Планарная технология с использованием иммерсионной ультрафиолетовой литографии

П. С. Костомаров

?

Планарная технология с использованием иммерсионной ультрафиолетовой литографии

С. 297–298.

Костомаров П. С.

В работе рассмотрены основные методы повышения разрешающей способности процесса ультрафиолетовой литографии, предложена их сравнительная характеристика и проведён анализ эффективности использования в современных литографических установках. Рассмотрены физические аспекты применения метода иммерсионной литографии и предложен способ его технического воплощения. Предложено также техническое решение устройства формирования изображения на подложке отвечающее современным тенденциям снижения размеров шаблона в ультрафиолетовой литографии.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: разрешающая способность устройство формирования изображения на подложке иммерсионная литография методы повышения разрешающей способности проекционные системы

В книге

Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ

М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012.

Основы компьютерной графики

Королев Д. А., СПб.: Лань, 2026.

Учебное пособие состоит из четырех разделов, где рассматриваются физические основы, аналого-цифровое преобразование графики, сжатие графики и видео, устройства ввода и вывода графической информации; книга повторяет структуру и содержание теоретической части курса. Основной подход —- систематизация школьных знаний и формирование целостной картины работы с графикой и видео «изнутри». На различных примерах показываются элегантные инженерные решения в ...

Добавлено: 7 февраля 2026 г.

О повышении разрешающей способности трехэлементных зондов акустического каротажа

Ахметсафина Р. З., Ахметсафин Р. Д., Геофизика 2014 № 6 С. 58–61

Для повышения разрешающей способности трехэлементных зондов акустического каротажа при базе зонда, крат- но превышающей шаг каротажа по глубине, предлагается метод, основанный на решении задачи, обратной скользящему арифметическому среднему. Для обновления оценок интервального времени формируется система линейных уравнений и предлагается ее регуляризация. Эффективность метода можно оценить сопоставлением зарегистрированных и синтетиче- ских кривых первоприбытия. ...

Добавлено: 19 марта 2015 г.

Информационная технология моделирования процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии

Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., В кн.: Инновации на основе информационных и коммуникационных технологий: материалы международной научно-технической конференции (2012).: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2012. С. 394–400.

Рассмотрена IDEF0 функциональная модель применительно к процессу формирования топологии объектов методом иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Показана стратегия диагностики и технического обслуживания, которая позволяет получить от эксплуатируемого оборудования максимальный эффект. Предложено техническое решение устройства формирования изображения на подложке. ...

Добавлено: 12 февраля 2013 г.

Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии

Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. и др., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 1.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 306–307.

В работе предлагаются методы повышения разрешающей способности, числовой аппретуры и глубины фокуса литографического технологического оборудования на основе использования иммерсионных жидкостей и эффекта обращения волнового фронта. Авторами также предлагается техническое решение позволяющее уменьшить минимальный характеристический размер элемента на подложке до нескольких десятков нанометров без перехода к экстремальным ультрафиолетовым и мягким рентгеновским источникам излучения. ...

Добавлено: 8 февраля 2013 г.

Оптимизация процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии в условиях малых выборок

Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 3: Материалы и технологии.: М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 112–116.

Предложена математическая модель непараметрической оценки плотности вероятности в условиях малых выборок, обеспечивающая возможность технического моделирования, без использования реальных технологических процессов и дорогостоящего иммерсионного литографического оборудования. ...

Добавлено: 5 февраля 2013 г.

Функциональное моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии

Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., МГОУ-XXI - Новые технологии 2012 № 2 С. 9–16

Рассмотрена IDF0 функциональная модель применительно к процессу формирования топологии объектов методом ультрафиолетовой иммерсионной литографии, являющаяся структурированным изображением производственной системы или среды. ...

Добавлено: 24 января 2013 г.

Технология литографических процессов

Лапшинов Б. А., М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2011.

Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Приведены сведения о развитии литографических процессов и основные принципы их реализации. Для студентов 3 и 4 курсов обучающихся по специальности 210100 «Электронное машиностроение». ...

Добавлено: 23 апреля 2012 г.