?
Возможности и ограничения метода in situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров растущих пленок
С. 112–114.
The relevance of in situ methods for control of nanoscale films parameters is emphasized . The theoretical basis of the method of in situ X-ray reflectivity is considered. The calculations allowed us to estimate the upper-limit of the film absorption for each X-ray wavelength that restricts possibilities of the method
In book
Черноголовка: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2012.
Kalyabin D., Demidov V., Никитов С. А., Физика металлов и металловедение 2025 Т. 126 № 9 С. 1022–1030
Исследовано влияние толщин ферро- и антиферромагнитных слоев на магнитные свойства синтезированной структуры Pt/Co/FeMn/Pt на кремниевой подложке SiO2. Для экспериментального и теоретического исследования использовали петли магнитного гистерезиса, угловые зависимости спектров ферромагнитного резонанса и выражение для резонансного поля, полученное в ходе решения уравнения Ландау–Лифшица для динамики намагниченности. Установлены величины коэрцитивного поля, а также полей однонаправленной и одноосной анизотропии при толщинах антиферромагнитного слоя 5, ...
Added: February 5, 2026
Левин Г. Г., Minaev V., Самойленко А. А. et al., Оптика и спектроскопия 2023 Т. 131 № 2 С. 280–286
Представлена оригинальная методика точного восстановления фазы волнового фронта при интерферометрических измерениях, основанная на оценке амплитуд сигналов. Искомая фаза рассчитывается из геометрических принципов на основе восстановленных статистическими методами неискаженных значений амплитуд. Представлены как математические основы методики, так и результаты ее проверки с помощью численных экспериментов. Также приведены результаты физической экспериментальной проверки метода. Разработанная методика основана на ...
Added: March 23, 2023
Goncharov V., Sorokin K., Fiskin E., Journal of Physics: Conference Series 2017 Vol. 872 No. 1 Article 012046
The paper includes the description of the mathematical model, which simulates magnetic field distribution in the cathode area of the sputtering system discharge considering the current created by electrons moving along the surface of cathode-target. Presented results of the numerical modeling were received using the developed model. It is also shown that the current component, ...
Added: October 15, 2021
Monakhov I.S., Bondarenko G.G., Inorganic Materials: Applied Research 2019 Vol. 10 No. 5 P. 1058–1064
The kinetics of growth of a nanosized germanium film deposited by magnetron sputtering on the
Si(001) surface is studied using a developed experimental X-ray reflectometry technique distinguished by the
joint recording of specularly reflected and diffusely scattered radiation. By using this technique, it is possible
to perform in situ both the analysis of the morphology of the growing ...
Added: September 21, 2019
Мелентьев П. Н., Кузин А. А., Gritchenko A. S. et al., Optics Communications 2017 Vol. 393 No. 15 P. 509–513
We have realized a plasmonic interferometer formed by a nanoslit and a nanogroove in a single-crystal gold film. The possibility of measuring laser pulses of ultimately short durations, corresponding to two periods of a light wave (6 fs pulse duration), has been demonstrated using this interferometer. ...
Added: February 4, 2019
Monakhov I., Bondarenko G., Перспективные материалы 2019 № 2 С. 14–22
Исследована кинетика роста наноразмерной пленки германия, осажденной магнетронным
распылением на поверхности Si(001), с помощью разработанной экспериментальной
рентгенорефлектометрической методики, отличающейся совместной регистрацией
зеркально-отраженного и диффузно-рассеянного излучения. С помощью данной методики
можно осуществлять in situ как анализ морфологии растущей пленки, так и контроль
ее толщины с точностью до 1 нм. Получены зависимости интенсивности зеркального
отражения, диффузного рассеяния, скорости роста, среднеквадратичной шероховатости
пленки и ее ...
Added: January 31, 2019
Золотов Ф. И., Divochiy A., Vakhtomin Y. et al., Journal of Physics: Conference Series 2018 No. 1124 P. 1–6
We researched the relation between deposition and ultra-thin VN films parameters.
To conduct the experimental study we varied substrate temperature, Ar and N2 partial pressures
and deposition rate. The study allowed us to obtain the films with close to the bulk values
transition temperatures and implement such samples in order to fabricate superconducting
single-photon detectors ...
Added: December 27, 2018
Smirnov I. S., Novoselova E., Monakhov I. et al., Russian Microelectronics 2014 Vol. 43 No. 8 P. 587–589
The monitoring methods for measuring the film structure parameters in formation process, namely, the in situ methods, are currently of special significance. Their application provides obtaining the films with the given characteristics, which results in a fast correction of the technological modes. The possibilities of the in situ method of the X-ray reflectometry for defining ...
Added: March 11, 2015
Smirnov I. S., Novoselova E., Егоров А. А. et al., В кн.: Труды ХХ Международного совещания «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 5 июля - 10 июля 2010 г.)Т. 1-2.: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2010. С. 364–372.
Experimental results on the Au film deposition on the surface of the nanostructured substrate of sapphire by magnetron sputtering are presented. The surface morphology of the films at different modes of application and its change as a result of the heat treatment were studied by atomic force microscopy. ...
Added: March 28, 2013
Smirnov I. S., Monakhov I., Егоров А. А. et al., Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники 2013 № 1 С. 34–37
At present particular attention is given to techniques which allow the monitoring of single layer and multilayer thin film materials directly during their formation - in-situ methods. Application of these methods helps to ensure a film with desired characteristics, allowing quickly adjust process conditions. The paper describes the possibilities of the in-situ X-ray reflectivity ...
Added: March 19, 2013
Muslimov A. E., Butashin A. V., Konovko A. A. et al., Crystallography reports 2012 Vol. 57 No. 3 P. 415–420
The possibilities of obtaining ordered gold nanoarrays on sapphire surfaces with oriented nanorelief are demonstrated. The structures are morphologically described using atomic force microscopy data. A study of the angular dependence of the reflectivity in the visible range of electromagnetic waves has revealed some features which are likely to indicate surface plasmon-polariton excitation at the ...
Added: December 13, 2012
Yegorov A. A., Monakhov I., Novoselova E. et al., В кн.: Труды ХХII Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 9-14 июля 2012 г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2012. С. 354–366.
We present experimental and calculated time dependences of parameters (density, surface roughness) for nanoscale films of carbon, aluminum and titanium. On the basis of these data the possibilities and limitations of the method of in situ X-ray reflectivity are demonstrated. ...
Added: December 13, 2012