?
Рентгеновская рефлектометрия in situ. Возможности и ограничения
С. 354–366.
We present experimental and calculated time dependences of parameters (density, surface roughness) for nanoscale films of carbon, aluminum and titanium. On the basis of these data the possibilities and limitations of the method of in situ X-ray reflectivity are demonstrated.
In book
М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2012.
Kalyabin D., Demidov V., Никитов С. А., Физика металлов и металловедение 2025 Т. 126 № 9 С. 1022–1030
Исследовано влияние толщин ферро- и антиферромагнитных слоев на магнитные свойства синтезированной структуры Pt/Co/FeMn/Pt на кремниевой подложке SiO2. Для экспериментального и теоретического исследования использовали петли магнитного гистерезиса, угловые зависимости спектров ферромагнитного резонанса и выражение для резонансного поля, полученное в ходе решения уравнения Ландау–Лифшица для динамики намагниченности. Установлены величины коэрцитивного поля, а также полей однонаправленной и одноосной анизотропии при толщинах антиферромагнитного слоя 5, ...
Added: February 5, 2026
Novoselova E., Smirnov I. S., Monakhov I. et al., В кн.: Тезисы докладов Всероссийского совещания по использованию рассеяния нейтронов и синхротронного излучения в конденсированных средах (РНСИ-КС-2014).: СПб.: ФГБУ "ПИЯФ" НИЦ "Курчатовский институт", 2014. С. 211–211.
The report presents the results of x-ray porosimetry of nanoscale films of polymethylphenylsiloxane. ...
Added: March 11, 2015
Smirnov I. S., Novoselova E., В кн.: Функциональные наноматериалы для космической техники. Труды 2-й Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых.: М.: МИЭМ, 2011. С. 31–38.
The problems of determining the parameters of nanoscale films in real time of their formation by in-situ X-ray reflectivity were observed ...
Added: February 20, 2014
Smirnov I. S., Novoselova E., Егоров А. А. et al., В кн.: Труды ХХ Международного совещания «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 5 июля - 10 июля 2010 г.)Т. 1-2.: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2010. С. 364–372.
Experimental results on the Au film deposition on the surface of the nanostructured substrate of sapphire by magnetron sputtering are presented. The surface morphology of the films at different modes of application and its change as a result of the heat treatment were studied by atomic force microscopy. ...
Added: March 28, 2013
Smirnov I. S., Monakhov I., Егоров А. А. et al., Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники 2013 № 1 С. 34–37
At present particular attention is given to techniques which allow the monitoring of single layer and multilayer thin film materials directly during their formation - in-situ methods. Application of these methods helps to ensure a film with desired characteristics, allowing quickly adjust process conditions. The paper describes the possibilities of the in-situ X-ray reflectivity ...
Added: March 19, 2013
Muslimov A. E., Butashin A. V., Konovko A. A. et al., Crystallography reports 2012 Vol. 57 No. 3 P. 415–420
The possibilities of obtaining ordered gold nanoarrays on sapphire surfaces with oriented nanorelief are demonstrated. The structures are morphologically described using atomic force microscopy data. A study of the angular dependence of the reflectivity in the visible range of electromagnetic waves has revealed some features which are likely to indicate surface plasmon-polariton excitation at the ...
Added: December 13, 2012
Novoselova E., Smirnov I. S., Yegorov A. A. et al., В кн.: IX Международная конференция и VIII Школа молодых ученых «Кремний-2012». Книга тезисов.: СПб.: Научно-образовательный центр нанотехнологий РАН, 2012. С. 304–304.
В докладе приводятся описание созданной экспериментальной установки для напыления наноразмерных пленок различных материалов, а также результаты экспериментов по магнетронному напылению наноразмерных пленок кремния и других материалов на различные подложки. На основе экспериментальных данных выявлены границы применимости метода и требования к процессам напыления и условиям измерения. ...
Added: December 13, 2012
Yegorov A. A., Monakhov I., Novoselova E. et al., В кн.: Рентгеновская оптика – 2012. Доклады конференции, г. Черноголовка, 1-4 октября 2012.: Черноголовка: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2012. С. 112–114.
The relevance of in situ methods for control of nanoscale films parameters is emphasized . The theoretical basis of the method of in situ X-ray reflectivity is considered. The calculations allowed us to estimate the upper-limit of the film absorption for each X-ray wavelength that restricts possibilities of the method ...
Added: December 13, 2012