?
Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии
С. 306-307.
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.
In book
Ч. 1. , М. : Энергоатомиздат, 2010
Staruseva-Persheeva A., Fadeeva T., В кн. : Proceedings of the 3d International Conference on Art Studies: “Science, Experience, Education” (ICASSEE 2019). : Atlantis Press, 2020.
This article focuses on media art (and specifically - virtual reality) as a powerful tool which allows transforming social agenda into personal meaning for a participating viewer. VR has recently become an intriguing medium which makes one feel present in the artistic “text”; to maximize the effect of immersion many VR projects give the viewer ...
Added: October 6, 2020
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции. : Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 51-51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Added: May 17, 2013
Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю. et al., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19-24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Added: October 22, 2013
Lapshinov B. A., М. : Московский государственный институт электроники и математики, 2011
Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Приведены сведения о развитии литографических процессов и основные принципы их реализации.
Для студентов 3 и 4 курсов обучающихся по специальности 210100 «Электронное машиностроение». ...
Added: April 23, 2012
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 2.: М. : МГТУ МИРЭА, 2012. С. 112-113.
В статье показано применение литографической технологии формирования рисунка для производства микрочипов ДНК, а также предложено устройство позволяющее обеспечить возможность создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: February 5, 2013
Kukshinov E., Меди@льманах 2015 № 1 С. 32-39
В данной статье автор исследует понятие «иммерсия» – основополагающий механизм осуществляемого медиавлияния, и анализирует два основных научных направления, рассматривающие данное явление: исследования виртуальной реальности и исследования нарративов. Данная проблематика затрагивает области психологии, коммуникативистики, феноменологии, культурологии, компьютерных и когнитивных наук. ...
Added: August 1, 2016
Костомаров П. С., В кн. : Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ. : М. : Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 297-298.
В работе рассмотрены основные методы повышения разрешающей способности процесса ультрафиолетовой литографии, предложена их сравнительная характеристика и проведён анализ эффективности использования в современных литографических установках. Рассмотрены физические аспекты применения метода иммерсионной литографии и предложен способ его технического воплощения. Предложено также техническое решение устройства формирования изображения на подложке отвечающее современным тенденциям снижения размеров шаблона в ультрафиолетовой литографии. ...
Added: September 22, 2013
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн. : INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва. Ч. 1.: М. : Энергоатомиздат, 2010. С. 303-305.
В работе анализируются тенденции развития литографической технологии производства изделий микроэлектроники, и предлагаются принципиально новая схема технологического оборудования, работающая в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах, и позволяющая уменьшить минимальный характеристический размер элементов интегральных схем до нанометрового диапазона от нескольких десятков до единиц нанометров. ...
Added: February 8, 2013
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции. : Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 50-50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: May 17, 2013
Akhmetsafina R., Ахметсафин Р. Д., Геофизика 2014 № 6 С. 58-61
To increase the resolution three-element acoustic logging tool at the base of the probe divisible exceeding step logging in depth, it is proposed method based on the solution of the problem, inverse moving the arithmetic mean. To update estimates of the slowness, a system of linear equations and offers its regularization. The efficiency of the ...
Added: March 19, 2015
Кузьмин Д. О., В кн. : Многомерность общества: человек в социальном взаимодействии : 2-й молодежный конвент : материалы международной студенческой конференции 29–31 марта 2018 года. : Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2018. С. 462-464.
The article's topic is studying videogames as alternate realities that allow for existential experiences. This is possible due to immersion and player-game communication via the player character. To study these phenomenas, narratological and ANT methods were utilized. ...
Added: June 7, 2022
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва. Ч. 2.: М. : Энергоатомиздат, 2010. С. 302-303.
В работе исследуется физико-техническая возможность преодоления 100 нм барьера, при формировании нанообъектов литографическим методом. Авторами работы предложено техническое решение обеспечивающее возможность высокопроизводительного формирования дорожек нанометрового диапазона с применением ультрафиолетовой литографии. ...
Added: September 22, 2013