?
Диагностика параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования методом рентгеновской рефлектометрии in-situ
С. 87–89.
Описан метод in-situ рентгеновской рефлектометрии. Приведены результаты определения параметров тонких пленок титана и кремния, нанесенных на кремниевые подложки, в реальном времени их формирования.
Язык:
русский
В книге
Черноголовка: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2010.
Danil Kobtsev, Jarashneli A., Maman N. и др., Applied Sciences (Switzerland) 2026 Vol. 16 No. 17 Article 8577
Добавлено: 30 августа 2026 г.
Ивашенцева И. В., Каурова Н. С., Воронов Б. М. и др., St. Petersburg Polytechnical University Journal: Physics and Mathematics 2025 Vol. 18 No. 3.2 P. 129–133
Сверхпроводящие пленки NbN, изготовленные методом реактивного магнетронного распыления, являются чувствительным элементом болометров на эффекте © Ivashentseva I.V., Kaurova N.S., Voronov B.M., Goltsman G.N., Tretyakov I.V., 2025. Published by Peter the Great St. Petersburg Polytechnic University. 129 St. Petersburg Polytechnic University Journal. Physics and Mathematics. 2025. Vol. 18. No. 3.2 электронного разогрева HEB. Основной принцип HEB ...
Добавлено: 24 декабря 2025 г.
Тарасов М. А., Ломов А. А., Чекушкин А. М. и др., Письма в Журнал технической физики 2025 Т. 51 № 4 С. 42–45
Выполнены экспериментальные исследования базовых параметров пленок алюминия толщиной 150 nm
на подложках Si(111), SiO2/Si(001). Пленки получены методами магнетронного распыления и термического
испарения в диапазоне температур от 77 до 800K. Для охлаждения подложки до температуры жидкого азота
изготовлена вакуумная вставка в установку Z400, а для нагрева до 800K использован штатный нагреватель
установки Kurt Lesker. Установлено, что криогенное осаждение адатомов алюминия ...
Добавлено: 6 сентября 2025 г.
Баева Э. М., Kolbatova A. I., Titova N. A. и др., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2024 Vol. 110 No. 10 Article 104519
Добавлено: 26 октября 2024 г.
N.I. Fedotov, Maizlakh A. A., V.V. Pavlovskiy и др., Surfaces and Interfaces 2022 Vol. 31 Article 102015
Добавлено: 31 января 2024 г.
Арутюнов К. Ю., Седов Е. А., Завьялов В. В. и др., Physics of Metals and Metallography, USA 2023 Vol. 124 No. 1 P. 53–57
The R(T) dependences of thin superconducting aluminum films deposited on leucosapphire and gallium arsenide substrates by electron beam sputtering and molecular beam epitaxy have been experimentally studied. Regardless of morphology, a noticeable increase in the critical temperature of the superconducting transition with a decrease in the film thickness is found. The effect is interpreted as a ...
Добавлено: 31 января 2024 г.
Божко С. И., Ксенз А. С., Фокин Д. А. и др., Журнал технической физики 2023 Т. 93 № 7 С. 928–930
Расслоение наноостровков Pb на вицинальной поверхности Si(7 7 10) на слои толщиной 2 nm, обусловленное квантованием электронного спектра, подразумевает образование двумерных дефектов, разделяющих слои Pb. С помощью модельных расчетов в приближении теории функционала плотности показано, что минимальной энергией образования обладает двойниковая граница, энергия которой равна 15meV/at. Установлено, что двойниковая граница формируется на стадии роста очередного ...
Добавлено: 20 декабря 2023 г.
A. I. Lomakin, E. M. Baeva, Titova Nadezhda A. и др., St. Petersburg Polytechnical University Journal: Physics and Mathematics 2022 Vol. 15 No. 3.3 P. 64–69
Here we study the temperature dependences of the electron phase-breaking
time τϕ in ultra-thin superconducting niobium (Nb) films. In Nb films, passivated with a
layer of silicon (Si), the observed temperature dependence of the phase-breaking time is
τϕ ~ Т^(-2.5), is resembling the electron-phonon scattering. However, in the uncovered Nb
films, we observe the saturation of τϕ at low ...
Добавлено: 12 сентября 2023 г.
A. I. Lomakin, E. M. Baeva, Triznova A. D. и др., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2023 Vol. 107 No. 5 Article 054205
Добавлено: 9 августа 2023 г.
Ильин А. С., Стругова А. О., Кон И. А. и др., В кн.: Нанофизика и наноэлектроника. Труды XXVII Международного симпозиума (Нижний Новгород, 13–16 марта 2023 г.) в 2х томах. Том 1Т. 1: Секции 1, 2, 4, 6.: Н. Новгород: ИПФ РАН, 2023. С. 105–106.
Обнаружена сверхпроводимость в пленках RuN, полученных методом реактивного магнетронного распыления. Критическая температура сверхпроводящего перехода составляет от 0,77 до 1,29 К, в зависимости от подложки. Определены параметры кристаллической решетки сверхпроводящих пленок: решетка кубическая с параметрами a = b = c = 4.5586 Å, a = b = g = 87.96°. Результаты измерения температурных зависимостей второго критического магнитного ...
Добавлено: 26 марта 2023 г.
Radkevich A., Семенов А. Г., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 106 No. 9 Article 094505
Добавлено: 29 января 2023 г.
Полидифениленфталид (ПДФ) относится к классу органических диэлектриков, которые при приложении
внешнего электростатического поля и/или механического напряжения проявляют электропроводящие свойства. В настоящей работе экспериментально исследовались транспортные характеристики тонкопленочных
слоистых струкур свинец−ПДФ−свинец в широком температурном диапазоне. При достаточно высоких
температурах вольтамперные зависимости удовлетворительно описываются в рамках инжекционной модели
токов, ограниченных объемным зарядом. При температурах ниже 7.5K в ряде образцов наблюдаются
особенности, ...
Добавлено: 25 ноября 2022 г.
Арутюнов К. Ю., Седов Е. А., Завьялов В. В. и др., Физика металлов и металловедение 2023 Т. 124 № 1 С. 56–60
Экспериментально исследованы R(T) зависимости тонких сверхпроводящих пленок алюминия, изготовленных на подложках из лейкосапфира и арсенида галлия методом электронно-лучевого распыления и молекулярно-лучевой эпитаксии. Безотносительно к морфологии, был обнаружен заметный рост критической температуры сверхпроводящего перехода с уменьшением толщины пленки. Эффект интерпретируется как проявление квантового размерного эффекта. ...
Добавлено: 24 ноября 2022 г.
Арутюнов К. Ю., Гурский А. С., Artemov V. и др., Beilstein Journal of Nanotechnology 2022 Vol. 13 P. 1551–1557
Добавлено: 24 ноября 2022 г.