• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Устройство перемещения для нанотехнологии

С. 170-172.
Ивашов Е. Н., Перевозников А. Ю., Демидов Д. В., Голишникова Л. Я.

В работе рассмотрены принципы построения устройств перемещения для сканирующей зондовой микроскопии, предложено устройство перемещения для нанотехнологии, позволяющее обеспечить взаимную независимость перемещений зонда по координатным осям.