Повышение равномерности нанесения тонких пленок в вакууме

В. А. Васин; Е. Н. Ивашов; С. В. Степанчиков

?

Повышение равномерности нанесения тонких пленок в вакууме

Технология машиностроения. 2011. № 6. С. 27–28.

Васин В. А., Ивашов Е. Н., Степанчиков С. В.

Разработана математическая модель сложных перемещений исполнительного устройства автоматизированного вакуумного технологического оборудования, позволяющая управлять равномерностью нанесения тонких пленок с целью ее повышения. Приведены технологические преимущества l-координатных исполнительных устройств в сравнении с планетарными компоновками и основные пути управления и повышения равномерности нанесения тонких пленок в вакууме.

Научное направление: Строительство Механика и машиностроение Рациональное природопользование Электроника и электротехника

Приоритетные направления: инженерные науки

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: Электронная техника Вакуумная техника Electronic engineering devices thin film deposition vacuum equipment приборы нанесение тонких пленок гидропривод и пневмопривод и их элементы прочие детали машин и механизмов

АНАЛИЗ ИССЛЕДОВАНИЙ, ПОСВЯЩЁННЫХ ИСПОЛЬЗОВАНИЮ СЕНСОРИКИ ДВИЖИТЕЛЕЙ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ ТРАНСПОРТНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ СРЕДСТВ

Холоденко В. Б., Русский инженер 2024 № 3 С. 34–37

Анализ различных методик повышения энергоэффективности и безопасности движения за счёт применения систем управления, учитывающих силовые факторы при взаимодействии колёсного движителя с опорной поверхностью. В процессе анализа методик повышения энергоэффективности и безопасности использовались методы логического и статистического анализа. Существует большое количество датчиков, способных фиксировать нагрузки при движении транспортно-технологического средства. Применение информации, получаемой с устройств, поможет существенно ...

Добавлено: 19 мая 2026 г.

Perovskite nanoparticles Cs4PbBr6 and CsPbBr3: synthesis, analysis and peculiar optical properties

Гущина В. А., / Series chemrxiv-2023-vpzhz-v2 "ChemRxiv". 2023.

Наночастицы полностью неорганических перовскитов CsPbBr3 и Cs4PbBr6 интенсивно изучаются благодаря их уникальным свойствам и широкому спектру применений; однако природа их оптических свойств до сих пор полностью не изучена из-за сложности синтеза однофазных наночастиц. В данной статье мы описываем особенности синтеза однофазных частиц и результаты их химического и фазового анализа. Используя данные о концентрациях наночастиц, мы ...

Добавлено: 14 мая 2026 г.

Анализ погрешности измерений показателя преломления инфракрасных материалов методом наименьшего отклонения

Вишняков Г. Н., Юрин А. И., Минаев В. Л. и др., Измерительная техника 2026 Т. 75 № 2 С. 46–57

Рассмотрены проблемы метрологического обеспечения средств измерений показателя преломления твёрдых оптических материалов (кремния, германия и т. п.), применяемых в инфракрасном диапазоне спектра (инфракрасных материалов). Показатель преломления оптических материалов в инфракрасном диапазоне длин волн необходимо знать с высокой точностью при разработке оптики для тепловизоров, приборов ночного видения и т. п. В настоящее время актуальны задачи разработки отечественных ...

Добавлено: 14 мая 2026 г.

Методика оценки функциональной безопасности маршрутизаторов на основе вероятностно-физической модели

Полесский С. Н., Тумковский С. Р., Цветков В. Э. и др., Информационно-управляющие системы 2026 № 2 С. 49–60

Функциональная безопасность сетевых маршрутизаторов, используемых в критической информационной инфраструктуре, требует количественной оценки на основе надежностных данных. Существующие методики оценки показателей безопасности не отражают влияние физических механизмов деградации в реальных условиях эксплуатации, что снижает достоверность результатов и затрудняет принятие обоснованных технических решений. Цель: повысить точность количественной оценки функциональной безопасности маршрутизаторов путем разработки методики, учитывающей деградационные процессы и ...

Добавлено: 12 мая 2026 г.

2025 IEEE/CVF International Conference on Computer Vision Workshops (ICCVW)

Honolulu: IEEE, 2025.

Добавлено: 3 мая 2026 г.

Machine Learning Methods for Fast Evaluation of Static IR Drop Effect

Solovyev Roman A., Telpukhov Dmitry, Shafeev I. и др., Technologies 2026 Vol. 14 No. 3 Article 169

Добавлено: 3 мая 2026 г.

Proceedings of the 2026 8th International Youth Conference on Radio Electronics, Electrical and Power Engineering (REEPE)

Даюб А., Сулейман Э., IEEE, 2026.

Добавлено: 30 апреля 2026 г.

Перспективные материалы и технологии (ПМТ-2024) : Сборник докладов Международной научно-технической конференции ИПТИП РТУ МИРЭА, Москва, 12–16 апреля 2024 года

М.: РТУ МИРЭА, 2024.

В сборнике опубликованы работы, представленные на Международной научно-технической конференции «Перспективные материалы и технологии» («ПМТ–2024»), а также работы ведущих ученых и специалистов, занимающихся созданием новых инновационных оптических материалов, исследованиями в области оптоэлектронных и оптоволоконных систем. Сборник трудов может быть полезен для научных работников и инженеров, работающих по смежным научным направлениям, а также для аспирантов и студентов технических ...

