?
Возможности масштабирования в вакуумном оборудовании для нанесения тонких плёнок при переходе размеров от 125×125 мм к 1000×1000 мм
С. 225–228.
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Лучников П. А., Степанчиков С. В.
Рассматриваются особенности современного вакуумного технологического оборудования по получению тонкоплёночных структур, в котором габаритные размеры обрабатываемых поверхностей достигают 300 мм и более.
В книге
Ч. 4. , М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011.
Галиуллин А. А., Мартанов С. Г., Скориков М. Л. и др., Приборы и техника эксперимента 2022 № 6 С. 137–139
В оптических исследованиях образец зачастую должен находиться в условиях, отличных от стандартных, например: при повышенной или пониженной температурах, в вакууме, в атмосфере инертного или агрессивного газа. Для создания подобных условий необходима камера с прозрачным окном, помещаемым под объектив микроскопа с большим рабочим отрезком. Зачастую такая камера представляет собой оптический криостат для микроскопии, дорогостоящий и не ...
Добавлено: 14 ноября 2022 г.
Новелла, 2018.
Опубликованы материалы докладов XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» по направлениям: вакуумные технологии и технологическое оборудование, новые технологии формирования тонких металлических, полупроводниковых и диэлектрических пленок, вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс, материалы вакуумной техники; криогенная и криовакуумная техника. ...
Добавлено: 24 апреля 2018 г.
Дровосеков А. Б., Крейнес Н. М., Савицкий А. О. и др., Журнал экспериментальной и теоретической физики 2015 Т. 147 № 6 С. 1204–1219
Изучено влияние толщины прослойки хрома на магнитное состояние многослойной структуры [Fe/Cr/Gd/Cr]n. Методами СКВИД-магнитометрии и ферромагнитного резонанса в интервале температур 4.2 - 300К исследована серия структур Fe/Cr/Gd с толщинами прослойки Cr в диапазоне 4 - 30Å. Для описания экспериментальных результатов используется модель эффективного поля, учитывающая биквадратичный вклад в энергию межслойного обмена, а также неоднородное распределение намагниченности ...
Добавлено: 9 июня 2015 г.
М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013.
В сборник включены материалы докладов по следующим научным направлениям конференции: - физические явления и процессы в вакууме; - расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов; - средства получения, измерения вакуума и течеискание; - процессы в вакуумных электрофизических установках и приборах; - вакуумные технологии и нанотехнологии; - вакуумная механика и трибология; - вакуумные биомедицинские технологии, ...
Добавлено: 3 октября 2013 г.
Смирнов И. С., Новоселова Е. Г., Baranov A. M. и др., Diamond and Related Materials 1997 Vol. 6 P. 1784–1788
We demonstrate the possibility of determining a large group of physical properties of DLC films using only one group of methods based on X-ray interference studies. These include methods for determination of the film thickness, material density and roughness of the surface. We present the analysis of possibilities to use the method of the two-crystal X-ray ...
Добавлено: 26 марта 2013 г.
Васин В. А., Вишневский А. С., Дальская Г. и др., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 249–252.
Анализ тенденций развития современной электронной техники в отечественной практике и в промышленно развитых странах свидетельствует о непрерывном расширении масштабов применения высоких вакуумных технологий и технологического оборудования для их реализации. Одним из важнейших факторов, определяющих уровень и надёжность оборудования этого класса, является не только его способность формировать необходимые для соответствующих технологических процессов вакуумные условия, но и ...
Добавлено: 18 марта 2013 г.
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 237–238.
Проводится анализ устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием (УБМВ) вакуумного оборудования электронной техники, с точки зрения надёжности шарикоподшипников, работающих в условиях прогреваемого вакуума в диапазоне остаточных давлений 101…10-8 Па и температуры до 500оС. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 219–221.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения. Проводится компьютерное моделирование и рассчитывается газовый поток из опорного узла УБМВ, при различных значениях температуры и давления в вакуумной камере. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 134–136.
В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения и влияния на остаточное давление вблизи зоны трения. ...
Добавлено: 5 февраля 2013 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В., Технология машиностроения 2011 № 6 С. 27–28
Разработана математическая модель сложных перемещений исполнительного устройства автоматизированного вакуумного технологического оборудования, позволяющая управлять равномерностью нанесения тонких пленок с целью ее повышения. Приведены технологические преимущества l-координатных исполнительных устройств в сравнении с планетарными компоновками и основные пути управления и повышения равномерности нанесения тонких пленок в вакууме. ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., Структурная Надёжность 2011 № 2 С. 40–48
Представлены методы расчёта трибоэкологических параметров, влияющих на загрязнение внутрикамерных объёмов вакуумного оборудования и дефектность, привносимую на обрабатываемые изделия электронной техники. Выполнен расчёт коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме в зависимости от разряжения окружающей среды для случаев упругого и пластичного контактного взаимодействия, а также расчёт интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости ...
Добавлено: 14 декабря 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С. и др., Электромагнитные волны и электронные системы 2011 № 4 С. 49–55
Рассмотрены особенности проектирования элементов и устройств вакуумного оборудования, предназначенных для реализации экологически чистых и энергосберегающих технологий в электронном производстве. Выполнены расчёты коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме, в зависимости от разрежения окружающей среды, для различных случаев контактного взаимодействия, а так же – интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости скольжения, остаточного ...
Добавлено: 12 апреля 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В., Успехи современной радиоэлектроники. Зарубежная радиоэлектроника 2011 № 2 С. 66–71
Рассмотрены особенности развития специального вакуумного технологического оборудования и проблемы снижения привносимых им загрязнений. Приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и устройствам без узлов трения для современного вакуумного технологического оборудования. Такой подход обеспечивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий в радиоэлектронной промышленности. ...
Добавлено: 12 апреля 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В., Приводная техника 2009 № 5(87) С. 33–36
Предложены твёрдосмазочные покрытия для элементов приводных систем работающих в условиях вакуума. Проведены экспериментальные исследования фрикционных характеристик данных покрытий. Выведена формула для определения интенсивности изнашивания узлов трения. ...
Добавлено: 12 апреля 2012 г.