?
Модификация МДП-структур сильнополевой инжекцией электронов и электронным облучением
С. 242-252.
В работе рассмотрена возможность модификации МДП-структур c пленкой SiO2, легированной фосфором путём сильнополевой туннельной инжекции электронов в подзатворный диэлектрик и облучения кристаллов низкоэнергетичными электронами, а также проведено исследование режимов легирования пленки SiO2 фосфором на характеристики МДП-структур.Установлено, что отрицательный заряд, накапливающийся в плёнке ФСС в структурах с двухслойным подзатворным диэлектриком SiO2-ФСС как в процессе сильнополевой туннельной инжекции электронов, так и при электронном облучении может использоваться для модификации МДП-приборов.
Язык:
русский
ПУБЛИКАЦИЯ ПОДГОТОВЛЕНА ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ПРОЕКТА:
В книге
М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2015
Andreev D. V., Бондаренко Г. Г., Andreev V. V. и др., Acta Physica Polonica A 2017 Vol. 132 No. 2 P. 245-248
Добавлено: 9 октября 2017 г.
М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014
Труды конференции содержат доклады ученых из России, Польши,Белоруссии, Украины, Казахстана, Узбекистана, посвященные важнейшим проблемам радиационной физики твердого тела (развитие теории радиационной физики твердого тела, исследование радиационно-индуцированных процессов в твердых телах, создание экологически чистых малоактивируемых материалов, разработка новых радиационных методов и технологий получения и модификации материалов с улучшенными свойствами для различных отраслей науки и техники и ...
Добавлено: 19 марта 2015 г.
Андреев В. В., Бондаренко Г. Г., Масловский В. М. и др., В кн. : Труды XXV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 6-11 июля 2015г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2015. С. 633-642.
В работе проведено исследование процессов изменения зарядового состояния МДП-структур в результате сильнополевой инжекционной обработки и последующего отжига, а также плазменной обработки полупроводниковых кристаллов. Найдены режимы обработок, позволяющие улучшить характеристики подзатворного диэлектрика МДП-структур. ...
Добавлено: 17 июля 2015 г.
Андреев В. В., Бондаренко Г. Г., Тихонов А. Н. и др., В кн. : Труды XXVI Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 4-9 июля 2016г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2016. С. 490-497.
В работе проведено исследование воздействия альфа-частиц на МДП-структуры, находящиеся в режиме протекания через диэлектрик постоянного туннельного тока, обусловленного сильнополевой по Фаулеру-Нордгейму инжекцией электронов в диэлектрик, а также в режиме заряда и разряда емкости постоянным током. ...
Добавлено: 30 августа 2016 г.
Андреев Д. В., Бондаренко Г. Г., Андреев В. В. и др., В кн. : Тезисы докладов XLVII Международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами (Москва, МГУ, 30 мая – 1 июня 2017). М. МГУ, 2017. : КДУ, 2017. С. 65.
В работе проведено исследование изменения зарядового состояния МДП-структур, находящихся в режиме сильнополевой туннельной инжекции электронов в диэлектрик, при радиационных воздействиях. ...
Добавлено: 14 июня 2017 г.
Проведено исследование процессов изменения зарядового состояния МДП-структур с многослойным подзатворным диэлектриком на основе термической пленки SiO2, легированной фосфором, при воздействии сильнополевой инжекцией электронов. Установлено, что отрицательный заряд, накапливающийся в тонкой плёнке фосфорно-силикатного стекла (ФСС) в МДП-структурах с двухслойным подзатворным диэлектриком SiO2-ФСС в процессе сильнополевой туннельной инжекции электронов, может использоваться для корректировки пороговых напряжений, повышения зарядовой ...
Добавлено: 19 ноября 2015 г.
Andreev V. V., Bondarenko G.G., Maslovsky V. M. и др., Physica status solidi C 2015 Vol. 12 No. 1-2 P. 126-130
The effect of high-field injection–thermal and irradiation treatments on the MIS structures reliability and defect reduction in the nanoscale gate dielectric has been investigated. Injection-thermal treatment (ITT) of MIS structures consisted of high-field electron injection into gate dielectric with the charge of defined value and subsequent parameter stabilization of MIS structures by means of thermal ...
Добавлено: 20 января 2015 г.
Бондаренко Г. Г., Любимов Д. Ю., Булатов Г. С. и др., В кн. : Труды XXVII Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь,10-15 июля 2017 г.), под редакцией д.ф.-м.н., проф.Бондаренко Г.Г. М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2017, 522 с. : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2017. С. 479-484.
В работе выполнены исследования по влиянию бета-распада металлических продуктов деления на состав облученного быстрыми нейтронами уран-плутониевого нитрида. ...
Добавлено: 22 августа 2017 г.
Добавлено: 4 декабря 2013 г.
Andreev D., Gennady G. Bondarenko, Andreev V. и др., High Temperature Material Processes 2019 Vol. 23 No. 4 P. 303-312
Добавлено: 30 января 2020 г.
Gribkov V. A., Sadowski M. I., Cheblukov Y. N. и др., Nukleonika 2004 Vol. 49 No. 2 P. 43-49
Changes in the optical characteristics in synthetic sapphire specimens produced by microsecond pulse irradiation with a stream of hydrogen ions of energies ranging up to tens keV have been observed. Data on decrease in the optical reflection, measured within the wavelength range of 200−900 nm, are presented. This characterization is compared with the data received ...
Добавлено: 12 марта 2014 г.
Bondarenko G.G., Borovitskaya I. V., Pimenov V. N. и др., , in : Proceedings of the 12th International Conference “Interaction of Radiation with Solids” (Minsk, Belarus, September 19-22, 2017). Minsk, Belarussian State University, 2017. : Minsk : ., 2017. P. 14-15.
