• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Статья

Характеристики качества функционирования нанолитографических систем в автоматизированном проектировании

Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Степанчиков С. В.

Рассмотрены характеристики качества работы нанолитографического оборудования, функционирующего в области экстремального ультрафиолетового и рентгеновского излучения, особенности его оптических систем и энергетические потери в них. Исследованы ключевые аспекты автоматизированного проектирования рассматриваемого оборудования. Представлено устройство для выполнения наноопераций с использованием эффекта фокусировки рентгеновского излучения нанотрубками заключёнными в свинцовой матрице, и расположенными в них фуллеренами.