?
An influence of ion and sputtered atom flows inhomogeneity on time evolution of the target surface relief in glow discharge
Journal of Physics: Conference Series. 2008. Vol. 100. No. 062009. P. 1-4.
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И.
Разработана математическая модель транспорта ионов и распыленных атомов в окрестности мишени, имеющей периодический поверхностный рельеф, при ее облучении в тлеющем газовом разряде. Исходя из предположения малости амплитуды рельефа, пертурбационным методом получены аналитические выражения для их потоков и уравнение, описывающее эволюцию амплитуды рельефа во времени. Показано, что процесс распыления доминирует над обратным перенапылением материала в верхних частях рельефа и имеет место выглаживание рельефа в процессе гомогенного облучения образца.
Ключевые слова: математическая модельmathematical modelsputteringtargetperiodical surface reliefions and sputtered atomstransport of ionflowsglow dischargerelief smoothingраспылениемишеньпериодический поверхностный рельефионы и распыленные атомытранспорт ионовтлеющий разрядвыглаживание рельефавлияние облучения на свойства твердых тел
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Prassitski V. V., Japanese Journal of Applied Physics 2001 Vol. 40 No. 2B P. 965-967
Analytical expressions which determine the probability of sputtered atom escaping from a cylindrical cavity and a rectangular trench on the target surface bombarded by an ion beam are obtained for sputtered atoms cosine and over-cosine angle distributions. It is shown that the sputtering yield can be substantially reduced by creation a relief of cylindrical cavities ...
Добавлено: 21 ноября 2013 г.
Akishin A. I., Babaev V. P., Belova N. V. и др., Journal of Advanced Materials 2007 Vol. 14 No. 6 P. 490-493
Comparative unvestigations are carried out into the effect of irradiation in the flow of oxygen plasma on the sputtering of polymer materials - polyvinyltrimethylsilane, polyimide and polyvinyltrimethylsilane with the additions of carbon nanjparticles. It is shown that the mass loss of the polyvinyltrimethylsilane specimens is 1.5 times smaller than that of the polyimide specimens. ...
Добавлено: 25 ноября 2013 г.
Bondarenko G.G., Korzhavyi A. P., Chistyakov G. A., Russian Metallurgy (Metally) 2005 No. 3 P. 269-272
The behaviour of sandwich structures of cold cathodes has been studied in a glow discharge. The differences in the behaviour of the cold-cathode composite structures under the action of a glow discharge in a helium-neon mixture are discussed. ...
Добавлено: 22 ноября 2013 г.
Аитов Р. Д., Бондаренко Г.Г., Кристя В. И., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 1997 № 1 С. 11-14
Теоретически исследовано движение ионов в катодном слое тлеющего разряда вблизи текстурированной поверхности мишени. Показано, что происходит сепарация ионов по энергиям на элементах поверхностного рельефа. ...
Добавлено: 4 декабря 2013 г.
Bondarenko G.G., Udris Y. Y., Journal of Nuclear Materials 1996 Vol. 233-237 P. 688-691
The sputtering of W-Cu composition by polyenergetic flux of hydrogen particles has been investigated. The experiments showed that the sputtering coefficients of the materials had abnormally high values in the experimental conditions. ...
Добавлено: 15 ноября 2013 г.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (MSE) 2017 Vol. 168 No. 012008 P. 1-5
Добавлено: 17 февраля 2017 г.
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Йе Наинг Тун .., В кн. : Труды XXIV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 7 июля - 12 июля 2014г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014. С. 74-78.
В работе предложена модель, позволяющая оценить роль полевой эмиссии в уменьшении эффективного коэффициента распыления материала катода в разряде. ...
Добавлено: 15 июля 2014 г.
Выполнены исследования по воздействию облучения ионами аргона на ряд конструкционных материалов: коррозионно-стойкая сталь 12Х18Н10Т, Ni, Cu, W, а также композиционный материал W-Cu. Энергия ионов – 300 эВ, флюенс– (6,0-14,5) ∙1019см-2. Методами микровзвешивания и резерфордовского обратного рассеяния получены коэффициенты распыления исследованных материалов. По результатам экспериментов сделан вывод о перспективности использования псевдосплава W-Cu для практических задач, в ...
Добавлено: 29 ноября 2013 г.
