• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»
  • Публикации ВШЭ
  • Глава
  • Задача снижения размерности для опто- и наноэлектроники в литографической технологии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Приоритетные направления
  • бизнес-информатика
  • государственное и муниципальное управление
  • гуманитарные науки
  • инженерные науки
  • компьютерно-математическое
  • математика
  • менеджмент
  • право
  • социология
  • экономика
по году
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • еще
Тематика
Новости
27 мая 2026 г.
Нейросетевое отображение как метод создания математических моделей
Ученые НИУ ВШЭ в Нижнем Новгороде и Белградского института физики (Сербия) совместно изучают возможности применения методов машинного обучения и использования нейросетей в исследованиях нелинейной динамики. О международном проекте «Вышке.Главное» рассказала его руководитель от ВШЭ, ведущий научный сотрудник Лаборатории топологических методов в динамике факультета информатики, математики и компьютерных наук НИУ ВШЭ в Нижнем Новгороде Наталия Станкевич.
26 мая 2026 г.
Нейролингвисты НИУ ВШЭ помогли врачам провести операцию с пробуждением 11-летнему мальчику с эпилепсией
Сотрудники Центра языка и мозга НИУ ВШЭ приняли участие в редкой для детской нейрохирургии операции с пробуждением у 11-летнего пациента с фармакорезистентной эпилепсией. Совместно с врачами НПЦ специализированной медицинской помощи детям имени В.Ф. Войно-Ясенецкого в Солнцево они сопровождали удаление участка левой височной доли, где был выявлен эпилептический очаг.
26 мая 2026 г.
Гибкость рынка труда как новая норма: ее формы и адаптация работников
Гибкий рынок труда, который наблюдается сегодня, — не временная тактика или вынужденная мера, а системный ответ на ряд вызовов. Как меняется карьера, какие формы гибкости встречаются и как работникам адаптироваться к ним, в колонке для IQ Медиа размышляет директор Института занятости и профессий НИУ ВШЭ Федор Прокопов.

 

Нашли опечатку?
Выделите её, нажмите Ctrl+Enter и отправьте нам уведомление. Спасибо за участие!

Публикации
  • Книги
  • Статьи
  • Главы в книгах
  • Препринты
  • Верификация публикаций
  • Расширенный поиск
  • Правила использования материалов
  • Наука в ВШЭ

?

Задача снижения размерности для опто- и наноэлектроники в литографической технологии

С. 52–53.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.

Приведено решение задачи представления коллекции изображений на плоскости в ультрафиолетовой литографической технологии. Предложены методы снижения размерности объектов на основе линейных методов использующих дискретный вариант разложения Краунена – Лоэва. Предложены также нелинейные методы снижения размерности в ультрафиолетовой литографической технологии на основе отображения множества векторов многомерного пространства в пространство малой размерности. Рассмотрено применение коррекции оптического эффекта близости в процессе проектирования промежуточных шаблонов с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения для дополнительного снижения размерности в ультрафиолетовой литографической технологии.

Язык: русский
Полный текст
Ключевые слова: наноэлектроникаультрафиолетовая литографиякоррекция оптического эффекта близостиоптоэлектроникаметоды снижения размерности

