Модификация МДП-структур сильнополевой инжекцией электронов и электронным облучением

Андреев Д. В.; Г. Г. Бондаренко; Столяров А. А.

?

Модификация МДП-структур сильнополевой инжекцией электронов и электронным облучением

С. 242–252.

Андреев Д. В., Бондаренко Г. Г., Столяров А. А.

В работе рассмотрена возможность модификации МДП-структур c пленкой SiO2, легированной фосфором путём сильнополевой туннельной инжекции электронов в подзатворный диэлектрик и облучения кристаллов низкоэнергетичными электронами, а также проведено исследование режимов легирования пленки SiO2 фосфором на характеристики МДП-структур.Установлено, что отрицательный заряд, накапливающийся в плёнке ФСС в структурах с двухслойным подзатворным диэлектриком SiO2-ФСС как в процессе сильнополевой туннельной инжекции электронов, так и при электронном облучении может использоваться для модификации МДП-приборов.

Язык: русский

Полный текст

Ключевые слова: МДП-структура облучение модификация irradiation modification MIS structure

ПУБЛИКАЦИЯ ПОДГОТОВЛЕНА ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ПРОЕКТА:

Теоретическое и экспериментальное исследование влияния концентрированных потоков энергии и температуры на электрофизические свойства функциональных материалов (2015)

В книге

Труды XXV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 6-11 июля 2015г.)

М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2015.

Сходства и различия библейских прецедентных высказываний и библейских фразеологизмов как интертекстуальных маркеров в детективном рассказе

Анохина М. К., Вопросы психолингвистики 2025 № 4(66) С. 80–95

Данная статья посвящена изучению фразеологических единиц и прецедентных высказываний, а также разработке возможных принципов их разграничения, поскольку эти языковые единицы являются близкими друг другу по ряду признаков. Фразеологизмами называются раздельнооформленные образования, обладающие устойчивостью и воспроизводимостью, вобравшие в себя имплицитные культурные смыслы. Исследователи отмечают два понимания фразеологии: в узком смысле фразеологические единицы представляют собой средство построения ...

Добавлено: 5 февраля 2026 г.

Using Injection-Thermal Treatment to Reduce Defectiveness of Dielectric Films of MIS Structures

Andreev D. V., Kornev S. A., G. G. Bondarenko и др., Inorganic Materials: Applied Research 2025 Vol. 16 No. 5 P. 1301–1305

Добавлено: 12 сентября 2025 г.

Damage of the Tungsten Surface Layer under Irradiation by Steady-State Ion and Pulsed Beam-Plasma Helium Fluxes

Borovitskaya I. V., Pimenov V. N., Korshunov S. N. и др., Physics of Atomic Nuclei 2025 Vol. 88 No. 1 P. S67–S78

Добавлено: 22 июля 2025 г.

О переработке базы данных

Калятин В. О., Патенты и лицензии. Интеллектуальные права 2023 № 6 С. 49–56

Переработка произведений часто вызывает конфликты авторов. Но еще сложнее разрешать вопросы переработки относительно баз данных в силу специфики объекта. Статья В.О.Калятина – канд. юрид. наук, доцента, проф. Исследовательского центра частного права им. С.С.Алексеева при Президенте Российской Федерации, доцента департамента права цифровых технологий и биоправа факультета права Национального исследовательского университета Высшая школа экономики (Москва, kalvit@yandex.ru), посвящена ...

Добавлено: 12 июня 2023 г.

Релятивизация в малокарачкинском говоре чувашского языка. К типологии обобщенных приименных клаузальных конструкций

Скрипка Н. Н., Урало-алтайские исследования 2023 № 48 С. 70–90

В настоящей статье рассматриваются особенности релятивизации в малокарачкинском говоре чувашского языка (> булгарские > тюркские). На основе данных элицитации показано, что в исследуемом говоре при релятивизации преимущественно используется стратегия пробела [Comrie, Kuteva 2005], а собственно синтаксические ограничения на релятивизуемую позицию слабы. Так, для релятивизации недоступны только позиции каритивного дополнения и основания сравнения. При этом успешность ...

Добавлено: 1 мая 2023 г.

Organosilica-Modified Multiblock Copolymers for Membrane Gas Separation

Davletbaeva I., Alexander Yu. Alentiev, Faizulina Z. и др., Polymers 2021 Vol. 13 No. 20 Article 3579

Добавлено: 1 ноября 2022 г.

Влияние облучения высокотемпературной импульсной дейтериевой плазмой на структуру и механические свойства поверхности сплавов систем Cu-Ga и Cu-Ga-Ni

Боровицкая И. В., Пименов В. Н., Масляев С. А. и др., Металлы 2022 № 1 С. 55–64

В работе исследовано изменение механических свойств и текстуры поверхностных слоев сплавов Cu-10Ga и Cu-10Ga-4Ni в условиях воздействия мощных импульсных радиационно-термических и ударно-волновых нагрузок, характерных для импульсных установок термоядерного синтеза. Облучение образцов импульсной высокотемпературной плазмой и ионами осуществлялось в установке Плазменный фокус (ПФ) PF-1000 (Польша) с энергетическим запасом 600 кДж; в качестве рабочего газа использовался дейтерий. ...

Добавлено: 25 марта 2022 г.

Влияние облучения на установке плазменный фокус на структуру и механические свойства поверхности медных сплавов Cu - 10 ат% Ga и Cu - 10 ат% Ga – 4 ат% Ni

Боровицкая И. В., Пименов В. Н., Масляев С. А. и др., В кн.: Труды XXXI Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 5 - 10 июля 2021 г.).: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2021. С. 405–419.

Добавлено: 22 июля 2021 г.

Increasing the Charge Stability of Gate Dielectric Films of MIS Structure by Doping Them with Phosphorus

Andreev D. V., Bondarenko G.G., Andreev V. V. и др., Inorganic Materials: Applied Research 2021 Vol. 12 No. 2 P. 517–520

Добавлено: 2 апреля 2021 г.

Термостойкие металлогидридные радиационно-защитные композиты на основе стеклокристаллических матриц

Ястребинский Р. Н., Бондаренко Г. Г., Карнаухов А. А., В кн.: Труды ХХХ Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 22 августа – 29 августа 2020г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2020. С. 386–390.

Добавлено: 9 сентября 2020 г.

Повышение зарядовой стабильности пленок подзатворного диэлектрика МДП-структур методом их легирования фосфором

Андреев Д. В., Бондаренко Г. Г., Андреев В. В. и др., Перспективные материалы 2020 № 7 С. 68–74

Добавлено: 25 июня 2020 г.

Influence of Temperature on High-Field Injection Modification of MIS Structures with Thermal SiO2 Films Doped with Phosphorus

Andreev D., Gennady G. Bondarenko, Andreev V. и др., High Temperature Material Processes 2019 Vol. 23 No. 4 P. 303–312

Добавлено: 30 января 2020 г.

Simulation of charge processes in dielectric films of MIS structures at simultaneous influence by ionization and high-field injection of electrons

Andreev D. V., Bondarenko G.G., Andreev V. V. и др., Procedia Manufacturing 2019 Vol. 37 P. 279–285

Добавлено: 10 января 2020 г.