Bondarenko G.G., Udris Y. Y., Fusion Engineering and Design 1998 Vol. 39-40 P. 419-426
The sputtering of a number of materials due to an intense polyenergetic flux of hydrogen particles has been investigated. The irradiation of pure tungsten, copper, aluminium, titanium, aluminium-lithium alloys, stainless steel and tungsten-copper composition has been carried out at particle flux densities of 1017-1018 cm~2 s~' and at fluences of 1020-1022 cm~2. Furthermore, W-Cu composition ...
Добавлено: 15 ноября 2013 г.
Бондаренко Г. Г., Кристя В. И., Савичкин Д. О., Известия высших учебных заведений. Физика 2017 Т. 60 № 2 С. 129-134
Построена теоретическая модель катодного слоя нормального тлеющего разряда при наличии на поверхности катода тонкой диэлектрической пленки. В ней, кроме ионно-электронной эмиссии, учитывается также полевая эмиссия электронов из металлической подложки катода в пленку под действием возникающего в диэлектрике сильного электрического поля. Установлено, что влияние полевой электронной эмиссии на характеристики тлеющего разряда определяется эмиссионной эффективностью пленки, равной ...
Добавлено: 6 апреля 2017 г.
Bondarenko G.G., Kristya V. I., Vacuum 1999 Vol. 53 P. 25-27
A one-dimensional model kinetic equation for the energy distribution function of heavy ions in the cathode sheath of gas mixture glow dischargees is siggested. ...
Добавлено: 15 ноября 2013 г.
Вернигоров К. Б., Алентьев А. Ю., Музафаров А. М. и др., Известия высших учебных заведений. Физика 2011 Т. 54 № 1/2 С. 125-132
На магнитоплазмадинамическом ускорителе кислородной плазмы, имитирующей действие атомарного кислорода, проведено облучение полимерных покрытий, на основе полиимида Kapton H, термопластичного полиимида (ПИ) и его модификации аморфным силиказолем СЗ (ПИ-СЗ). На основании полученных данных рассчитаны объемные коэффициенты эрозии полимеров, проведен сравнительный анализ устойчивости покрытий. Методом сканирующей электронной микроскопии исследованы изменения морфологии поверхностей полимеров после облучения. Показано, что композиция ...
Добавлено: 27 сентября 2012 г.
Черник В. Н., Акишин А. И., Бондаренко Г. Г. и др., Известия РАН. Серия физическая 2008 Т. 72 № 7 С. 1015-1017
С помощью растровой электронной микроскопии исследован рельеф поверхности образцов углеситалла УСБ-15, пироуглерода ПГИ, пирографита УПВ-1 и полиимида ПМ-1Э, экспонированных в ускоренных потоках кислородной плазмы. Травление поверхности быстрыми частицами кислорода формирует структуру из выступов в форме конусов/столбиков. По мере увеличения потери массы материала размеры образований растут и характер рельефа видоизменяется. При травлении углеродных материалов наблюдается обогащение ...
Добавлено: 4 января 2013 г.
Андреев В. В., Бондаренко Г. Г., Масловский В. М. и др., IOP Conference Series: Materials Science and Engineering (MSE) 2012 Vol. 41 No. 012017 P. 1-9
В работе предложен новый метод многоуровневой токовой нагрузки для исследования тонких оксидных слоев МОП (металл-окисел-полупроводник) структур. Метод позволяет изучать генерацию и релаксацию положительных и отрицательных зарядов в нанотолщинном подзатворном диэлектрике МОП-структуры в различных стрессовых ситуациях. Параметры, характеризующие изменение зарядового состояния тонких оксидных слоев МОП - структур в процессе инжекции контролировались с помощью измерения временной зависимости ...
Добавлено: 17 января 2013 г.
National Research Nuclear University «MEPhI», 2017
Добавлено: 31 августа 2017 г.
М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014
Труды содержат доклады, представленные учеными из России, Белоруссии, Казахстана,Узбекистана, Украины, Киргизии, Германии, США, Польши, ЮАР, посвященные актуальным проблемам радиационной физики твердого тела (влияние радиации на физико-химические свойства и структуру металлических, полупроводниковых и диэлектрических материалов, влияние факторов космического пространства на свойства конструкционных и функциональных материалов и покрытий космических аппаратов, радиационно-технологические методы получения материалов, в частности наноматериалов, ...
Добавлено: 15 июля 2014 г.