В книге

Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции
Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции
Ульяновск: УлГУ, 2012.
Похожие публикации
Band Gap Engineering of Cu2ZnGeS4xSe4(1−x) Solid Solutions
Khoroshko V., Пугач Н. Г., Stanchik A. и др., The Journal of Physical Chemistry Letters 2025 Vol. 16 No. 28 P. 7212–7216
Добавлено: 17 ноября 2025 г.
Статистические методы снижения размерности и кластеризации в экономике: учебное пособие для вузов
Т.А. Дуброва, М.А.Есенин, М.: Издательско-торговая корпорация «Дашков и Ко», 2024.
В учебном пособии представлены теоретические основы статистических методов снижения размерности и кластеризации, востребованных в экономических исследованиях. Рассмотрены метод главных компонент, методы кластерного анализа (иерархические агломеративные процедуры и различные модификации метода k-средних), позволяющие проводить многомерный статистический анализ сложных наборов данных. Приведены примеры практического применения обсуждаемых методов в экономических задачах, большое внимание уделено интерпретации результатов. Каждую главу завершают ...
Добавлено: 25 октября 2024 г.
Избранные труды II Всероссийской молодежной школы-конференции «СОВРЕМЕННЫЕ ФИЗИКА, МАТЕМАТИКА, ЦИФРОВЫЕ И НАНОТЕХНОЛОГИИ В НАУКЕ И ОБРАЗОВАНИИ (ФМЦН-23)»
Уфа: Издательство БГПУ, 2023.
В сборнике представлены статьи, опубликованные по итогам работы секций II Всероссийской молодежной школы-конференции. Статьи прошли рецензирование и сгруппированы по тематическим направлениям работы конференции. В сборнике помещены научные статьи студентов, магистров, аспирантов, преподавателей вузов, учителей и учеников школ. ...
Добавлено: 14 декабря 2023 г.
Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVII Международного симпозиума (Нижний Новгород, 13–16 марта 2023 г.) в 2х томах. Том 1
Н. Новгород: ИПФ РАН, 2023.
Том 1 Секция 1 Сверхпроводящие наносистемы Секция 2 Магнитные наноструктуры Секция 4 Измерения и технологии атомарного и нанометрового масштаба на основе зондовых, электронно-лучевых и ионно-лучевых методов Секция 6 Твердотельная элементная база квантовых технологий ...
Добавлено: 26 марта 2023 г.
Труды XXVI Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника»
Н. Новгород: Издательство Нижегородского университета, 2022.
Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVI Международного симпозиума (Нижний Новгород, 14–17 марта 2022 г.) В 2 т. Том 1 ...
Добавлено: 7 декабря 2022 г.
Micromask Lithography for Cheap and Fast 2D Materials Microstructures Fabrication
Pugachev M., Duleba A., Arslan A. Galiullin и др., Micromachines 2021 Vol. 12 No. 8 Article 850
Добавлено: 14 ноября 2022 г.
8th International School and Conference "Saint Petersburg OPEN 2021" on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures, SPbOPEN 2021
Жуков А. Е., Institute of Physics Publishing (IOP), 2021.
Добавлено: 26 октября 2022 г.
Глобальные рынки передового производства — новая возможность для технологического обновления России
Симачев Ю. В., Федюнина А. А., Городный Н. А., Журнал Новой экономической ассоциации 2022 Т. 53 № 1 С. 202–212
Новые технологии, в том числе технологии Индустрии 4.0, кардинально меняют традиционные и высокотехнологичные отрасли, формируют внутри промышленного комплекса сектор передо- вых производств (ПП). Россия до сих пор характеризовалась скромным присутствием на мировых рынках ПП — менее 0,6% по отдельным рынкам и не более 0,4% по совокупности. Отчасти это связано, в целом, со скудностью товарного разнообразия ...
Добавлено: 22 марта 2022 г.
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций и вузов, работающих ...
Добавлено: 12 ноября 2021 г.
Математическое моделирование в материаловедении электронных компонентов МММЭК–2021
М.: МАКС Пресс, 2021.
Сборник включает в себя научные работы, отражающие современные мировые достижения в области материаловедения электронных компонентов и представляет новые методы математического моделирования и программные решения для разработки прикладных программных систем. Для специалистов в области вычислительного материаловедения, прикладной математики, математического моделирования, проектирования и автоматизации изделий наноэлектроники, разработчиков современных прикладных программных систем, аспирантов и студентов старших курсов университетов ...
Добавлено: 31 октября 2021 г.
Использование патентной классификации для поиска биомедицинской информации
Блохина Ю. В., Ильин А. С., Биоорганическая химия 2021 Т. 47 № 6 С. 768–774
Патентная литература представляет собой неотъемлемую и значительную часть знаний человечества, пренебрежение которой может негативным образом сказаться на качестве работы исследователя. Поиск по патентным базам помогает как разыскивать подробные технические данные об объектах или процессах, так и оценивать возможности патентования собственных разработок. При этом подобный поиск несколько отличается от использования стандартных интернет-поисковиков или систем научного цитирования. ...
