?
Формирование нанообъектов литографическим методом
С. 302–303.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.
В работе исследуется физико-техническая возможность преодоления 100 нм барьера, при формировании нанообъектов литографическим методом. Авторами работы предложено техническое решение обеспечивающее возможность высокопроизводительного формирования дорожек нанометрового диапазона с применением ультрафиолетовой литографии.
В книге
Ч. 2. , М.: Энергоатомиздат, 2010.
Представлено метрологическое обеспечение единства измерений параметров высокоинтенсивного лазерного излучения технологического и специального оборудования. Разработана и исследована система стабилизации по мощности лазера с выходной мощностью 2-1·104 Вт. Представленная система стабилизации позволяет снизить погрешность передачи единицы средней мощности лазерного излучения при применении технологического лазера с нестабильной выходной мощностью в составе эталона. Утверждён Государственный первичный эталон единицы средней ...
Добавлено: 5 февраля 2024 г.
I. A. Bakunina, Melnikov V. F., Shain A. V. и др., Geomagnetism and Aeronomy 2022 Vol. 62 No. 8 P. 1066–1072
Добавлено: 16 февраля 2023 г.
Ovcharenko H. V., Maizelis Z. A., Apostolov S. S. и др., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 106 No. 17 Article 174511
Добавлено: 6 февраля 2023 г.
Lounis B., Buzdin A. I., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 105 No. 2 Article L020504
Теоретически исследуется неравновесная динамика параметра порядка сверхпроводящего кольца, неоднородно закаленного через температуру его перехода. Численное моделирование, основанное на спектральной декомпозиции зависящего от времени уравнения Гинзбурга-Ландау, показывает, что сверхпроводящие состояния с током могут генерироваться в кольце при определенных условиях быстрой локальной температуры. Мы также показываем, что освещение кольца электромагнитным излучением с круговой поляризацией во время быстрого ...
Добавлено: 10 декабря 2022 г.
Бакунина И. А., Мельников В. Ф., Шаин А. В. и др., Известия Крымской астрофизической обсерватории 2022 Т. 118 № 1 С. 65–74
На сегодняшний день не вполне ясны наблюдательные признаки, определяющие способность активной области вызывать извержение вещества в высокие слои солнечной короны (CME). Это затрудняет понимание физического механизма триггера CME. В данной работе представлен поиск наблюдательных признаков, которые могут указывать на возникновение эруптивного процесса. Для этого мы провели сравнительный анализ условий до вспышки и во время вспышки ...
Добавлено: 23 марта 2022 г.
Бакунина И. А., Melnikov V. F., Abramov-Maximov V. E. и др., Geomagnetism and Aeronomy 2021 Vol. 61 No. 8 P. 1159–1171
Добавлено: 29 октября 2021 г.
Боровицкая И. В., Коршунов С. Н., Мансурова А. Н. и др., Вопросы атомной науки и техники. Термоядерный синтез 2021 Т. 44 № 3 С. 82–93
В работе представлен обзор исследований о влиянии интенсивных потоков ионов аргона и мощного импульсного лазерного излучения на свойства: микротвёрдость, радиационную эрозию, структурные изменения, сопротивление коррозии в жидком литии, а также изменение топографии поверхности в условиях отдельного и последовательного облучения ионами Ar+ и лазер-ного излучения малоактивируемых сплавов ванадия (V—0,59Ga; V—1,86Ga; V—3,49Ga; V—3,4Ga—0,62Si; V—4,51Ga—5,66Cr; V—4,8Ti—4,82Cr) в сравнении ...
Добавлено: 7 октября 2021 г.
Калиновский В. С., Контрош Е. В., Климко Г. В. и др., Физика и техника полупроводников 2020 № 3 С. 285–291
Создание соединительных туннельных диодов с высокой плотностью пикового туннельного тока, превышающей плотность тока короткого замыкания фотоактивных p-n-переходов, является важной задачей при разработке многопереходных фотопреобразователей (AIIIBV) мощного оптического излучения. На основе результатов численного моделирования вольт-амперных характеристик туннельных диодов предложен способ повышения плотности пикового туннельного тока путем включения между вырожденными слоями туннельного диода тонкого нелегированного i-слоя толщиной ...
Добавлено: 13 ноября 2020 г.
Боровицкая И. В., Коршунов С. Н., Мансурова А. Н. и др., В кн.: Труды ХХХ Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 22 августа – 29 августа 2020г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2020. С. 440–447.
