?
Задача морфологической коррекции в литографической технологии для опто- и наноэлектроники
С. 54-55.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С.
В работе приведено решение задачи морфологической фильтрации одномерной функции, как задача поиска экстремума функционала штрафа в литографической технологии для опто- и наноэлектроники. Рассмотрено также применение методов математической фильтрации и сегментации в иммерсионной ультрафиолетовой литографии.
В книге
Ульяновск : УлГУ, 2012
Ульяновск : УлГУ, 2012
«Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы»: Труды XV международной конференции. – Ульяновск: УлГУ, 2012.
В сборнике собраны труды участников конференции, посвященной теоретическому исследованию и моделированию нанотехнологий, наноустройств , наноэлектронных приборов, изучению оптических свойств квантово-размерных структур, наносенсоров, полупроводников, физических процессов в полупроводниковых приборах и схемах.
Рассматриваются также вопросы стратегии финансирования и организации микро- и нанотехнологических исследований и разработок. ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.
Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., В кн. : Опто-, наноэлектроника, наноматериалы и микросистемы: Труды XV международной конференции. : Ульяновск : УлГУ, 2012. С. 52-53.
Приведено решение задачи представления коллекции изображений на плоскости в ультрафиолетовой литографической технологии. Предложены методы снижения размерности объектов на основе линейных методов использующих дискретный вариант разложения Краунена – Лоэва. Предложены также нелинейные методы снижения размерности в ультрафиолетовой литографической технологии на основе отображения множества векторов многомерного пространства в пространство малой размерности. Рассмотрено применение коррекции оптического эффекта близости ...
Добавлено: 17 мая 2013 г.
Арутюнов К. Ю., Уфа: НИЦ «Аэтерна», 2020
Физические ограничения и перспективы развития наноэлектроники ...
Добавлено: 25 января 2021 г.
Лапшинов Б. А., М. : Московский государственный институт электроники и математики, 2011
Изложены принципы и методы выполнения всех операций, составляющих единый технологический процесс фотолитографии. Дан анализ ограничений разрешающей способности традиционной фотолитографии и показаны пути их преодоления. Приведены сведения о развитии литографических процессов и основные принципы их реализации.
Для студентов 3 и 4 курсов обучающихся по специальности 210100 «Электронное машиностроение». ...
Добавлено: 23 апреля 2012 г.
М. : ГУ ВНИИТЭ ("Всероссийский научно-исследовательский институт технической эстетики"), 2010
Сборник трудов по тематическому направлению развитие ННС «Наноэлектроника» подготовлен в рамках работ по федеральной целевой программе «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008-2010 годы» по Государственному контракту Всероссийская школа семинар студентов, аспирантов и молодых ученых по тематическому направлению деятельности национальной нанотехнологической сети «Наноэлектроника» от 11 октября 2010 г. №16.647.12.2001 Шифр «2010-02-2.3-01».
Сборник трудов по тематическому ...
Добавлено: 12 апреля 2012 г.
Саратов : ООО "Буква", 2014
В докладах научно-технической конференции нашли отражение результаты теоретических и экспериментальных исследований в области электродинамики и микроволновой техники, микроволновой электроники, наноэлектроники, силовой электроники, полупроводниковой электроники, электроэнергетики, систем измерительной и медицинской техники. Излагаются результаты исследования резонаторных и замедляющих систем, устройств СВЧ, приборов вакуумной, плазменной и микроэлектроники, технологические вопросы изготовления изделий электронной техники. Сборник состоит из двух томов ...
Добавлено: 3 октября 2014 г.
Н. Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2013
НАНОФИЗИКА И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Труды
XVII Международного симпозиума
Нижний Новгород, 11–15 марта 2013 г.
Том I: секции 1, 2, 4, 5
Нижний Новгород
Издательство Нижегородского госуниверситета
2013 ...
Добавлено: 26 февраля 2017 г.
Washington : SPIE, 2021
Добавлено: 30 августа 2021 г.
SPIE, 2019
Добавлено: 30 ноября 2019 г.
