• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
  • Публикации ВШЭ
  • Статьи
  • Особенности проектирования вакуумного технологического оборудования радиоэлектронной промышленности
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Приоритетные направления
  • бизнес-информатика
  • государственное и муниципальное управление
  • гуманитарные науки
  • инженерные науки
  • компьютерно-математическое
  • математика
  • менеджмент
  • право
  • социология
  • экономика
по году
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • еще
Тематика
Новости
20 мая 2026 г.
«Еж» против «родственника»: ученые измерили, как мозг реагирует на неожиданные слова в живой речи
Российские нейрофизиологи с участием исследователей из НИУ ВШЭ показали, что изучать восприятие живой речи можно с помощью вызванных потенциалов. Они доказали, что метод применим не только к отдельным словам, но и к непрерывной речи. Оказалось, что слова, сильно отличающиеся по смыслу от предыдущего контекста, мозг обрабатывает дольше, а служебные слова анализирует в два этапа: сначала определяет их грамматическую роль, а затем на этой основе предсказывает следующее слово. Исследование опубликовано в журнале Frontiers in Human Neuroscience.
20 мая 2026 г.
Творческая работа как лекарство от выгорания
Творческая и доброжелательная атмосфера, новые методы в Международной лаборатории (впоследствии центре) социокультурных исследований привлекают молодых исследователей. За годы работы в Вышке они становятся учеными и преподавателями, известными в России и за рубежом. О своем пути в центре и в Вышке, исследованиях и роли наставников в научных успехах рассказали главный научный сотрудник ЦСКИ Зарина Лепшокова и ведущий научный сотрудник Екатерина Бушина.
19 мая 2026 г.
Физики НИУ ВШЭ выяснили, что происходит внутри устойчивого вихря
В атмосфере и в океане часто наблюдаются крупные вихри с характерными спиральными рукавами. Физики из НИУ ВШЭ объяснили, как они формируются и почему сохраняют свою структуру. Оказалось, что скорости в точках, расположенных вдоль одной дуги вихря, остаются связанными даже на больших расстояниях. При этом в направлении от центра вихря эта связь быстро ослабевает. Такие различия помогают объяснить образование рукавов и могут улучшить модели атмосферных и океанических течений. Результаты опубликованы в Physical Review Fluids.

 

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации
  • Книги
  • Статьи
  • Главы в книгах
  • Препринты
  • Верификация публикаций
  • Расширенный поиск
  • Правила использования материалов
  • Наука в ВШЭ

?

Особенности проектирования вакуумного технологического оборудования радиоэлектронной промышленности

