?
Формирование нанообъектов литографическим методом
С. 302-303.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.
В работе исследуется физико-техническая возможность преодоления 100 нм барьера, при формировании нанообъектов литографическим методом. Авторами работы предложено техническое решение обеспечивающее возможность высокопроизводительного формирования дорожек нанометрового диапазона с применением ультрафиолетовой литографии.
В книге
Ч. 2. , М. : Энергоатомиздат, 2010
Костомаров П. С., В кн. : Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ. : М. : Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 300-301.
В работе представлена схема иммерсионного литографического процесса. Предложено устройство для формирования нанодорожек, в основу которого положена задача обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона, за счет формирования когерентного волнового пучка, обеспечивающего уменьшение диаметра пятна размытия, что позволяет существенно снизить технологическую дефектность процесса.
Применение предлагаемого устройства для формирования нанодорожек позволяет обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона. ...
Добавлено: 27 января 2013 г.
Масляев С. А., Морозов Е. В., Ромахин П. А. и др., Физика и химия обработки материалов 2015 № 3 С. 5-17
Представлены результаты облучения керамики на основе оксида алюминия со структурой корунда (α-Аl2О3), приготовленной методом порошковой металлургии, импульсными потоками ионов и высокотемпературной плазмы с использованием установки Плазменный фокус (ПФ), а также лазерного излучения (ЛИ) режиме свободной генерации. Облучение в установке ПФ-5М проводилось в атмосфере азота и воздуха при плотности мощности излучения для потока плазмы q ≈ ...
Добавлено: 28 мая 2015 г.
Lounis B., Buzdin A. I., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 105 No. 2 Article L020504
Теоретически исследуется неравновесная динамика параметра порядка сверхпроводящего кольца, неоднородно закаленного через температуру его перехода. Численное моделирование, основанное на спектральной декомпозиции зависящего от времени уравнения Гинзбурга-Ландау, показывает, что сверхпроводящие состояния с током могут генерироваться в кольце при определенных условиях быстрой локальной температуры. Мы также показываем, что освещение кольца электромагнитным излучением с круговой поляризацией во время быстрого ...
Добавлено: 10 декабря 2022 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. и др., В кн. : INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва. Ч. 1.: М. : Энергоатомиздат, 2010. С. 306-307.
В работе предлагаются методы повышения разрешающей способности, числовой аппретуры и глубины фокуса литографического технологического оборудования на основе использования иммерсионных жидкостей и эффекта обращения волнового фронта. Авторами также предлагается техническое решение позволяющее уменьшить минимальный характеристический размер элемента на подложке до нескольких десятков нанометров без перехода к экстремальным ультрафиолетовым и мягким рентгеновским источникам излучения. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.
Лапшинов Б. А., Магунов А. Н., Алтухов А. А., В кн. : INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва. Ч. 1.: М. : Энергоатомиздат, 2010. С. 103-106.
Экспериментально впервые определена температурная зависимость показателя преломления природного алмаза на длине волны 633 нм. Для измерения использован метод интерференции света в нагреваемой плоскопараллельной пластинке. Измерения проводились в температурном диапазоне 20 – 400°С. Обсуждаются перспективы применения полученных результатов в температурных измерениях. ...
Добавлено: 23 апреля 2012 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю. и др., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19-24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Добавлено: 22 октября 2013 г.
М. : Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, 2013
В трудах школы рассмотрены физические основы концентрированных потоков энергии и их воздействия на материалы и изделия космической техники, методы обработки материалов концентрированным излучением, воздействие лазерного и микроволнового излучения на вещество, концентрированные потоки энергии в экологии и медицине, в электронике, проблемы физики нейтрино и ядерной спектроскопии. ...
Добавлено: 28 ноября 2013 г.
Боровицкая И. В., Коршунов С. Н., Мансурова А. Н. и др., В кн. : Труды ХХХ Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 22 августа – 29 августа 2020г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2020. С. 440-447.
Добавлено: 10 сентября 2020 г.
Калиновский В. С., Контрош Е. В., Климко Г. В. и др., Физика и техника полупроводников 2020 № 3 С. 285-291
Создание соединительных туннельных диодов с высокой плотностью пикового туннельного тока, превышающей плотность тока короткого замыкания фотоактивных p-n-переходов, является важной задачей при разработке многопереходных фотопреобразователей (AIIIBV) мощного оптического излучения. На основе результатов численного моделирования вольт-амперных характеристик туннельных диодов предложен способ повышения плотности пикового туннельного тока путем включения между вырожденными слоями туннельного диода тонкого нелегированного i-слоя толщиной ...
Добавлено: 13 ноября 2020 г.
Ивашов Е. Н., Князева М. П., Гамилова Т. П., В кн. : Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 3: Материалы и технологии.: М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 83-87.
Рассмотрена модель формирования нанорисунка на подложке с учётом двух внутренних степеней свободы. Предложено устройство для формирования нанорисунка на подложке. ...
Добавлено: 5 февраля 2013 г.
