?
Формирование нанопроволок на поверхности наноструктурированных кристаллов сапфира методом магнетронного напыления и термообработки
С. 364–372.
Smirnov I. S., Novoselova E., Егоров А. А., Асадчиков В. Е., Буташин А. В., Муслимов А. Э., Каневский В. М.
Experimental results on the Au film deposition on the surface of the nanostructured substrate of sapphire by magnetron sputtering are presented. The surface morphology of the films at different modes of application and its change as a result of the heat treatment were studied by atomic force microscopy.
In book
Т. 1-2. , М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2010.
Kalyabin D., Demidov V., Никитов С. А., Физика металлов и металловедение 2025 Т. 126 № 9 С. 1022–1030
Исследовано влияние толщин ферро- и антиферромагнитных слоев на магнитные свойства синтезированной структуры Pt/Co/FeMn/Pt на кремниевой подложке SiO2. Для экспериментального и теоретического исследования использовали петли магнитного гистерезиса, угловые зависимости спектров ферромагнитного резонанса и выражение для резонансного поля, полученное в ходе решения уравнения Ландау–Лифшица для динамики намагниченности. Установлены величины коэрцитивного поля, а также полей однонаправленной и одноосной анизотропии при толщинах антиферромагнитного слоя 5, ...
Added: February 5, 2026
Goncharov V., Sorokin K., Fiskin E., Journal of Physics: Conference Series 2017 Vol. 872 No. 1 Article 012046
The paper includes the description of the mathematical model, which simulates magnetic field distribution in the cathode area of the sputtering system discharge considering the current created by electrons moving along the surface of cathode-target. Presented results of the numerical modeling were received using the developed model. It is also shown that the current component, ...
Added: October 15, 2021
Monakhov I.S., Bondarenko G.G., Inorganic Materials: Applied Research 2019 Vol. 10 No. 5 P. 1058–1064
The kinetics of growth of a nanosized germanium film deposited by magnetron sputtering on the
Si(001) surface is studied using a developed experimental X-ray reflectometry technique distinguished by the
joint recording of specularly reflected and diffusely scattered radiation. By using this technique, it is possible
to perform in situ both the analysis of the morphology of the growing ...
Added: September 21, 2019
Monakhov I., Bondarenko G., Перспективные материалы 2019 № 2 С. 14–22
Исследована кинетика роста наноразмерной пленки германия, осажденной магнетронным
распылением на поверхности Si(001), с помощью разработанной экспериментальной
рентгенорефлектометрической методики, отличающейся совместной регистрацией
зеркально-отраженного и диффузно-рассеянного излучения. С помощью данной методики
можно осуществлять in situ как анализ морфологии растущей пленки, так и контроль
ее толщины с точностью до 1 нм. Получены зависимости интенсивности зеркального
отражения, диффузного рассеяния, скорости роста, среднеквадратичной шероховатости
пленки и ее ...
Added: January 31, 2019
Золотов Ф. И., Divochiy A., Vakhtomin Y. et al., Journal of Physics: Conference Series 2018 No. 1124 P. 1–6
We researched the relation between deposition and ultra-thin VN films parameters.
To conduct the experimental study we varied substrate temperature, Ar and N2 partial pressures
and deposition rate. The study allowed us to obtain the films with close to the bulk values
transition temperatures and implement such samples in order to fabricate superconducting
single-photon detectors ...
Added: December 27, 2018
Smirnov I. S., Monakhov I., Егоров А. А. et al., Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники 2013 № 1 С. 34–37
At present particular attention is given to techniques which allow the monitoring of single layer and multilayer thin film materials directly during their formation - in-situ methods. Application of these methods helps to ensure a film with desired characteristics, allowing quickly adjust process conditions. The paper describes the possibilities of the in-situ X-ray reflectivity ...
Added: March 19, 2013
Muslimov A. E., Butashin A. V., Konovko A. A. et al., Crystallography reports 2012 Vol. 57 No. 3 P. 415–420
The possibilities of obtaining ordered gold nanoarrays on sapphire surfaces with oriented nanorelief are demonstrated. The structures are morphologically described using atomic force microscopy data. A study of the angular dependence of the reflectivity in the visible range of electromagnetic waves has revealed some features which are likely to indicate surface plasmon-polariton excitation at the ...
Added: December 13, 2012
Novoselova E., Smirnov I. S., Yegorov A. A. et al., В кн.: IX Международная конференция и VIII Школа молодых ученых «Кремний-2012». Книга тезисов.: СПб.: Научно-образовательный центр нанотехнологий РАН, 2012. С. 304–304.
В докладе приводятся описание созданной экспериментальной установки для напыления наноразмерных пленок различных материалов, а также результаты экспериментов по магнетронному напылению наноразмерных пленок кремния и других материалов на различные подложки. На основе экспериментальных данных выявлены границы применимости метода и требования к процессам напыления и условиям измерения. ...
Added: December 13, 2012
Yegorov A. A., Monakhov I., Novoselova E. et al., В кн.: Труды ХХII Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 9-14 июля 2012 г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2012. С. 354–366.
We present experimental and calculated time dependences of parameters (density, surface roughness) for nanoscale films of carbon, aluminum and titanium. On the basis of these data the possibilities and limitations of the method of in situ X-ray reflectivity are demonstrated. ...
Added: December 13, 2012
Yegorov A. A., Monakhov I., Novoselova E. et al., В кн.: Рентгеновская оптика – 2012. Доклады конференции, г. Черноголовка, 1-4 октября 2012.: Черноголовка: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2012. С. 112–114.
The relevance of in situ methods for control of nanoscale films parameters is emphasized . The theoretical basis of the method of in situ X-ray reflectivity is considered. The calculations allowed us to estimate the upper-limit of the film absorption for each X-ray wavelength that restricts possibilities of the method ...
Added: December 13, 2012