Успехи современной радиоэлектроники. Зарубежная радиоэлектроника. 2011. № 2. С. 66–71.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В.
Рассмотрены особенности развития специального вакуумного технологического оборудования и проблемы снижения привносимых им загрязнений. Приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и устройствам без узлов трения для современного вакуумного технологического оборудования. Такой подход обеспечивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий в радиоэлектронной промышленности.
Приоритетные направления: компьютерно-математическое
Язык: русский
Полный текст
Ключевые слова: загрязняющие микрочастицыпривносимая дефектностьвыход годныхфункциональные механизмывнутрипроизводственная средатопология микросхемВакуумная техника
Похожие публикации
Natural hazard database from Internet publications: text mining with a large language model
Деркачева А. А., Сакиркина М. А., Краев Г. Н. и др., /. 2026.
Добавлено: 28 апреля 2026 г.
Ising models on the hydrogen peroxide and other lattices
Qin X., Deng Y., Щур Л. Н. и др., / Series arXiv "math". 2026. No. 2603.02962.
Добавлено: 20 апреля 2026 г.
Algorithmic overlaps as thermodynamic variables: from local to cluster Monte Carlo dynamics in critical phenomena
Пиле Я. Э., Deng Y., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2026. No. 2604.10254.
Добавлено: 20 апреля 2026 г.
Using predefined vector systems to speed up neural network multimillion class classification
Gabdullin N., Андросов И. А., / Series Computer Science "arxiv.org". 2026.
Добавлено: 2 апреля 2026 г.
Iterative Ricci-Foster Curvature Flow with GMM-Based Edge Pruning: A Novel Approach to Community Detection
Сорокин К. С., Бекетов М. Е., Онучин А. и др., / arxiv.org. Серия cs.SI "Social and Information Networks ". 2025.
Обнаружение сообществ в сложных сетях — фундаментальная проблема, открытая для новых подходов в различных научных областях. Мы представляем новый метод обнаружения сообществ, основанный на потоке Риччи на графах. Наша техника итеративно обновляет веса ребер (их метрические длины) в соответствии с их (комбинаторной) версией кривизны Риччи Фостера, вычисленной на основе эффективного расстояния сопротивления между узлами. Известно, ...
Добавлено: 15 января 2026 г.
Implementing Transport Coding in OMNeT++ for Message Delay Reduction
Петрованов И. С., Сергеев А. В., / Series Computer Science "arxiv.org". 2025. No. 2512.18332.
Добавлено: 24 декабря 2025 г.
Hessian-based lightweight neural network for brain vessel segmentation on a minimal training dataset
Меньшиков И. А., Бернадотт А. К., Елфимов Н. С., / Series arXie "Statistical mechanics". 2025.
Добавлено: 1 декабря 2025 г.
Determining the boundary of dynamical chaos in the generalized Chirikov map via machine learning
Чернышов Д. П., Сатанин А. М., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2025.
Добавлено: 21 ноября 2025 г.
Эффективный алгоритм торговли на фондовом рынке: ретроспективный анализ, основанный на данных по S&P-500.
Рубчинский А. А., Чубарова Д. А., / Series WP7 "Математические методы анализа решений в экономике, бизнесе и политике". 2025. No. WP7/2025/01.
Добавлено: 9 ноября 2025 г.
Diffusion on language model embeddings for protein sequence generation
Мещанинов В. П., Strashnov, P., Shevtsov A. и др., / Cornell University. Серия CoRR, arXiv:2403.03726 "Computing Research Repository,". 2025.
Дизайн белков требует глубокого понимания присущей сложности «белкового вселенной». Хотя многие работы ориентируются на условную генерацию или сосредоточены на отдельных семействах белков, базовая задача безусловной генерации остаётся недостаточно изученной и недооценённой. В этой работе мы исследуем именно этот ключевой аспект и представляем DiMA — модель, которая использует непрерывную диффузию по эмбеддингам, полученным из языковой модели для белков ESM-2, ...
Добавлено: 5 октября 2025 г.
Smoothie: Smoothing Diffusion on Token Embeddings for Text Generation
Шабалин А. М., Мещанинов В. П., Vetrov D., / Series cs.CL, arXiv:2505.18853 "Computation and Language". 2025.
Диффузионные модели достигли передовых результатов в генерации изображений, аудио и видео, однако их адаптация к тексту остаётся сложной из-за его дискретной природы. Ранее подходы либо применяют гауссовскую диффузию в непрерывных латентных пространствах, что наследует семантическую структуру, но затрудняет декодирование токенов, либо работают в пространстве категориального симплекса, что учитывает дискретность, но игнорирует семантические связи между токенами. ...
Добавлено: 5 октября 2025 г.
A Feature Engineering Framework for Computer Vision Based on Topological Data Analysis
Абрамов А. С., Чернышев В. Л., Михайлец Е. В. и др., / Series Social Science Research Network "Social Science Research Network". 2025.
Добавлено: 23 сентября 2025 г.
On the construction of frieze patterns from partitions of convex polygons by nonintersecting diagonals
Кочетков Ю. Ю., / Series arXiv.org e-print archive "arXiv.math". 2025. No. 07600.
Добавлено: 17 сентября 2025 г.
On one property of Catalan numbers
Кочетков Ю. Ю., / Series arXiv.org e-print archive "arXiv.math". 2025. No. 20584.
Добавлено: 9 сентября 2025 г.
Оценка влияния промышленного загрязнения атмосферного воздуха микрочастицами на здоровье населения Арктического региона (на примере Мурманской области)
Дядик В. В., Дядик Н. В., Ключникова Е. М. и др., Апатиты: ФИЦ КНЦ РАН, 2022.
Настоящее исследование посвящено изучению проблематики загрязнения воздуха микрочастицами в территориальном контексте Арктического региона (на примере Мурманской области). На информационной базе региональной медицинской статистики, данных о взаимосвязи отдельных групп заболеваний с воздействием определенных поллютантов авторами монографии решается задача комплексной оценки состояния  и динамики здоровья (заболеваемости) населения территорий Мурманской области,  на которых расположены крупные горно-химические и горно-металлургические ...
Добавлено: 27 января 2023 г.