Боровицкая И. В., Коршунов С. Н., Мансурова А. Н. и др., Вопросы атомной науки и техники. Термоядерный синтез 2021 Т. 44 № 3 С. 82-93
В работе представлен обзор исследований о влиянии интенсивных потоков ионов аргона и мощного импульсного лазерного излучения на свойства: микротвёрдость, радиационную эрозию, структурные изменения, сопротивление коррозии в жидком литии, а также изменение топографии поверхности в условиях отдельного и последовательного облучения ионами Ar+ и лазер-ного излучения малоактивируемых сплавов ванадия (V—0,59Ga; V—1,86Ga; V—3,49Ga; V—3,4Ga—0,62Si; V—4,51Ga—5,66Cr; V—4,8Ti—4,82Cr) в сравнении ...
Добавлено: 7 октября 2021 г.
Ovcharenko H. V., Maizelis Z. A., Apostolov S. S. и др., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 106 No. 17 Article 174511
Добавлено: 6 февраля 2023 г.
Черешнев Р. И., Арёменко Е. А., Деев А. А. и др., Проблемы развития корабельного вооружения и судового радиоэлектронного оборудования 2015 № 4 С. 92-100
В работе рассмотрены методы и технологии, использованные при разработке специального программного обеспечения пульта управления судового лазерного комплекса (СЛК) и комплекта программных имитаторов информационных потоков, генерируемых оборудованием СЛК при взаимодействии с пультом управления (ПУ). ...
Добавлено: 18 ноября 2015 г.
Barkhudarov E. M., Denisova N. V., Kossyi I. A. и др., Инженерная физика 2013 No. 11 P. 42-46
Представлены результаты экспериментальных и теоретических исследований характеристик СВЧ разряда при низком давлении Ar/Hg смеси в коаксиальном волноводе. Разряда формируется и поддерживается в результате трансформации микроволнового излучения в поверхностную волну, распространяющуюся вдоль поверхности раздела плазма-диэлектрик. Плотность электронов намного выше, чем критическая плотность ne >> ncr (f= 2,45 ГГц). Получено радиальное распределение интенсивности излучения атомов ртути на ...
Добавлено: 13 июля 2015 г.
Maslyaev S. A., Morozov E. V., Romakhin P.A. и др., Inorganic Materials: Applied Research 2016 Vol. 7 No. 3 P. 330-339
Добавлено: 17 мая 2016 г.
Бакунина И. А., Мельников В. Ф., Шаин А. В. и др., Известия Крымской астрофизической обсерватории 2022 Т. 118 № 1 С. 65-74
На сегодняшний день не вполне ясны наблюдательные признаки, определяющие способность активной области вызывать извержение вещества в высокие слои солнечной короны (CME). Это затрудняет понимание физического механизма триггера CME. В данной работе представлен поиск наблюдательных признаков, которые могут указывать на возникновение эруптивного процесса. Для этого мы провели сравнительный анализ условий до вспышки и во время вспышки ...
Добавлено: 23 марта 2022 г.
I. A. Bakunina, Melnikov V. F., Shain A. V. и др., Geomagnetism and Aeronomy 2022 Vol. 62 No. 8 P. 1066-1072
Добавлено: 16 февраля 2023 г.
Лапшинов Б. А., Магунов А. Н., Приборы и техника эксперимента 2010 Т. 53 № 1 С. 159-164
Описывается установка для измерения температурной зависимости показателя преломления n(T) полупроводников и диэлектриков в диапазоне температур 300-700К на длинах волн He-Ne-лазера λ=0.633, 1.15 и 3.39 мкм. Образцы в виде плоскопараллельных пластинок выполняют роль эталонов Фабри-Перо, оптическая толщина которых изменяется с температурой. При нагревании и последующем остывании образца регистрируются интерференционные осцилляции интенсивности отраженного света, по которым определяется ...
Добавлено: 23 апреля 2012 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 2.: М. : МГТУ МИРЭА, 2012. С. 112-113.
В статье показано применение литографической технологии формирования рисунка для производства микрочипов ДНК, а также предложено устройство позволяющее обеспечить возможность создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Добавлено: 5 февраля 2013 г.
Лапшинов Б. А., Физика и химия обработки материалов 2014 № 2 С. 9-13
Исследовано влияние режимов лазерного удаления тонких пленок с поверхности стекла К8 на изменение его коэффициента пропускания. Удаление тонких пленок производилось при различных длинах импульсов лазерного излучения – 200 мкс, 100 нс и 12 нс. ...
Добавлено: 27 мая 2014 г.
Представлено метрологическое обеспечение единства измерений параметров высокоинтенсивного лазерного излучения технологического и специального оборудования. Разработана и исследована система стабилизации по мощности лазера с выходной мощностью 2-1·104 Вт. Представленная система стабилизации позволяет снизить погрешность передачи единицы средней мощности лазерного излучения при применении технологического лазера с нестабильной выходной мощностью в составе эталона. Утверждён Государственный первичный эталон единицы средней ...
Добавлено: 5 февраля 2024 г.
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции. : Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 51-51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции. : Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 50-50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.