?
Low Pressure Microwave Discharge of AR/HG Mixture
Представлены результаты экспериментальных и теоретических исследований характеристик СВЧ разряда при низком давлении Ar/Hg смеси в коаксиальном волноводе. Разряда формируется и поддерживается в результате трансформации микроволнового излучения в поверхностную волну, распространяющуюся вдоль поверхности раздела плазма-диэлектрик. Плотность электронов намного выше, чем критическая плотность ne >> ncr (f= 2,45 ГГц). Получено радиальное распределение интенсивности излучения атомов ртути на длине волны λ = 546,1 нм. На основе численного моделирования, рассчитаны пространственное распределения напряженности электрического поля и плотности электронов в разряде. Экспериментальные результаты находятся в качественном согласии с результатами численного моделирования.