Добавлено: 28 октября 2021 г.
Use of Patent Classification in Searching for Biomedical Information
Blokhina Y. V., Ильин А. С., Russian Journal of Bioorganic Chemistry 2021 Vol. 47 No. 6 P. 1225–1230
Добавлено: 28 октября 2021 г.
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск II настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ...
Добавлено: 25 октября 2021 г.
Integrated Optics: Design, Devices, Systems and Applications VI
Washington: SPIE, 2021.
Добавлено: 30 августа 2021 г.
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2021 (МЭС-2021)
ИППМ РАН, 2021.
Выпуск I настоящего периодического издания содержит 12 докладов из числа представленных на X Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем –2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.). Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами российских научно-производственных организацийи предприятий, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций ...
Добавлено: 26 августа 2021 г.
Международный форум «Микроэлектроника-2020». Школа молодых ученых. Сборник тезисов. Республика Крым, г. Ялта, 21-25 сентября 2020 г.
М.: МАКС Пресс, 2020.
В выпуске представлены тезисы докладов XIII Международной конференции «Кремний – 2020» и XII Школы молодых ученых по актуальным проблемам физики и технологии кремниевой электроники и нанометровых приборов, освещающие актуальные темы разработки процессов создания перспективной элементной базы и новых путей её использования. Кроме традиционных тем исследования процессов в объёме кремния, на поверхности и на границах раздела, ...
Добавлено: 29 ноября 2020 г.
Труды ХХIV Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», 10-13 марта 2020, Нижний Новгород
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2020.
Труды ХХIV Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», 10-13 марта 2020, Нижний Новгород, в двух томах, т1 и  т.2, ...
Добавлено: 9 ноября 2020 г.
Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС-2020).
ИППМ РАН, 2020.
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники. Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Добавлено: 29 сентября 2020 г.
XVIII Научно-техническая конференция «Электроника, микро- и наноэлектроника»: 24 - 27 июня 2019 года, г. Суздаль, Россия
НИИСИ РАН, 2019.
Сборник содержит программу и тезисы докладов 18-ой Научно-технической конференции «Электроника, микро- и наноэлектроника», проводимой в г. Суздаль с 24 по 27 июня 2019 года Федеральным государственным учреждением «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Российской Академии наук». Представленные тезисы отражают широкую панораму деятельности сотрудников российских вузов и научно-производственных организаций в областях электроники, микроэлектроники и наноэлектроники, а также специализирующейся в ...
Добавлено: 15 марта 2020 г.
Proceedings of SPIE 11022. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018
SPIE, 2019.
Добавлено: 30 ноября 2019 г.
  • О ВЫШКЕ
  • Цифры и факты
  • Руководство и структура
  • Устойчивое развитие в НИУ ВШЭ
  • Преподаватели и сотрудники
  • Корпуса и общежития
  • Закупки
  • Обращения граждан в НИУ ВШЭ
  • Фонд целевого капитала
  • Противодействие коррупции
  • Сведения о доходах, расходах, об имуществе и обязательствах имущественного характера
  • Сведения об образовательной организации
  • Людям с ограниченными возможностями здоровья
  • Единая платежная страница
  • Работа в Вышке
  • ОБРАЗОВАНИЕ
  • Лицей
  • Довузовская подготовка
  • Олимпиады
  • Прием в бакалавриат
  • Вышка+
  • Прием в магистратуру
  • Аспирантура
  • Дополнительное образование
  • Центр развития карьеры
  • Бизнес-инкубатор ВШЭ
  • Образовательные партнерства
  • Обратная связь и взаимодействие с получателями услуг
  • НАУКА
  • Научные подразделения
  • Исследовательские проекты
  • Мониторинги
  • Диссертационные советы
  • Защиты диссертаций
  • Академическое развитие
  • Конкурсы и гранты
  • Внешние научно-информационные ресурсы
  • РЕСУРСЫ
  • Библиотека
  • Издательский дом ВШЭ
  • Книжный магазин «БукВышка»
  • Типография
  • Медиацентр
  • Журналы ВШЭ
  • Публикации
  • http://www.minobrnauki.gov.ru/
    Министерство науки и высшего образования РФ
  • https://edu.gov.ru/
    Министерство просвещения РФ
  • http://www.edu.ru
    Федеральный портал «Российское образование»
  • https://elearning.hse.ru/mooc
    Массовые открытые онлайн-курсы
  • НИУ ВШЭ1993–2026
  • Адреса и контакты
  • Условия использования материалов
  • Политика конфиденциальности
  • Правила применения рекомендательных технологий в НИУ ВШЭ
  • Карта сайта
Редактору