Добавлено: 10 сентября 2020 г.
Балыкин В. И., Мелентьев П. Н., Успехи физических наук 2018 Т. 188 № 2 С. 143–168
Рассматривается взаимодействие лазерного света с единичными плазмонными наноструктурами. Из-за чрезвычайно слабого оптического отклика единичной наноструктуры исследования в наноплазмонике до недавнего времени осуществлялись с ансамблями наночастиц. В ансамбле наночастиц как структурные, так и материальные параметры варьируются от одной наночастицы к другой, поэтому оптический отклик является усреднённым по ансамблю. Измерения на уровне единичных наноструктур являются эффективным методом ...
Добавлено: 4 февраля 2019 г.
Епифанов Н. А., В кн.: Тезисы докладов XLVII Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (Москва, МГУ, 30 мая – 1 июня 2017). М. МГУ, 2017.: КДУ, 2017.
Исследованы особенности повреждаемости керамического покрытия толщиной 20 мкм на основе оксида Al2O3 со структурой γ-корунда на алюминиевой подложке при импульсном воздействии концентрированных потоков энергии различной природы. Показано, что при воздействии лазерного излучения в милисекундном и наносекундном диапазонах длительности импульса на полупрозрачное керамическое покрытие происходит отславивание керамического слоя от металлической подложки. Экспериментально оценены пороговые значения плотности потока ...
Добавлено: 19 декабря 2018 г.
Maslyaev S. A., Morozov E. V., Romakhin P.A. и др., Inorganic Materials: Applied Research 2016 Vol. 7 No. 3 P. 330–339
Добавлено: 17 мая 2016 г.
Barkhudarov E. M., Denisova N. V., Kossyi I. A. и др., Инженерная физика 2013 No. 11 P. 42–46
Представлены результаты экспериментальных и теоретических исследований характеристик СВЧ разряда при низком давлении Ar/Hg смеси в коаксиальном волноводе. Разряда формируется и поддерживается в результате трансформации микроволнового излучения в поверхностную волну, распространяющуюся вдоль поверхности раздела плазма-диэлектрик. Плотность электронов намного выше, чем критическая плотность ne >> ncr (f= 2,45 ГГц). Получено радиальное распределение интенсивности излучения атомов ртути на ...
Добавлено: 13 июля 2015 г.
Масляев С. А., Морозов Е. В., Ромахин П. А. и др., Физика и химия обработки материалов 2015 № 3 С. 5–17
Представлены результаты облучения керамики на основе оксида алюминия со структурой корунда (α-Аl2О3), приготовленной методом порошковой металлургии, импульсными потоками ионов и высокотемпературной плазмы с использованием установки Плазменный фокус (ПФ), а также лазерного излучения (ЛИ) режиме свободной генерации. Облучение в установке ПФ-5М проводилось в атмосфере азота и воздуха при плотности мощности излучения для потока плазмы q ≈ ...
Добавлено: 28 мая 2015 г.
Лапшинов Б. А., Физика и химия обработки материалов 2014 № 2 С. 9–13
Исследовано влияние режимов лазерного удаления тонких пленок с поверхности стекла К8 на изменение его коэффициента пропускания. Удаление тонких пленок производилось при различных длинах импульсов лазерного излучения – 200 мкс, 100 нс и 12 нс. ...
Добавлено: 27 мая 2014 г.
М.: Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, 2013.
В трудах школы рассмотрены физические основы концентрированных потоков энергии и их воздействия на материалы и изделия космической техники, методы обработки материалов концентрированным излучением, воздействие лазерного и микроволнового излучения на вещество, концентрированные потоки энергии в экологии и медицине, в электронике, проблемы физики нейтрино и ядерной спектроскопии. ...
Добавлено: 28 ноября 2013 г.
Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю. и др., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19–24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Добавлено: 22 октября 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 50–50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 51–51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. и др., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 1.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 306–307.
В работе предлагаются методы повышения разрешающей способности, числовой аппретуры и глубины фокуса литографического технологического оборудования на основе использования иммерсионных жидкостей и эффекта обращения волнового фронта. Авторами также предлагается техническое решение позволяющее уменьшить минимальный характеристический размер элемента на подложке до нескольких десятков нанометров без перехода к экстремальным ультрафиолетовым и мягким рентгеновским источникам излучения. ...
Добавлено: 8 февраля 2013 г.