INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., Москва

Ч. 4. М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011.

Ответственный редактор: Сигов А. С.

В настоящий сборник включены материалы НТК INTERMATIC-2011, отражающие новые результаты научных и инженерных исследований в области проблем качества и технологических процессов.

Сборник рассчитан на специалистов в области физической радиоэлектроники. Он также может быть использован преподавателями, аспирантами и студентами при изучении соответствующих курсов.

В настоящий сборник также включены соответствующие теме материалы III Всероссийской научно – технической школы – конференции молодых учёных «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14 – 17 ноября 2011 г., Москва.

Главы книги

Устройство перемещения для нанотехнологии

Ивашов Е. Н., Перевозников А. Ю., Демидов Д. В. и др., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 170–172.

В работе рассмотрены принципы построения устройств перемещения для сканирующей зондовой микроскопии, предложено устройство перемещения для нанотехнологии, позволяющее обеспечить взаимную независимость перемещений зонда по координатным осям. ...

Добавлено: 8 февраля 2013 г.

Исследование и моделирование газовыделения из устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием в вакуумном оборудовании электронного производства

Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 219–221.

В работе исследуются перспективные механические системы с бесконтактным магнитным взаимодействием для вакуумного оборудования электронного производства на предмет их газовыделения. Проводится компьютерное моделирование и рассчитывается газовый поток из опорного узла УБМВ, при различных значениях температуры и давления в вакуумной камере. ...

Добавлено: 8 февраля 2013 г.

Возможности масштабирования в вакуумном оборудовании для нанесения тонких плёнок при переходе размеров от 125×125 мм к 1000×1000 мм

Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Лучников П. А. и др., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 225–228.

Рассматриваются особенности современного вакуумного технологического оборудования по получению тонкоплёночных структур, в котором габаритные размеры обрабатываемых поверхностей достигают 300 мм и более. ...

Добавлено: 8 февраля 2013 г.

Расчёт и выбор шарикоподшипников для сверхвысоковакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием

Ивашов Е. Н., Кузнецов П. С., Степанчиков С. В., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 237–238.

Проводится анализ устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием (УБМВ) вакуумного оборудования электронной техники, с точки зрения надёжности шарикоподшипников, работающих в условиях прогреваемого вакуума в диапазоне остаточных давлений 101…10-8 Па и температуры до 500оС. ...

Добавлено: 8 февраля 2013 г.

Технологические принципы формирования пленочных элементов туннельного НЭМС преобразователя

Балан Н. Н., Ивашов Е. Н., Лучников П. А., В кн.: INTERMATIC - 2011. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 14-17 ноября 2011 г., МоскваЧ. 4.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2011. С. 260–267.

В настоящей работе рассмотрены принципы создания электродных покрытий основных элементов наноэлектромеханического преобразователя с диафрагменным упругим чувствительным элементом (УЧЭ) с использованием эффекта электронного туннелирования при использовании процессов КМОП технологии. Разработаны специальные технологические процессы, предназначенные для формирования электродов туннельного преобразователя на основе тугоплавкого материала – силицида платины, обладающего по сравнению с прочими материалами рядом преимуществ, таких как химическая ...

Добавлено: 8 февраля 2013 г.