?
Формирование нанообъектов литографическим методом
С. 302-303.
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.
In book
Ч. 2. , М. : Энергоатомиздат, 2010
Костомаров П. С., В кн. : Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ, посвященная 50-летию МИЭМ. : М. : Московский государственный институт электроники и математики, 2012. С. 300-301.
В работе представлена схема иммерсионного литографического процесса. Предложено устройство для формирования нанодорожек, в основу которого положена задача обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона, за счет формирования когерентного волнового пучка, обеспечивающего уменьшение диаметра пятна размытия, что позволяет существенно снизить технологическую дефектность процесса.
Применение предлагаемого устройства для формирования нанодорожек позволяет обеспечить возможность формирования дорожек нанометрового диапазона. ...
Added: January 27, 2013
Масляев С. А., Морозов Е. В., Romakhin P. et al., Физика и химия обработки материалов 2015 № 3 С. 5-17
Представлены результаты облучения керамики на основе оксида алюминия со структурой корунда (α-Аl2О3), приготовленной методом порошковой металлургии, импульсными потоками ионов и высокотемпературной плазмы с использованием установки Плазменный фокус (ПФ), а также лазерного излучения (ЛИ) режиме свободной генерации. Облучение в установке ПФ-5М проводилось в атмосфере азота и воздуха при плотности мощности излучения для потока плазмы q ≈ ...
Added: May 28, 2015
Lounis B., Buzdin A. I., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 105 No. 2 Article L020504
We theoretically study the nonequilibrium dynamics of the order parameter of a superconducting ring inhomogeneously quenched through its transition temperature. Numerical simulations based on spectral decomposition of the time-dependent Ginzburg-Landau equation reveal that current-carrying superconducting states can be generated in the ring under certain fast local temperature quench conditions. We also show that illumination of ...
Added: December 10, 2022
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. et al., В кн. : INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва. Ч. 1.: М. : Энергоатомиздат, 2010. С. 306-307.
В работе предлагаются методы повышения разрешающей способности, числовой аппретуры и глубины фокуса литографического технологического оборудования на основе использования иммерсионных жидкостей и эффекта обращения волнового фронта. Авторами также предлагается техническое решение позволяющее уменьшить минимальный характеристический размер элемента на подложке до нескольких десятков нанометров без перехода к экстремальным ультрафиолетовым и мягким рентгеновским источникам излучения. ...
Added: February 8, 2013
Lapshinov B. A., Magunov A. N., Алтухов А. А., В кн. : INTERMATIC - 2010. Материалы Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», 23-27 ноября 2010 г., Москва. Ч. 1.: М. : Энергоатомиздат, 2010. С. 103-106.
Экспериментально впервые определена температурная зависимость показателя преломления природного алмаза на длине волны 633 нм. Для измерения использован метод интерференции света в нагреваемой плоскопараллельной пластинке. Измерения проводились в температурном диапазоне 20 – 400°С. Обсуждаются перспективы применения полученных результатов в температурных измерениях. ...
Added: April 23, 2012
Vasin V. A., Ivashov E., Корпачев М. Ю. et al., Автоматизация и современные технологии 2013 № 4 С. 19-24
В статье рассмотрена многокритериальная задача принятия решения при проектировании ультрафиолетового литографического оборудования, которая решается путём применения обобщенного критерия оценки качества, включающего технические, технологические, структурные, экономические и экологические локальные критерии с учётом их весовых коэффициентов. Показано, что предпочтительными критериями при сравнении вариантов конструктивных решений рассматриваемых технологии и оборудования являются надёжность и ожидаемый экономический эффект. Предложены методы ...
Added: October 22, 2013
М. : Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, 2013
В трудах школы рассмотрены физические основы концентрированных потоков энергии и их воздействия на материалы и изделия космической техники, методы обработки материалов концентрированным излучением, воздействие лазерного и микроволнового излучения на вещество, концентрированные потоки энергии в экологии и медицине, в электронике, проблемы физики нейтрино и ядерной спектроскопии. ...
Added: November 28, 2013
Боровицкая И. В., Коршунов С. Н., Мансурова А. Н. et al., В кн. : Труды ХХХ Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 22 августа – 29 августа 2020г.). : М. : ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2020. С. 440-447.
Added: September 10, 2020
Калиновский В. С., Контрош Е. В., Климко Г. В. et al., Физика и техника полупроводников 2020 № 3 С. 285-291
Создание соединительных туннельных диодов с высокой плотностью пикового туннельного тока, превышающей плотность тока короткого замыкания фотоактивных p-n-переходов, является важной задачей при разработке многопереходных фотопреобразователей (AIIIBV) мощного оптического излучения. На основе результатов численного моделирования вольт-амперных характеристик туннельных диодов предложен способ повышения плотности пикового туннельного тока путем включения между вырожденными слоями туннельного диода тонкого нелегированного i-слоя толщиной ...
Added: November 13, 2020
Ivashov E., Князева М. П., Gamilova T. P., В кн. : Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 3: Материалы и технологии.: М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 83-87.
Рассмотрена модель формирования нанорисунка на подложке с учётом двух внутренних степеней свободы. Предложено устройство для формирования нанорисунка на подложке. ...
