?
Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии
С. 306–307.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.
В работе предлагаются методы повышения разрешающей способности, числовой аппретуры и глубины фокуса литографического технологического оборудования на основе использования иммерсионных жидкостей и эффекта обращения волнового фронта. Авторами также предлагается техническое решение позволяющее уменьшить минимальный характеристический размер элемента на подложке до нескольких десятков нанометров без перехода к экстремальным ультрафиолетовым и мягким рентгеновским источникам излучения.
В книге
Ч. 1. , М.: Энергоатомиздат, 2010.
Королев Д. А., СПб.: Лань, 2026.
Учебное пособие состоит из четырех разделов, где рассматриваются физические основы, аналого-цифровое преобразование графики, сжатие графики и видео, устройства ввода и вывода графической информации; книга повторяет структуру и содержание теоретической части курса. Основной подход —- систематизация школьных знаний и формирование целостной картины работы с графикой и видео «изнутри». На различных примерах показываются элегантные инженерные решения в ...
Добавлено: 7 февраля 2026 г.
Кузьмин Д. О., В кн.: Многомерность общества: человек в социальном взаимодействии : 2-й молодежный конвент : материалы международной студенческой конференции 29–31 марта 2018 года.: Екатеринбург: Издательство Уральского университета, 2018. С. 462–464.
Статья посвящена исследованию видеоигр как альтернативной реальности, в которой возможны экзистенциальные переживания. Это возможно благодаря иммерсии и коммуникации игрока и игры посредством персонажа. Для изучения этих феноменов были привлечены нарратологический и акторно-сетевой методы. ...
Добавлено: 7 июня 2022 г.
Першеева А. Д., Фадеева Т. Е., В кн.: Proceedings of the 3d International Conference on Art Studies: “Science, Experience, Education” (ICASSEE 2019).: Atlantis Press, 2020.
Статья посвящена анализу специфики виртуальной реальности как художественного инструментоа, открывающего новые возможности для переосмысления субъективности автора и зрителя в произведении искусства. ...
Добавлено: 6 октября 2020 г.
Кукшинов Е. Ю., Меди@льманах 2015 № 1 С. 32–39
В данной статье автор исследует понятие «иммерсия» – основополагающий механизм осуществляемого медиавлияния, и анализирует два основных научных направления, рассматривающие данное явление: исследования виртуальной реальности и исследования нарративов. Данная проблематика затрагивает области психологии, коммуникативистики, феноменологии, культурологии, компьютерных и когнитивных наук. ...
Добавлено: 1 августа 2016 г.
Ахметсафина Р. З., Ахметсафин Р. Д., Геофизика 2014 № 6 С. 58–61
Для повышения разрешающей способности трехэлементных зондов акустического каротажа при базе зонда, крат- но превышающей шаг каротажа по глубине, предлагается метод, основанный на решении задачи, обратной скользящему арифметическому среднему. Для обновления оценок интервального времени формируется система линейных уравнений и предлагается ее регуляризация. Эффективность метода можно оценить сопоставлением зарегистрированных и синтетиче- ских кривых первоприбытия. ...
Добавлено: 19 марта 2015 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю. и др., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19–24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Добавлено: 22 октября 2013 г.
Костомаров П. С., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ.: М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 297–298.
В работе рассмотрены основные методы повышения разрешающей способности процесса ультрафиолетовой литографии, предложена их сравнительная характеристика и проведён анализ эффективности использования в современных литографических установках. Рассмотрены физические аспекты применения метода иммерсионной литографии и предложен способ его технического воплощения. Предложено также техническое решение устройства формирования изображения на подложке отвечающее современным тенденциям снижения размеров шаблона в ультрафиолетовой литографии. ...
Добавлено: 22 сентября 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 302–303.
В работе исследуется физико-техническая возможность преодоления 100 нм барьера, при формировании нанообъектов литографическим методом. Авторами работы предложено техническое решение обеспечивающее возможность высокопроизводительного формирования дорожек нанометрового диапазона с применением ультрафиолетовой литографии. ...
Добавлено: 22 сентября 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 50–50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 51–51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. и др., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 1.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 303–305.
В работе анализируются тенденции развития литографической технологии производства изделий микроэлектроники, и предлагаются принципиально новая схема технологического оборудования, работающая в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах, и позволяющая уменьшить минимальный характеристический размер элементов интегральных схем до нанометрового диапазона от нескольких десятков до единиц нанометров. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 2.: М.: МГТУ МИРЭА, 2012. С. 112–113.
В статье показано применение литографической технологии формирования рисунка для производства микрочипов ДНК, а также предложено устройство позволяющее обеспечить возможность создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Добавлено: 5 февраля 2013 г.
Лапшинов Б. А., М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2011.
Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Приведены сведения о развитии литографических процессов и основные принципы их реализации.
Для студентов 3 и 4 курсов обучающихся по специальности 210100 «Электронное машиностроение». ...
Добавлено: 23 апреля 2012 г.