• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Исследование монокристаллического кремния методом рентгеновской топо-томографии в лабораторных условиях

С. 188-195.
Осадчая А. С., Асадчиков В. Е., Бузмаков А., Золотов Д., Смирнов И. С.

В работе приведены результаты исследования монокристаллов кремния, выполненные развиваемым авторами методом  рентгеновской топо- томографии с использованием лабораторных источников. Описаны  схема и условия проведения эксперимента. Получено трехмерное распределение дефектных областей в кристалле.