от разрежения окружающей среды, для различных случаев контактного взаимодействия, а так же – интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости скольжения, остаточного ...
Добавлено: 12 апреля 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В., Успехи современной радиоэлектроники. Зарубежная радиоэлектроника 2011 № 2 С. 66–71
Рассмотрены особенности развития специального вакуумного технологического оборудования и проблемы снижения привносимых им загрязнений. Приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и устройствам без узлов трения для современного вакуумного технологического оборудования. Такой подход обеспечивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий в радиоэлектронной промышленности. ...
Добавлено: 12 апреля 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В., Приводная техника 2009 № 5(87) С. 33–36
Предложены твёрдосмазочные покрытия для элементов приводных систем работающих в условиях вакуума. Проведены экспериментальные исследования фрикционных характеристик данных покрытий. Выведена формула для определения интенсивности изнашивания узлов трения. ...
Добавлено: 12 апреля 2012 г.