Добавлено: 29 апреля 2026 г.

Перспективные материалы и технологии (ПМТ-2025) : Сборник докладов Национальной научно-технической конференции с международным участием, Москва, 07–12 апреля 2025 года

М.: РТУ МИРЭА, 2025.

Перспективные материалы и технологии (ПМТ-2025) : Сборник докладов Национальной научно-технической конференции с международным участием, Москва, 07–12 апреля 2025 года. – Москва: МИРЭА - Российский технологический университет, 2025. – 1820 с. ...

Добавлено: 29 апреля 2026 г.

Persistent illegal sturgeon fishing in the Caspian Sea

Ермолин И. В., Suvorkov P., Conservation Biology 2026 No. e70300 P. 1–10

Добавлено: 25 апреля 2026 г.

Modeling of Influence of a Thin Dielectric Film at a Fraction of Cathode Surface on Transition of a Glow Gas Discharge into an Arc Discharge

Bondarenko G.G., Fisher M. R., Kristya V. I., Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics 2026 Vol. 90 No. 4 P. 572–576

Добавлено: 25 апреля 2026 г.

LSTM-модель потребления тепловой энергии в многоэтажном жилом здании

Ершов И. А., Системная инженерия и инфокоммуникации 2025 № 4 С. 11–14

Теплопотребление жилых зданий представляет собой стохастический ряд, создание нейросетевой модели для которого необходимо для проектирования регуляторов тепловой энергии. В статье модель разработана с применением "длинной цепи элементов краткосрочной памяти" (LSTM, Long Short-Term Memory). Высокая точность воспроизведения рядов достигнута обучением модели на наборе данных города Томска 2013-2023 г.г. При моделировании учтены характеристики зданий и температура наружного воздуха. ...

Добавлено: 22 апреля 2026 г.

Ising models on the hydrogen peroxide and other lattices

Qin X., Deng Y., Щур Л. Н. и др., / Series arXiv "math". 2026. No. 2603.02962.

Добавлено: 20 апреля 2026 г.

Algorithmic overlaps as thermodynamic variables: from local to cluster Monte Carlo dynamics in critical phenomena

Пиле Я. Э., Deng Y., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2026. No. 2604.10254.

Добавлено: 20 апреля 2026 г.

Проектирование сети Интернета вещей на основе многокритериальной оптимизации и информационного моделирования здания

Иванов И. А., Эбрахим А., Информационные процессы 2025 Т. 25 № 4 С. 787–798

В статье предложен метод планирования расположения точек доступа и шлюзов внутри зданий для построения сетей Интернета вещей. Основа метода — использование информации из информационой модели здания, что даёт возможность легко учитывать как геометрию, так и физико-технические характеристики строительных элементов при расчёте распространения радиосигнала. В данной работе для решения задач оптимизации применяется генетический алгоритм U-NSGA-III. Расчёты ...

Добавлено: 19 апреля 2026 г.

Electric Double Layer: From Classical Stern-like Models to Advanced Continuum Theories

Doronin S., Yury A. Budkov, Current Opinion in Electrochemistry 2026 Vol. 57 Article 101853

Добавлено: 19 апреля 2026 г.

The partitioning of mobile fractions of chemical elements in the mineral loamy soils during natural regeneration after plowing in Western Russia

Enchilik P. R., G.V.Klink, Semenkov I. N., Science of the Total Environment 2025 Vol. 998 Article 180219

Добавлено: 19 апреля 2026 г.

Determining the boundary of dynamical chaos in the generalized Chirikov map via machine learning

Чернышов Д. П., Сатанин А. М., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2025.

Добавлено: 21 ноября 2025 г.

Doping dependence of low-energy charge collective excitations in high-Tc cuprates

Каган М. Ю., Silkin V. M., Efremov D. V., / Series arXiv "math". 2024. No. 2411.12836.

Добавлено: 27 ноября 2024 г.

Influence of anisotropy on the study of critical behavior of spin models by machine learning methods

Суховерхова Д. Д., Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2410.14523.

...

Добавлено: 21 октября 2024 г.

Comparison of the microcanonical population annealing algorithm with the Wang-Landau algorithm

Мозоленко В. К., Fadeeva Marina, Щур Л. Н., / Series arXiv "math". 2024. No. 2405.10865.

Добавлено: 20 мая 2024 г.

2024 Conference of Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (ElCon)

IEEE, 2024.

Добавлено: 22 апреля 2024 г.

Majorana modes and Fano resonances in Aharonov- Bohm ring with topologically nontrivial superconducting bridge

Каган М. Ю., Аксёнов С. В., / Series Research Square "Research Suqare". 2024. No. 1.

Добавлено: 10 апреля 2024 г.

High-frequency dielectric anomalies in a highly frustrated square kagome lattice nabokoite family compounds ACu7(TeO4)(SO4)5Cl (A=Na, K, Rb, Cs)

Ребров Я. В., Глазков В. Н., Murtazoev A. F. и др., / Series cond-mat "arxiv.org". 2023.

Добавлено: 29 января 2024 г.