• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта
Найдены 3 публикации
Сортировка:
по названию
по году
Статья
Коваленко А. П. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2017. Т. 3. № 135. С. 11-15.

Рассматриваются с системных позиций задачи, традиционно решаемые при распознавании ситуаций, и их содержание.

Добавлено: 1 ноября 2019
Статья
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2012. № 3. С. 69-77.

Рассмотрен подход, позволяющий осуществлять выбор параметров нового технического решения, принимаемого за основу при создании оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Представлено устройство, обеспечивающее возможность формирования дорожек нанометрового диапазона с проектными нормами не более 32 нм, и минимальной технологической дефектностью процесса.

Добавлено: 16 ноября 2012
Статья
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2012. № 3. С. 77-85.

Рассмотрены аналитические модели, позволяющие осуществить возможность исследования свойств и особенностей предпочтительных вариантов и помогающие выбрать направление опроса проектировщиков оборудования ультрафиолетовой литографии. Представлено устройство с использованием эффекта обращения волнового фронта, обеспечивающее создание высоконаправленных пучков, которое позволяет повысить производительность нанесения нанодорожек на подложку.

Добавлено: 14 декабря 2012