ПРОСТАЯ ГЕРМЕТИЧНАЯ КАМЕРА С КОНТРОЛИРУЕМОЙ ТЕМПЕРАТУРОЙ ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ МИКРОСКОПИИ
Галиуллин А. А., Мартанов С. Г., Скориков М. Л. и др., Приборы и техника эксперимента 2022 № 6 С. 137–139
В оптических исследованиях образец зачастую должен находиться в условиях, отличных от стандартных, например: при повышенной или пониженной температурах, в вакууме, в атмосфере инертного или агрессивного газа. Для создания подобных условий необходима камера с прозрачным окном, помещаемым под объектив микроскопа с большим рабочим отрезком. Зачастую такая камера представляет собой оптический криостат для микроскопии, дорогостоящий и не ...
Добавлено: 14 ноября 2022 г.
Материалы XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» (Москва, КВЦ «Сокольники, 2018, 24-26 апреля 2018г.). М.: Новелла. 2018, 272с.
Новелла, 2018.
Опубликованы материалы докладов XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» по направлениям: вакуумные технологии и технологическое оборудование, новые технологии формирования тонких металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс, материалы вакуумной техники;  криогенная и криовакуумная техника. ...
Добавлено: 24 апреля 2018 г.
Вакуумная наука и техника: Материалы ХХ юбилейной научно-технической конференции
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013.
В сборник включены материалы докладов по следующим научным направлениям конференции: - физические явления и процессы в вакууме; - расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; - средства получения, измерения вакуума и течеискание; - процессы в вакуумных электрофизических установках и приборах; - вакуумные технологии и нанотехнологии; - вакуумная механика и трибология; - вакуумные биомедицинские технологии, ...
Добавлено: 3 октября 2013 г.
Идеология проектирования вакуумного оборудования радиоэлектронного приборостроения
Васин В. А., Вишневский А. С., Дальская Г. и др., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 249–252.
Анализ тенденций развития современной электронной техники в отечественной практике и в промышленно развитых странах свидетельствует о непрерывном расширении масштабов применения высоких вакуумных технологий и технологического оборудования для их реализации. Одним из важнейших факторов, определяющих уровень и надёжность оборудования этого класса, является не только его способность формировать необходимые для соответствующих технологических процессов вакуумные условия, но и ...
Добавлено: 18 марта 2013 г.
Деятельность подрядчика в условиях саморегулирования строительной деятельности
Вершинин В. Р., М.: Спутник+, 2010.
Особенности производственного контроля за качеством строительства в условиях саморегулирования. ...
Добавлено: 28 февраля 2013 г.
Расчёт и выбор шарикоподшипников для сверхвысоковакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 237–238.
Проводится анализ устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием (УБМВ) вакуумного оборудования электронной техники, с точки зрения надёжности шарикоподшипников, работающих в условиях прогреваемого вакуума в диапазоне остаточных давлений 101…10-8 Па и температуры до 500оС. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Возможности масштабирования в вакуумном оборудовании для нанесения тонких плёнок при переходе размеров от 125×125 мм к 1000×1000 мм
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Лучников П. А. и др., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 225–228.
Рассматриваются особенности современного вакуумного технологического оборудования по получению тонкоплёночных структур, в котором габаритные размеры обрабатываемых поверхностей достигают 300 мм и более. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Исследование и моделирование газовыделения из устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием в вакуумном оборудовании электронного производства
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 219–221.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения. Проводится компьютерное моделирование и рассчитывается газовый поток из опорного узла УБМВ, при различных значениях температуры и давления в вакуумной камере. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Исследование газовыделения из вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 134–136.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения и влияния на остаточное давление вблизи зоны трения. ...
Добавлено: 5 февраля 2013 г.
  • О ВЫШКЕ
  • Цифры и факты
  • Руководство и структура
  • Устойчивое развитие в НИУ ВШЭ
  • Преподаватели и сотрудники
  • Корпуса и общежития
  • Закупки
  • Обращения граждан в НИУ ВШЭ
  • Фонд целевого капитала
  • Противодействие коррупции
  • Сведения о доходах, расходах, об имуществе и обязательствах имущественного характера
  • Сведения об образовательной организации
  • Людям с ограниченными возможностями здоровья
  • Единая платежная страница
  • Работа в Вышке
  • ОБРАЗОВАНИЕ
  • Лицей
  • Довузовская подготовка
  • Олимпиады
  • Прием в бакалавриат
  • Вышка+
  • Прием в магистратуру
  • Аспирантура
  • Дополнительное образование
  • Центр развития карьеры
  • Бизнес-инкубатор ВШЭ
  • Образовательные партнерства
  • Обратная связь и взаимодействие с получателями услуг
  • НАУКА
  • Научные подразделения
  • Исследовательские проекты
  • Мониторинги
  • Диссертационные советы
  • Защиты диссертаций
  • Академическое развитие
  • Конкурсы и гранты
  • Внешние научно-информационные ресурсы
  • РЕСУРСЫ
  • Библиотека
  • Издательский дом ВШЭ
  • Книжный магазин «БукВышка»
  • Типография
  • Медиацентр
  • Журналы ВШЭ
  • Публикации
  • http://www.minobrnauki.gov.ru/
    Министерство науки и высшего образования РФ
  • https://edu.gov.ru/
    Министерство просвещения РФ
  • http://www.edu.ru
    Федеральный портал «Российское образование»
  • https://elearning.hse.ru/mooc
    Массовые открытые онлайн-курсы
  • НИУ ВШЭ1993–2026
  • Адреса и контакты
  • Условия использования материалов
  • Политика конфиденциальности
  • Правила применения рекомендательных технологий в НИУ ВШЭ
  • Карта сайта
Редактору