• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Формирование изображения в вакуумном ультрафиолете
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
April 30, 2026
HSE Researchers Compile Scientific Database for Studying Childrens Eating Habits
The database created at HSE University can serve as a foundation for studying children’s eating habits. This is outlined in the study ‘The Influence of Age, Gender, and Social-Role Factors on Children’s Compliance with Age-Based Nutritional Norms: An Experimental Study Using the Dish-I-Wish Web Application.’ The work has been carried out as part of the HSE Basic Research Programme and was presented at the XXVI April International Academic Conference named after Evgeny Yasin.
April 30, 2026
New Foresight Centre Study Identifies the Most Destructive Global Trends for Humankind
A team of researchers from the HSE International Research and Educational Foresight Centre has examined how global trends affect the quality of human life—from life expectancy to professional fulfilment. The findings of the study titled ‘Human Capital Transformation under the Influence of Global Trends’ were published in Foresight.
April 28, 2026
Scientists Develop Algorithm for Accurate Financial Time Series Forecasting
Researchers at the HSE Faculty of Computer Science benchmarked more than 200,000 model configurations for predicting financial asset prices and realised volatility, showing that performance can be improved by filtering out noise at specific frequencies in advance. This technique increased accuracy in 65% of cases. The authors also developed their own algorithm, which achieves accuracy comparable to that of the best models while requiring less computational power. The study has been published in Applied Soft Computing.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Формирование изображения в вакуумном ультрафиолете

С. 303–305.
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.
Language: Russian
Full text
Keywords: литографическая технологияэкстремальный ультрафиолетрентгеновское излучениеминимальный характеристический размер элементов