Added: February 5, 2013
Боровицкая И. В., Коршунов С. Н., Мансурова А. Н. et al., Вопросы атомной науки и техники. Термоядерный синтез 2021 Т. 44 № 3 С. 82-93
В работе представлен обзор исследований о влиянии интенсивных потоков ионов аргона и мощного импульсного лазерного излучения на свойства: микротвёрдость, радиационную эрозию, структурные изменения, сопротивление коррозии в жидком литии, а также изменение топографии поверхности в условиях отдельного и последовательного облучения ионами Ar+ и лазер-ного излучения малоактивируемых сплавов ванадия (V—0,59Ga; V—1,86Ga; V—3,49Ga; V—3,4Ga—0,62Si; V—4,51Ga—5,66Cr; V—4,8Ti—4,82Cr) в сравнении ...
Added: October 7, 2021
Ovcharenko H. V., Maizelis Z. A., Apostolov S. S. et al., Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics 2022 Vol. 106 No. 17 Article 174511
We theoretically study the propagation of a terahertz (THz) Gaussian beam through a thin sample of layered superconductor. We consider the beam axis and the superconducting layers to be perpendicular to the sample interface, while the electric field in the beam is perpendicular to the layers. We show that, in such a geometry, the Josephson ...
Added: February 6, 2023
Chereshnev R., Арёменко Е. А., Деев А. А. et al., Проблемы развития корабельного вооружения и судового радиоэлектронного оборудования 2015 № 4 С. 92-100
The paper discusses the methods and technologies used in the development of special software for control panel of shipboard laser complex (SLC) and a set of software simulators information flows generated by the equipment SLC interaction with the control panel. ...
Added: November 18, 2015
Barkhudarov E. M., Denisova N. V., Kossyi I. A. et al., Инженерная физика 2013 No. 11 P. 42-46
The results from experimental and theoretical research of the characteristics of microwave discharge performed at a low pressure of argon-mercury mixture in a coaxial waveguide are presented. The discharge is formed and maintained due to the transformation of microwave radiation into a surface wave propagating along the boundary between plasma and dielectric. The electron density ...
Added: July 13, 2015
Maslyaev S. A., Morozov E. V., Romakhin P.A. et al., Inorganic Materials: Applied Research 2016 Vol. 7 No. 3 P. 330-339
Alumina ceramics with corundum structure (α-Аl2О3) manufactured by powder technology method was irradiated by pulsed ion beams and high-temperature plasma in Plasma Focus device and by free running mode laser radiation. Irradiation in the PF-5M device was carried out with nitrogen and air working gases with power flux density for the plasma flow q ≈ ...
Added: May 17, 2016
Bakunina I. A., Мельников В. Ф., Шаин А. В. et al., Известия Крымской астрофизической обсерватории 2022 Т. 118 № 1 С. 65-74
To date, observational signs that determine the ability of solar active region to cause an eruption of matter into the high layers of the solar corona (CME) are not entirely clear. This makes it difficult to understand the physical mechanism of the CME trigger. This paper presents a search for observational signs that may indicate ...
Added: March 23, 2022
I. A. Bakunina, Melnikov V. F., Shain A. V. et al., Geomagnetism and Aeronomy 2022 Vol. 62 No. 8 P. 1066-1072
The dynamics of the preflare phase of microwave and ultraviolet emission for M-class X-ray flares in three active regions (ARs), two flares with coronal mass ejections (CMEs) and one flare without a CME, were considered. Extrapolation of the magnetic field in the AR corona showed that eruptive events were associated with the formation of a ...
Added: February 16, 2023
Lapshinov B. A., Magunov A. N., Приборы и техника эксперимента 2010 Т. 53 № 1 С. 159-164
A setup for measuring the temperature dependences of refractive indices n(T) of semiconductors and dielectrics in the temperature range 300–700 K at the wavelengths of a He–Ne laser л = 0.63, 1.15, and 3.39 µm is described. Samples in the form of plane–parallel plates serve as Fabry–Perot etalons the optical thickness of which depends on ...
Added: April 23, 2012
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 2.: М. : МГТУ МИРЭА, 2012. С. 112-113.
В статье показано применение литографической технологии формирования рисунка для производства микрочипов ДНК, а также предложено устройство позволяющее обеспечить возможность создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: February 5, 2013
Lapshinov B. A., Физика и химия обработки материалов 2014 № 2 С. 9-13
It was investigated influence of modes of laser removal of thin films from a surface of glass К8 on change of its transparent coefficient. Removal of thin films was made at various lengths of impulses of laser radiation - 200 mks, 100 ns and 12 ns. ...
Added: May 27, 2014
Иванов В. С., Krutikov V., Микрюков А. С. et al., Измерительная техника 2023 № 4 С. 5-10
The article presents the metrology of high-intensity laser radiation for technological and special equipment. A laser power stabilization system with an output power of 2-1·104 W has been developed and studied. The presented stabilization system makes it possible to reduce the error in the transmission of a unit of average laser radiation power when using ...
Added: February 5, 2024
Литографическая нанотехнология для создания устройств снабжения организма лекарственными препаратами
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции. : Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 51-51.
Рассмотрена конструктивная схема оборудования для нанотехнологии позволяющая учёным, инженерам и медикам проводить крупномасштабные исследования в области биологии и здравоохранения на клеточном и молекулярном уровнях. Представлено устройство снабжения организма лекарственными препаратами. ...
Added: May 17, 2013
Ivashov E., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции. : Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 50-50.
Рассмотрена схема реализации технологии быстрого картирования генетической информации в молекулах ДНК и РНК посредством литографической технологии формирования рисунка при промышленном производстве интегральных схем. Предложено устройство для создания фотомозаики чипа для фракционирования ДНК. ...
Added: May 17, 2013