Добавлено: 28 сентября 2017 г.
Andreev V. V., Бондаренко Г. Г., Maslovsky V. M. и др., Acta Physica Polonica A 2015 Vol. 12 No. 5 P. 887-890
Добавлено: 31 декабря 2015 г.
Андреев Д. В., Бондаренко Г. Г., Масловский В. М. и др., В кн. : Труды XXIV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 7 июля - 12 июля 2014г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014. С. 245-252.
В данной работе рассмотрена возможность модификации электрофизических характеристик МДП-структур путём
сильнополевой туннельной инжекции электронов в диэлектрик и плазменной обработки кристаллов, а также проведена оценка временной и температурной стабильности параметров модифицированных структур ...
Добавлено: 23 января 2015 г.
Andreev D. V., Бондаренко Г. Г., Andreev V. V. и др., , in : Proceedings of 10th International Conference “New Electrical and Electronic Technologies and their Industrial Implementation” (Zakopane, Poland, June 27 – 30, 2017). : Lublin : lublin University of Technology, 2017. P. 59.
Добавлено: 5 июля 2017 г.
Зотов М. Г., Качество. Инновации. Образование 2014 № 10 С. 42-45
В статье акцентируется внимание на трудностях практического использования классических частотных критериев устойчивости Михайлова и Найквиста, предлагаются способы их модификации с целью устранения сложностей использовани. ...
Добавлено: 20 марта 2015 г.
Арутюнян В. В., Алексанян А. М., Бадалян А. О. и др., В кн. : Proceedings of International Conference on Nuclear and Radiation Physics and Materials NRPM 2019 (Yerevan, Armenia, June 17-20, 2019). Yerevan, Armenia, ANSL, 2019. : Ер. : Yerevan Physics Institute, 2019. С. 92-96.
В работе исследованы особенности влияния различных видов облучения на радиационно-индуцированные процессы деструкции поверхностного состояния монокристаллов корунда.Облучения образцов
проводились различными частицами - электронами с энергией 50 МэВ, реакторными нейтронами с энергией 2 МэВ и ионами свинца с энергией 3.5 МэВ/а.е.м. После облучения ионами свинца образцы подвергались термообработке при 1720 К (t=2 часа). Во избежание нагревания при облучении ...
Добавлено: 28 июня 2019 г.
Калятин В. О., Патенты и лицензии. Интеллектуальные права 2023 № 6 С. 49-56
Переработка произведений часто вызывает конфликты авторов. Но еще сложнее разрешать вопросы переработки относительно баз данных в силу специфики объекта. Статья В.О.Калятина – канд. юрид. наук, доцента, проф. Исследовательского центра частного права им. С.С.Алексеева при Президенте Российской Федерации, доцента департамента права цифровых технологий и биоправа факультета права Национального исследовательского университета Высшая школа экономики (Москва, kalvit@yandex.ru), посвящена ...
Добавлено: 12 июня 2023 г.
Bondarenko G.G., Udris Y. Y., Yakushin V. L., Fusion Engineering and Design 2000 Vol. 51-52 P. 81-84
The behaviour and erosion of tungsten, copper and W-Cu composition under irradiation by high intensive hydrogen plasma have been investigated. The erosion coefficients of these materials have been determined. The importance of copper redepositions in the mechanism of sputtering and erosion of W-Cu composition has been emphasised. ...
Добавлено: 21 ноября 2013 г.
Andreev D. V., Bondarenko G.G., Andreev V. V. и др., High Temperature Material Processes 2017 Vol. 21 No. 4 P. 299-307
Добавлено: 24 июня 2018 г.
Бондаренко Г. Г., Гайдар А. И., Новиков Л. С. и др., В кн. : Труды XXIV Международной конференции "Радиационная физика твердого тела" (Севастополь, 7 июля - 12 июля 2014г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014. С. 493-503.
На основе совместного анализа рельефа, образующегося на поверхности пара-арамидного волокна, и его надмолекулярной структуры предложен механизм, объясняющий резкое падение прочности волокон при облучении потоком КП. Химическое распыление пара-арамидного волокна происходит в первую очередь по тонким межфибриллярным прослойкам и поперечным аморфным областям. Это вызывает соответственно продольное расщепление волокон и глубокое очаговое растравливание с локальным уменьшением толщины ...
Добавлено: 15 июля 2014 г.
Bondarenko G.G., Udris Y. Y., Chikharev N. V. и др., Russian Metallurgy (Metally) 1998 No. 3 P. 91-95
Добавлено: 4 декабря 2013 г.
Используя метод неразрушающего контроля адгезии границы контакта плёнка – подложка по величине тепловой проводимости α12, проведено исследование изменения α12 для системы вольфрамовая плёнка (0,8 мкм) – кремниевая подложка (0,7 мм) после облучения высокоэнергетическими электронами. Показано, что облучение приводит к увеличению тепловой проводимости границы раздела и улучшению адгезионных характеристик. ...
Добавлено: 4 января 2013 г.
Бондаренко Г. Г., Дидык А. Ю., Боровицкая И. В. и др., Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования 2017 № 5 С. 86-90
Сборки из Ta|CD2|Ta, Ta|Ta|CD2|Ta|Ta и Nb|CD2|Nb фольг были облучены 30-ю импульсами аргоновой высокотемпературной плазмы на установке «Плазменный фокус» (ПФ-4). После облучения все образцы фольг были исследованы методом регистрации ядер отдачи водорода и дейтерия (ERDA) с обеих сторон каждой фольги. Обнаружено перераспределение водорода и дейтерия в стопках фольг. Экспериментальные результаты по сверхглубокому проникновению легких газовых примесей: ...
Добавлено: 7 мая 2017 г.