In book

INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва
INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва
Ч. 1. , М.: Энергоатомиздат, 2010.
Similar publications
X-ray flux–mass relation for z ≳ 0.7 galaxy clusters
Lyskova N., Churazov E., Khabibullin I. et al., Astronomy and Astrophysics 2025 Vol. 702 Article A175
We use a subsample of co-detections of the ACT and MaDCoWS cluster catalogs to verify the predicted relation between the observed X-ray flux FX in the 0.5−2 keV band and the cluster mass M500c for halos at z > 0.6 − 0.7. We modified this relation by introducing a correction coefficient, η, which is supposed to encapsulate factors associated with a particular method of flux ...
Added: March 6, 2026
The Dynamics of XUV Plasma Emission in a Low-Inductance Vacuum Spark at the Initial Stage of Discharge Development
Анциферов П. С., Степанов Л. В., Матюхин Н. Д., Plasma Physics Reports 2024 Vol. 50 No. 6 P. 742–748
The emission dynamics of a vacuum spark with a peak current of ~50 kA in the wavelength range of λ = 5–40 nm is analyzed. The radiation was detected by means of the microchannel-plate detectors with a frame temporal resolution of 20 ns. The technique of simultaneous acquisition of the spatial distribution and spectrograms of ...
Added: September 24, 2024
X-ray variability of SDSS quasars based on the SRG/eROSITA all-sky survey
S. A. Prokhorenko, S. Yu. Sazonov, Gilfanov M. R. et al., Monthly Notices of the Royal Astronomical Society 2024 Vol. 528 No. 4 P. 5972–5989
We examine the long-term (rest-frame time scales from a few months to ∼20 years) X-ray variability of a sample of 2344 X-ray bright quasars from the SDSS DR14Q Catalogue, based on the data of the SRG/eROSITA All-Sky Survey complemented for ∼7% of the sample by archival data from the XMM-Newton Serendipitous Source Catalogue. We characterise variability by a structure ...
Added: February 1, 2024
X-ray study of nanosized multilayer heterosturctures
Likhachev I. A., Subbotin I. A., Prutskov G. V. et al., , in: First AfLS Conference and Workshop 2015. Book of abstracts.: [б.и.], 2015. P. 23–23.
A complementary approach for studying multilayer heterostructes with X-Ray investigation methods was represented. Approach examination was conducted by analysis XRR and HRXRD data for the δ-Mn/InGaAs/GaAs heterostructure and series of XRR experiments with a different wavelengths for the Fe/Cr/Gd/Cr superlattice. ...
Added: June 17, 2016
Исследование многослойных структур на основе оксида европия совместным анализом рентгеновских методов
Prutskov G. V., Rogachev A., Terevtyev A. V., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2016. С. 284–284.
В работе показаны результаты структурных исследований гетерокомпозиций Si/EuO/cap-layer, при помощи совместной обработки результатов рентгеновской дифракции и рефлектометрии. Получены профили распределения компонент поляризуемости для образцов по глубине. ...
Added: June 17, 2016
Постановка метода абсорбционной спектроскопии на синхротронной станции "Ленгмюр"
Rogachev A., Prutskov G. V., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2015. С. 250–250.
В работе описаны особенности проведения исследования органических образцов, сформированных на поверхности жидкости, методами абсорбционной спектроскопии с применением синхротронного излучения. Представлены первые экспериментальные данные. ...
Added: July 22, 2015
Исследование материалов спинтроники совместной обработкой данных рентгеновской дифракции и рефлектометрии
Prutskov G. V., Лихачев И. А., В кн.: Сборник аннотаций национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследования наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования" (СИН НАНО 2015), г. Москва, 6 - 10 июля 2015 г.: М.: НИЦ «Курчатовский институт», 2015. С. 105–106.
В работе описан подход комплексного обсчета данных рентгеновской дифракции и рефлектометрии для структур спинтроники. ...
Added: July 13, 2015
Сборник аннотаций национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследования наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования" (СИН НАНО 2015), г. Москва, 6 - 10 июля 2015 г.
М.: НИЦ «Курчатовский институт», 2015.
Сборник содержит аннотации докладов, преставленных участниками национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследований наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования". Материалы представлены в авторской редакции. ...
Added: July 13, 2015
Формирование топологии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне
Корпачев М. Ю., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ.: М.: Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 295–296.
В работе рассмотрены волновые процессы в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах, приведены проходы к построению отражательных элементов и источников излучения системы формирования изображения для технологического оборудования нанолитографии. Для реализации технологического процесса ультрафиолетовой литографии в экстремальном ультрафиолетовом и мягком рентгеновском диапазонах предложено техническое решение, удовлетворяющее современным тенденциям по уменьшению минимального характеристического размера элементов интегральных схем ...
Added: May 26, 2014
Многокритериальная задача принятия решения при проектировании УФ-литографического модульного оборудования
Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю. et al., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19–24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Added: October 22, 2013
Формирование нанообъектов литографическим методом
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 302–303.
В работе исследуется физико-техническая возможность преодоления 100 нм барьера, при формировании нанообъектов литографическим методом. Авторами работы предложено техническое решение обеспечивающее возможность высокопроизводительного формирования дорожек нанометрового диапазона с применением ультрафиолетовой литографии. ...
Added: September 22, 2013
Применение литографических технологий для обработки генетической информации в молекулах ДНК и РНК
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 50–50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: May 17, 2013
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции.: Ульяновск: УлГУ, 2012. С. 51–51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Added: May 17, 2013
Технологическое устройство для рентгенолитографии высокого разрешения
Ефимов И. А., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 244–245.
В настоящей работе рассмотрен метод фокусировки рентгеновского излучения с использованием элементов на основе углеродных нанотрубок. В основу положена задача обеспечения возможности формирования квантовых ям в структуре твердого тела в диапазоне размеров от нескольких десятых долей до единиц нанометров. Применение устройства для формирования квантовых ям на подложке позволяет обеспечить возможность их формирования в диапазоне размеров от нескольких ...
Added: February 8, 2013
Устройство для технологических операций с нанообъектами на основе рентгеновского излучения
Ефимов И. А., Ivashov E., Корпачев М. Ю. et al., В кн.: INTERMATIC - 2009. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 7 - 11 декабря 2009 г., МоскваЧ. 2.: М.: Энергоатомиздат, 2009. С. 242–243.
Авторам работы предложено устройство для выполнения наноопераций, где решается проблема обеспечения направленного излучения (фокусировки) в диапазоне длин волн λ = 4  ÷ 5 нм (4・10-12 ÷ 5・10-9 м). Введение в устройство фокусирующих линз, на основе фуллеренов, расположенных в каналах свинцовой матрицы (в каждом не менее 103), даёт возможность фокусировать рентгеновское излучение с уменьшением фокусного расстояния ...
Added: February 8, 2013
Формирование изображения на подложке в иммерсионной литографии
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн.: INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., МоскваЧ. 1.: М.: Энергоатомиздат, 2010. С. 306–307.
В работе предлагаются методы повышения разрешающей способности, числовой аппретуры и глубины фокуса литографического технологического оборудования на основе использования иммерсионных жидкостей и эффекта обращения волнового фронта. Авторами также предлагается техническое решение позволяющее уменьшить минимальный характеристический размер элемента на подложке до нескольких десятков нанометров без перехода к экстремальным ультрафиолетовым и мягким рентгеновским источникам излучения. ...
Added: February 8, 2013
Фотомозаика чипа для фракционирования ДНК на основе литографических технологий
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., МоскваЧ. 2.: М.: МГТУ МИРЭА, 2012. С. 112–113.
В статье показано применение литографической технологии формирования рисунка для производства микрочипов ДНК, а также предложено устройство позволяющее обеспечить возможность создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: February 5, 2013
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit