• A
  • A
  • A
  • АБВ
  • АБВ
  • АБВ
  • A
  • A
  • A
  • A
  • A
Обычная версия сайта
  • RU
  • EN
  • HSE University
  • Publications
  • Book chapter
  • Технология формирования и диагностика параметров растущих наноразмерных пленок
  • RU
  • EN
Расширенный поиск
Высшая школа экономики
Национальный исследовательский университет
Priority areas
  • business informatics
  • economics
  • engineering science
  • humanitarian
  • IT and mathematics
  • law
  • management
  • mathematics
  • sociology
  • state and public administration
by year
  • 2027
  • 2026
  • 2025
  • 2024
  • 2023
  • 2022
  • 2021
  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011
  • 2010
  • 2009
  • 2008
  • 2007
  • 2006
  • 2005
  • 2004
  • 2003
  • 2002
  • 2001
  • 2000
  • 1999
  • 1998
  • 1997
  • 1996
  • 1995
  • 1994
  • 1993
  • 1992
  • 1991
  • 1990
  • 1989
  • 1988
  • 1987
  • 1986
  • 1985
  • 1984
  • 1983
  • 1982
  • 1981
  • 1980
  • 1979
  • 1978
  • 1977
  • 1976
  • 1975
  • 1974
  • 1973
  • 1972
  • 1971
  • 1970
  • 1969
  • 1968
  • 1967
  • 1966
  • 1965
  • 1964
  • 1963
  • 1958
  • More
Subject
News
May 25, 2026
HSE Scientists Train Neural Network to 'Hear' Faults in Electric Motors
Researchers at the AI and Digital Science Institute of the HSE Faculty of Computer Science have developed a new method—the Signature-Guided Data Augmentation (SGDA) framework—that achieves 99% accuracy in motor fault detection and 86% accuracy in fault classification. The application of this approach can reduce industrial equipment repair costs, minimise downtime, and improve production safety. The study results have been published in Engineering Applications of Artificial Intelligence.
May 25, 2026
'The Humanities Serve as a Conscience'
Maria Mizernaia studies Soviet literature and the history of book publishing. In this interview for the HSE Young Scientists project, she discusses plans to publish a novel about besieged Leningrad, AI-provoked reflections on what it means to be human, and how novels can help satisfy our dopamine hunger.
May 25, 2026
Is It Possible to Predict a Citys Life Based on the Shape of Its Neighbourhoods?
Is it possible to predict, based on the configuration of streets and buildings, where a café will open or where traffic congestion will occur? Participants in the Spatial Analysis and Modelling of Urban Processes research and study group use open data and machine learning to identify universal patterns. Alexander Sheludkov and Eduard Somov discuss the purpose of comparing cities, the need for new forms of urban statistics, and how open data is transforming approaches to urban studies.

 

Have you spotted a typo?
Highlight it, click Ctrl+Enter and send us a message. Thank you for your help!

Publications
  • Books
  • Articles
  • Chapters of books
  • Working papers
  • Report a publication
  • Research at HSE

?

Технология формирования и диагностика параметров растущих наноразмерных пленок

С. 31–38.
Smirnov I. S., Novoselova E.
The problems of determining the parameters of nanoscale films in real time of their formation by in-situ X-ray reflectivity were observed
Language: Russian
Full text
Keywords: наноразмерные пленки X-ray reflectivitynanofilmsрентгеновская рефлектотметрия

In book

Функциональные наноматериалы для космической техники. Труды 2-й Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых
Функциональные наноматериалы для космической техники. Труды 2-й Всероссийской школы-семинара студентов, аспирантов и молодых ученых
М.: МИЭМ, 2011.
Similar publications
The enhancement of the critical temperature in thin aluminium films
Sedov E., Golokolenov I., Konstantinidis G. et al., , in: Cryogenics 2019. Proceedings of the 15th IIR International Conference: Prague, Czech Republic, April 8-11, 2019Vol. 15.: P.: IIF-IIR, 2019. P. 363–368.
It is well known that new effects appear in superconductors with the reduction of their size. Among them one is the most interesting – phenomenon of changing of critical temperature. It can be both decrease and increase in different metals, however, despite the number of existing works, there is still no generally accepted conception of ...
Added: January 11, 2020
Nanoarchitecture: Toward Quantum-Size Tuning of Superconductivity.
Arutyunov K., Zavialov Vitalii, Sedov E. et al., Physica Status Solidi - Rapid Research Letters 2019 No. 1800317 P. 1–5
Quantum confinement is known to affect a nanosized superconductor  through quantum-size variations of the electronic density of states. Here, it is  demonstrate that there is another quantum-confinement mechanism overlooked in previous studies. In particular, it is found that the electron–electron attraction can be enhanced due to quantum-confinement modifications of electronic wave functions. The superconducting correlations are strengthened  by such quantum ...
Added: January 18, 2019
Влияние отжига на строение пленок ZnO, выращенных магнетронным распылением
Налимов С. А., Шашин Д. Е., Yurin A., В кн.: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения: материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC– 2018», 19–23 ноября 2018 г.: М.: Московский технологический университет (МИРЭА), 2018. Гл. 1 С. 156–159.
На подложках аморфных и кристаллических материалов реактивным магнетронным распылением выращены (нетангенциальный механизм роста) пленки ZnO с текстурированием кристаллической фазы по направлению <0001>, соответствующему оси симметрии 63. Отжиг на воздухе уменьшает содержание рентгеноаморфной фазы, концентрацию собственных точечных дефектов и разориентацию кристаллитов пленок ZnO. ...
Added: December 12, 2018
Защитные наноструктурированные пленки нитридов металлов (TiN, ZrN, AlN) и углеродных материалов
Налимов С. А., Багдасарян С. А., Yurin A. et al., В кн.: Материалы XIII Международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология» (Москва, КВЦ «Сокольники, 2018, 24-26 апреля 2018г.). М.: Новелла. 2018, 272с.: Новелла, 2018. С. 154–159.
The influence of formation conditions on the composition and structure of nanostructured films of metal nitrides (TiN, ZrN and AlN), diamond films and diamond-like carbon films is considered. Films of TiN, ZrN and AlN are obtained by arc discharge and RF-magnetron sputtering methods. Diamond films are grown from the gas mixture of hydrogen and methane, activated by an arc ...
Added: June 1, 2018
Комплементарные методы в исследованиях нанотехнологий
Prutskov G. V., Пашаев Э. М., Субботин И. А. et al., В кн.: Первый российский кристаллографический конгресс. Сборник тезисов.: М.: НП-Принт, 2016. С. 134–134.
В работе показано использование комплементарного подхода к анализу серии разнородных экспериментов на примере рентгеновских методов исследований. ...
Added: February 14, 2017
Кинетика формирования фосфолипидного мультислоя на поверхности кремнезоля
Тихонов А. М., Асадчиков В. Е., Волков Ю. О. et al., Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики 2016 Т. 104 № 12 С. 880–887
Applying a model-independent approach to the electron density profile reconstruction according to X-ray reflectivity, we have traced the process of ordering a multilayer of DSPC bilayers on silica sol substrate. In our opinion, electroporation bilayers in the field of anionic silica nanoparticles dramatically accelerates the process of saturation of Na+ and H2O, which explains how ...
Added: December 15, 2016
X-ray study of nanosized multilayer heterosturctures
Likhachev I. A., Subbotin I. A., Prutskov G. V. et al., , in: First AfLS Conference and Workshop 2015. Book of abstracts.: [б.и.], 2015. P. 23–23.
A complementary approach for studying multilayer heterostructes with X-Ray investigation methods was represented. Approach examination was conducted by analysis XRR and HRXRD data for the δ-Mn/InGaAs/GaAs heterostructure and series of XRR experiments with a different wavelengths for the Fe/Cr/Gd/Cr superlattice. ...
Added: June 17, 2016
Исследование многослойных структур на основе оксида европия совместным анализом рентгеновских методов
Prutskov G. V., Rogachev A., Terevtyev A. V., В кн.: Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ им. Е.В. Арменского. Материалы конференции.: М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2016. С. 284–284.
В работе показаны результаты структурных исследований гетерокомпозиций Si/EuO/cap-layer, при помощи совместной обработки результатов рентгеновской дифракции и рефлектометрии. Получены профили распределения компонент поляризуемости для образцов по глубине. ...
Added: June 17, 2016
Исследование материалов спинтроники совместной обработкой данных рентгеновской дифракции и рефлектометрии
Prutskov G. V., Лихачев И. А., В кн.: Сборник аннотаций национальной молодежной научной школы для молодых ученых, аспирантов и студентов по современным методам исследования наносистем и материалов "Синхротронные и нейтронные исследования" (СИН НАНО 2015), г. Москва, 6 - 10 июля 2015 г.: М.: НИЦ «Курчатовский институт», 2015. С. 105–106.
В работе описан подход комплексного обсчета данных рентгеновской дифракции и рефлектометрии для структур спинтроники. ...
Added: July 13, 2015
Межслойное взаимодействие в многослойных структурах Fe/Cr/Gd
Дровосеков А. Б., Крейнес Н. М., Савицкий А. О. et al., Журнал экспериментальной и теоретической физики 2015 Т. 147 № 6 С. 1204–1219
The effect of the chromium layer thickness on the magnetic state of an [Fe/Cr/Gd/Cr]n multilayer structure is studied. A series of Fe/Cr/Gd structures with Cr layer thicknesses of 4–30 Å is studied by SQUID magnetometry and ferromagnetic resonance in the temperature range 4.2–300 K. The obtained experimental results are described in terms of an effective ...
Added: June 9, 2015
Порометрия наноразмерных пленок рентгеновским методом
Novoselova E., Smirnov I. S., Monakhov I. et al., В кн.: Тезисы докладов Всероссийского совещания по использованию рассеяния нейтронов и синхротронного излучения в конденсированных средах (РНСИ-КС-2014).: СПб.: ФГБУ "ПИЯФ" НИЦ "Курчатовский институт", 2014. С. 211–211.
The report presents the results of x-ray porosimetry of nanoscale films of polymethylphenylsiloxane. ...
Added: March 11, 2015
Контроль структуры новых функциональных многослойных наноразмерных материалов комплементарными методами
Prutskov G. V., Ковальчук М. В., Пашаев Э. М. et al., В кн.: Нанотехнологии функциональных материалов (НФМ’14): Труды международной научно-технической конференции.: СПб.: Издательство Санкт-Петербургского политехнического университета, 2014. С. 423–423.
В статье приводится исследование структур различных новых функциональных материалов, таких как эпитаксиальные слои оксида европия на кремнии или гетероструктуры на основе твердых растворов вида InP/AlGaAs/InAs/InGaAs/InAlAs при помощи методов высокоразрешающей рентгеновской дифракции и рентгеновской рефлектометрии. Полученные этими методиками результаты показали хорошее согласование как друг с другом, так и с другими методами изучения структурного совершенства материалов, такими как ...
Added: December 25, 2014
Development of theoretical and experimental approaches for determination of real structure parameters of multilayered heterosystems
Prutskov G. V., Субботин И. А., Ковальчук М. В. et al., , in: XTOP 2014, Book of abstract. 12th Biennial Conference on High-Resolution X-Ray Diffraction and Imaging, 14 - 19 september 2014.: [б.и.], 2014. P. 186–186.
In this work authors presented new approach to investigation of multilayer heterostructures by joint calculation HRXRD and XRR data. ...
Added: December 25, 2014
In situ x-ray reflectivity for thin-film deposition monitoring and control
Smirnov I. S., Kondrashov P. E., Baranov A. M., Solid state Technology 1999 Vol. 42 No. 5 P. 53–58
Added: March 22, 2013
Применение метода in-situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок кремния
Smirnov I. S., Monakhov I., Егоров А. А. et al., Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники 2013 № 1 С. 34–37
At present particular attention is given to    techniques  which allow the monitoring of single layer  and multilayer thin film materials   directly during their formation - in-situ methods. Application of these methods helps to ensure a film with desired characteristics, allowing quickly adjust process conditions. The paper describes the possibilities of the in-situ X-ray reflectivity ...
Added: March 19, 2013
Применение метода in-situ рентгеновской рефлектометрии для определения параметров наноразмерных пленок кремния
Novoselova E., Smirnov I. S., Yegorov A. A. et al., В кн.: IX Международная конференция и VIII Школа молодых ученых «Кремний-2012». Книга тезисов.: СПб.: Научно-образовательный центр нанотехнологий РАН, 2012. С. 304–304.
В докладе приводятся описание созданной экспериментальной установки для напыления наноразмерных пленок различных материалов, а также результаты экспериментов по магнетронному напылению наноразмерных пленок кремния и других материалов на различные подложки. На основе экспериментальных данных выявлены границы применимости метода и требования к процессам напыления и условиям измерения. ...
Added: December 13, 2012
Рентгеновская рефлектометрия in situ. Возможности и ограничения
Yegorov A. A., Monakhov I., Novoselova E. et al., В кн.: Труды ХХII Международной конференции «Радиационная физика твердого тела» (Севастополь, 9-14 июля 2012 г.).: М.: ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2012. С. 354–366.
We present experimental and calculated time dependences of parameters (density, surface roughness) for nanoscale films of carbon, aluminum and titanium. On the basis of these data the possibilities and limitations of the method of in situ X-ray reflectivity are demonstrated. ...
Added: December 13, 2012
  • About
  • About
  • Key Figures & Facts
  • Sustainability at HSE University
  • Faculties & Departments
  • International Partnerships
  • Faculty & Staff
  • HSE Buildings
  • HSE University for Persons with Disabilities
  • Public Enquiries
  • Studies
  • Admissions
  • Programme Catalogue
  • Undergraduate
  • Graduate
  • Exchange Programmes
  • Summer University
  • Summer Schools
  • Semester in Moscow
  • Business Internship
  • Research
  • International Laboratories
  • Research Centres
  • Research Projects
  • Monitoring Studies
  • Conferences & Seminars
  • Academic Jobs
  • Yasin (April) International Academic Conference on Economic and Social Development
  • Media & Resources
  • Publications by staff
  • HSE Journals
  • Publishing House
  • iq.hse.ru: commentary by HSE experts
  • Library
  • Economic & Social Data Archive
  • Video
  • HSE Repository of Socio-Economic Information
  • HSE1993–2026
  • Contacts
  • Copyright
  • Privacy Policy
  • Site Map
Edit