• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
June 2, 2026
HSE Study Reveals Imbalance in the Generative AI Market
Researchers at HSE University analysed how effectively the global generative artificial intelligence market converts investment into real revenue, concluding that AI is currently developing faster than it is paying off. The results have been published in the journal Foresight and STI Governance.
June 2, 2026
Discovering Science through Russian Language: HSE Prep Year Students Present at International Conference in Kazan
On May 23, 2026, the V International Scientific and Practical Conference ‘Discovering the World of Science’ took place in Kazan at the Preparatory Faculty for International Students of Kazan Federal University. Four students of the HSE International Preparatory Year took part in the event: two delivered their presentations in person, while two participated online. Their work was supervised by Acting Director of the International Prep Year Irina Isaeva and lecturer Ekaterina Kozhemyakova.
May 25, 2026
HSE Scientists Train Neural Network to 'Hear' Faults in Electric Motors
Researchers at the AI and Digital Science Institute of the HSE Faculty of Computer Science have developed a new method—the Signature-Guided Data Augmentation (SGDA) framework—that achieves 99% accuracy in motor fault detection and 86% accuracy in fault classification. The application of this approach can reduce industrial equipment repair costs, minimise downtime, and improve production safety. The study results have been published in Engineering Applications of Artificial Intelligence.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии

С. 306–307.
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.
Language: Russian
Full text
Keywords: разрешающая способностьлитографическая технологияэффект обращения волнового фронтаиммерсия

In book

INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва
INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва
Ч. 1. , М.: Энергоатомиздат, 2010.
Similar publications
Образ и звукозапись: плейлист визуальных мотивов для исследований звука
Nebolsin D., Логос 2026 Т. 36 № 1 С. 113–134
The article addresses the problem of theorizing the relationship between sound and visuality on the material of the more specific topics of recorded sound and visual image. The text is organized as a playlist: throughout the eight sound examples, it identifies the concepts of current image theory that are relevant for theoretical problems of sound ...
Added: May 23, 2026
Основы компьютерной графики
Korolev D., СПб.: Лань, 2026.
Учебное пособие состоит из четырех разделов, где рассматриваются физические основы, аналого-цифровое преобразование графики, сжатие графики и видео, устройства ввода и вывода графической информации; книга повторяет структуру и содержание теоретической части курса. Основной подход —- систематизация школьных знаний и формирование целостной картины работы с графикой и видео «изнутри». На различных примерах показываются элегантные инженерные решения в ...
Added: February 7, 2026
ЭКЗИСТЕНЦИАЛЬНЫЕ АСПЕКТЫ ПОГРУЖЕНИЯ В ИГРОВОЙ ПРОЦЕСС: НАРРАТОЛОГИЧЕСКИЙ И АКТОРНО-СЕТЕВОЙ АНАЛИЗ (НА ПРИМЕРЕ СОВРЕМЕННЫХ ВИДЕОИГР)
Кузьмин Д. О., В кн.: Многомерность общества: человек в социальном взаимодействии : 2-й молодежный конвент : материалы международной студенческой конференции 29–31 марта 2018 года.: Екатеринбург: Издательство Уральского университета, 2018. С. 462–464.
The article's topic is studying videogames as alternate realities that allow for existential experiences. This is possible due to immersion and player-game communication via the player character. To study these phenomenas, narratological and ANT methods were utilized. ...
Added: June 7, 2022
Re-subjectivity: Media Art as a Practice of Identity
Staruseva-Persheeva A., Fadeeva T., В кн.: Proceedings of the 3d International Conference on Art Studies: “Science, Experience, Education” (ICASSEE 2019).: Atlantis Press, 2020.
This article focuses on media art (and specifically - virtual reality) as a powerful tool which allows transforming social agenda into personal meaning for a participating viewer. VR has recently become an intriguing medium which makes one feel present in the artistic “text”; to maximize the effect of immersion many VR projects give the viewer ...
Added: October 6, 2020
Феномен медиаиммерсии
Kukshinov E., Меди@льманах 2015 № 1 С. 32–39
В данной статье автор исследует понятие «иммерсия» – основополагающий механизм осуществляемого медиавлияния, и анализирует два основных научных направления, рассматривающие данное явление: исследования виртуальной реальности и исследования нарративов. Данная проблематика затрагивает области психологии, коммуникативистики, феноменологии, культурологии, компьютерных и когнитивных наук. ...
Added: August 1, 2016
О повышении разрешающей способности трехэлементных зондов акустического каротажа
Akhmetsafina R., Ахметсафин Р. Д., Геофизика 2014 № 6 С. 58–61
To increase the resolution three-element acoustic logging tool at the base of the probe divisible exceeding step logging in depth, it is proposed method based on the solution of the problem, inverse moving the arithmetic mean. To update estimates of the slowness, a system of linear equations and offers its regularization. The efficiency of the ...
Added: March 19, 2015
Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФ-литографического модульного оборудования
Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю. et al., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19–24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Added: October 22, 2013
Планарная технология с использованием иммерсионной ультрафиолетовой литографии
Костомаров П. С., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ.: М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 297–298.
В работе рассмотрены основные методы повышения разрешающей способности процесса ультрафиолетовой литографии, предложена их сравнительная характеристика и проведён анализ эффективности использования в современных литографических установках. Рассмотрены физические аспекты применения метода иммерсионной литографии и предложен способ его технического воплощения. Предложено также техническое решение устройства формирования изображения на подложке отвечающее современным тенденциям снижения размеров шаблона в ультрафиолетовой литографии. ...
Added: September 22, 2013
Формирование нанообъектов литографическим методом
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 302–303.
В работе исследуется физико-техническая возможность преодоления 100 нм барьера, при формировании нанообъектов литографическим методом. Авторами работы предложено техническое решение обеспечивающее возможность высокопроизводительного формирования дорожек нанометрового диапазона с применением ультрафиолетовой литографии. ...
Added: September 22, 2013
Применение литографических технологий для обработки генетической информации в молекулах ДНК и РНК
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 50–50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: May 17, 2013
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 51–51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Added: May 17, 2013
Формирование изображения в вакуумном ультрафиолете
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 1.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 303–305.
В работе анализируются тенденции развития литографической технологии производства изделий микроэлектроники, и предлагаются принципиально новая схема технологического оборудования, работающая в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах, и позволяющая уменьшить минимальный характеристический размер элементов интегральных схем до нанометрового диапазона от нескольких десятков до единиц нанометров. ...
Added: February 8, 2013
Фотомозаика чипа для фракционирования ДНК на основе литографических технологий
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 2.: М.: МГТУ МИРЭА, 2012. С. 112–113.
В статье показано применение литографической технологии формирования рисунка для производства микрочипов ДНК, а также предложено устройство позволяющее обеспечить возможность создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: February 5, 2013
Технология литографических процессов
Lapshinov B. A., М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2011.
Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Приведены сведения о развитии литографических процессов и основные принципы их реализации. Для студентов 3 и 4 курсов обучающихся по специальности 210100 «Электронное машиностроение». ...
Added: April 23, 2012
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit