?
Формирование изображения в вакуумном ультрафиолете
С. 303–305.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.
В работе анализируются тенденции развития литографической технологии производства изделий микроэлектроники, и предлагаются принципиально новая схема технологического оборудования, работающая в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах, и позволяющая уменьшить минимальный характеристический размер элементов интегральных схем до нанометрового диапазона от нескольких десятков до единиц нанометров.
В книге
Ч. 1. , М.: Энергоатомиздат, 2010.
Лыскова Н. С., Churazov E., Khabibullin I. и др., Astronomy and Astrophysics 2025 Vol. 702 Article A175
Добавлено: 6 марта 2026 г.
Анциферов П. С., Степанов Л. В., Матюхин Н. Д., Plasma Physics Reports 2024 Vol. 50 No. 6 P. 742–748
Добавлено: 24 сентября 2024 г.
S. A. Prokhorenko, S. Yu. Sazonov, Gilfanov M. R. и др., Monthly Notices of the Royal Astronomical Society 2024 Vol. 528 No. 4 P. 5972–5989
Добавлено: 1 февраля 2024 г.
Likhachev I. A., Subbotin I. A., Prutskov G. V. и др., , in: First AfLS Conference and Workshop 2015. Book of abstracts.: [б.и.], 2015. P. 23–23.
Добавлено: 17 июня 2016 г.
Пруцков Г. В., Рогачев А. В., Терентьев А. В., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2016. С. 284–284.
В работе показаны результаты структурных исследований гетерокомпозиций Si/EuO/cap-layer, при помощи совместной обработки результатов рентгеновской дифракции и рефлектометрии. Получены профили распределения компонент поляризуемости для образцов по глубине. ...
Добавлено: 17 июня 2016 г.
Рогачев А. В., Пруцков Г. В., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015. С. 250–250.
В работе описаны особенности проведения исследования органических образцов, сформированных на поверхности жидкости, методами абсорбционной спектроскопии с применением синхротронного излучения. Представлены первые экспериментальные данные. ...
Добавлено: 22 июля 2015 г.
Пруцков Г. В., Лихачев И. А., В кн.: Сборник аннотаций национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследования наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования" (СИН НАНО 2015), г. Москва, 6 - 10 июля 2015 г.: М.: НИЦ «Курчатовский институт», 2015. С. 105–106.
В работе описан подход комплексного обсчета данных рентгеновской дифракции и рефлектометрии для структур спинтроники. ...
Добавлено: 13 июля 2015 г.
М.: НИЦ «Курчатовский институт», 2015.
Сборник содержит аннотации докладов, преставленных участниками национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследований наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования". Материалы представлены в авторской редакции. ...
Добавлено: 13 июля 2015 г.
Корпачев М. Ю., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ.: М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 295–296.
В работе рассмотрены волновые процессы в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах, приведены проходы к построению отражательных элементов и источников излучения системы формирования изображения для технологического оборудования нанолитографии. Для реализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах предложено техническое решение, удовлетворяющее современным тенденциям по уменьшению минимального характеристического размера элементов интегральных схем ...
Добавлено: 26 мая 2014 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю. и др., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19–24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Добавлено: 22 октября 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 302–303.
В работе исследуется физико-техническая возможность преодоления 100 нм барьера, при формировании нанообъектов литографическим методом. Авторами работы предложено техническое решение обеспечивающее возможность высокопроизводительного формирования дорожек нанометрового диапазона с применением ультрафиолетовой литографии. ...
Добавлено: 22 сентября 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 50–50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 51–51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.
Ефимов И. А., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. и др., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 244–245.
В настоящей работе рассмотрен метод фокусировки рентгеновского излучения с использованием элементов на основе углеродных нанотрубок. В основу положена задача обеспечения возможности формирования квантовых ям в структуре твердого тела в диапазоне размеров от нескольких десятых долей до единиц нанометров.
Применение устройства для формирования квантовых ям на подложке позволяет обеспечить возможность их формирования в диапазоне размеров от нескольких ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Ефимов И. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю. и др., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 242–243.
Авторам работы предложено устройство для выполнения наноопераций, где решается проблема обеспечения направленного излучения (фокусировки) в диапазоне длин волн λ = 4 ÷ 5 нм (4・10-12 ÷ 5・10-9 м). Введение в устройство фокусирующих линз, на основе фуллеренов, расположенных в каналах свинцовой матрицы (в каждом не менее 103), даёт возможность фокусировать рентгеновское излучение с уменьшением фокусного расстояния ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. и др., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 1.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 306–307.
В работе предлагаются методы повышения разрешающей способности, числовой аппретуры и глубины фокуса литографического технологического оборудования на основе использования иммерсионных жидкостей и эффекта обращения волнового фронта. Авторами также предлагается техническое решение позволяющее уменьшить минимальный характеристический размер элемента на подложке до нескольких десятков нанометров без перехода к экстремальным ультрафиолетовым и мягким рентгеновским источникам излучения. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 2.: М.: МГТУ МИРЭА, 2012. С. 112–113.
В статье показано применение литографической технологии формирования рисунка для производства микрочипов ДНК, а также предложено устройство позволяющее обеспечить возможность создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Добавлено: 5 февраля 2013 г.