?
Структура и состав поверхности углеситалла после воздействия кислородной плазмы
Методами растровой электронной микроскопии, рентгеновского элементного микроанализа и рентгеноструктурного анализа, массспектрометрии кинетики термодесорбции и летучих соединений исследованы образцы углеситалла УСБ15 после облучения ионами с энергией 90 эВ из ускоренного потока кислородной плазмы. Обнаружено обогащение поверхности кислородом; структурные изменения после облучения не наблюдаются. Материал имеет мелкозернистую несовершенную кристаллическую структуру с очень низкой степенью графитизации. Термодесорбционная
массспектрометрия показала появление при температуре выше 150°С линий оксидов бора, достигающих. максимума при 320–410°С. Это подтверждает предположение об образовании на холодной поверхности УСБ15 при воздействии ионов кислорода инертной пленки оксидов бора и ее испарении при повышении температуры, приводящем к утрате защитных свойств легирующей примеси бора.