Для исследования состояния границы раздела многослойных систем разработан метод,основанный на спектральном анализе термоволновых колебаний, возникающих под действием излучения лазеров, работающих в периодическом импульсном режиме. Метод основан на высокой чувствительности формы осциллирующей составляющей пирометрического сигнала к адгезионным характеристикам границы раздела фаз. Для количественной оценки формы сигнала использованы коэффициент корреляции (система пленка – подложка) и передаточная функция ...
Добавлено: 12 апреля 2012 г.
Черник В. Н., Бондаренко Г. Г., Гайдар А. И. и др., Известия высших учебных заведений. Физика 2008 Т. 51 № 11/2 С. 6-9
Представлены результаты измерения коэффициентов химического распыления углеситалла УСБ-15, пироуглерода ПГИ, пирографита УПВ-1, экспонированных в ускоренных частично диссоциированных потоках кислородной плазмы с энергией ионов 90 эВ. Для исследованных нелегированных материалов УПВ-1 и ПГИ коэффициент химического распыления не зависит от степени совершенства кристаллической решетки и составляет 0,94-0,96 атомов/атом. При легировании бором коэффициент распыления углеситалла УСБ-15 с 8% ...
Добавлено: 4 января 2013 г.
Используя метод неразрушающего контроля адгезии границы контакта плёнка – подложка по величине тепловой проводимости α12, проведено исследование изменения α12 для системы вольфрамовая плёнка (0,8 мкм) – кремниевая подложка (0,7 мм) после облучения высокоэнергетическими электронами. Показано, что облучение приводит к увеличению тепловой проводимости границы раздела и улучшению адгезионных характеристик. ...
Добавлено: 4 января 2013 г.
Получено аналитическое решение уравнения нестационарного двумерного распределения температуры в объеме цилиндрического электрода с катодным пятном на его торце после зажигания нормального тлеющего разряда. Решена система уравнений, связывающая среднюю температуру поверхности электрода в катодном пятне, устанавливающуюся после достаточно большого времени горения разряда, с параметрами катодного слоя разряда, и найдена зависимость ее величины от времени, учитывающая влияние ...
Добавлено: 30 ноября 2012 г.
Бондаренко Г. Г., Фишер М. Р., Кристя В. И., Journal of Physics: Conference Series 2012 Vol. 406 No. 012031 P. 1-6
Выполнено моделирование кинетики транспорта и взаимодействия электронов, ионов и метастабильных возбужденных атомов в слаботочном разряде в смеси аргон-ртуть между плоскими электродами газоразрядного прибора и исследовано влияние температуры газа на концентрацию и плотность потока частиц. Получены распределения плотностей заряженных и возбужденных частиц между электродами при различных значениях температуры. Их них следует, что главным механизмом образования ионов ...
Добавлено: 17 января 2013 г.
Артамонов А. В., Бондаренко Г. Г., Якункин М. М., Физика и химия обработки материалов 2008 № 1 С. 20-23
Исследовано влияние облучения системы B-Si электронами с энергией 8 МэВ на образование диффузионной зоны и тепловую проводимость границы раздела. Показано, что коэффициент диффузии бора в кремний при облучении при температуре 1200 K на порядок выше, чем без облучения, а величина тепловой проводимости близка к значению, характерному для идеального теплового контакта. ...
Добавлено: 4 января 2013 г.
Черник В. Н., Новиков Л. С., Бондаренко Г. Г. и др., Известия РАН. Серия физическая 2010 Т. 74 № 2 С. 289-292
Рассмотрен эффект резкого падения прочности полимерных волокон по мере увеличения их эрозии под воздействием потока кислородной плазмы. При относительно малых потерях массы волокон (20%) разрывная нагрузка падает в 20 раз. Исследование структуры волокон на РЭМ показало, что травление волокон происходит неоднородно – наблюдается резко выраженное локальное уменьшение их толщины, приводящее к разрыву. ...
Добавлено: 14 октября 2012 г.
Рассмотрены некоторые теоретические аспекты определения необходимого количества подвижных групп, задействованных для обеспечения безопасности объектов от воздействия различных негативных факторов. Разработана математическая модель, позволяющая обосновать необходимое количество групп для своевременного реагирования на негативные факторы. Определено и скорректировано общее количество групп реагирования с учетом вероятности ложного срабатывания нескольких технических средств обнаружения. Приведен процесс корректировки количества групп реагирования ...
Добавлено: 23 января 2019 г.