М., Зеленоград : ИППМ РАН, 2018
Материалы сборника отражают современное состояние российской микро- и наноэлектроники, методов и средств разработки микро- и наноэлектронных схем и систем и являются важным источником информации по перспективным направлениям исследований и инвестиций в сфере микро- и наноэлектроники.
Представленные работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами РАН, специалистами работающих в России научно-производственных организаций, преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами высших ...
Добавлено: 21 октября 2018 г.
Блохина Ю. В., Ильин А. С., Биоорганическая химия 2021 Т. 47 № 6 С. 768-774
Патентная литература представляет собой неотъемлемую и значительную часть знаний человечества, пренебрежение которой может негативным образом сказаться на качестве работы исследователя. Поиск по патентным базам помогает как разыскивать подробные технические данные об объектах или процессах, так и оценивать возможности патентования собственных разработок. При этом подобный поиск несколько отличается от использования стандартных интернет-поисковиков или систем научного цитирования. ...
Добавлено: 28 октября 2021 г.
Н. Новгород : ИПФ РАН, 2023
Том 1
Секция 1 Сверхпроводящие наносистемы
Секция 2 Магнитные наноструктуры
Секция 4 Измерения и технологии атомарного и нанометрового масштаба на основе зондовых, электронно-лучевых и ионно-лучевых методов
Секция 6 Твердотельная элементная база квантовых технологий ...
Добавлено: 26 марта 2023 г.
Костомаров П. С., В кн. : Научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых специалистов МИЭМ НИУ ВШЭ. Тезисы докладов. : М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 253-254.
В работе рассмотрены аспекты практического применения метода иммерсионной литографии при выборе технологического решения установки, удовлетворяющей производственным требованиям: проектные нормы, диаметры полупроводниковой пластины, скорость обработки. ...
Добавлено: 21 сентября 2013 г.
М. : НИЯУ МИФИ, 2011
Сборник научных трудов содержит статьи по материалам докладов 13-й Российской научно-технической конференции «Электроника, микро и наноэлектроника» (г. Суздаль, 27 июня – 1 июля 2011 г.). Представленные работы выполнены преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами НИЯУ МИФИ, а также специалистами других вузов и научно-исследовательских организаций. Сборник предназначен для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся работами в области ...
Добавлено: 19 февраля 2013 г.
Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, 2020
Труды ХХIV Международного симпозиума «Нанофизика и наноэлектроника», 10-13 марта 2020, Нижний Новгород, в двух томах, т1 и т.2, ...
Добавлено: 9 ноября 2020 г.
Трубочкина Н. К., М. : Юрайт, 2016
В учебнике представлены базовые понятия теории переходной схемотехники, необходимые для разработки новой элементной базы суперкомпьютеров различных типов. Теорию переходной схемотехники отличает новая концепция синтеза наноструктур, в которой минимальным компонентом для синтеза является не транзистор, а материал и переход (связь) между материалами.
Приводятся данные экспериментального 2D и3D моделирования физических и электрических процессов в кремниевых переходных наноструктурах с ...
Добавлено: 13 февраля 2017 г.
SPIE, 2018
Сборник содержит тезисы докладов, представленных на Международной конференции «Микро- и наноэлектроника – 2018» (ICMNE-2018), включающей расширенную сессию «Квантовая информатика» (QI-2018). Тематика конференции охватывает
большинство областей физики микро- и наноразмерных приборов, а также микро- и
наноэлектронных технологий и концентрируется на освещении последних достижений в этой сфере. Она продолжает серию всероссийских (с 1994 года) и международных конференций (с 2003 ...
Добавлено: 22 октября 2018 г.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., В кн. : Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва. Ч. 7: Проблемы надежности и качества.: М. : МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 88-92.
В работе рассматриваются основные дефекты технологического процесса иммерсионной ультрафиолетовой литографии, предлагается упорядоченная система критериев оценки качества и интегральный обобщенный критерий качества, используемые при автоматизированном проектировании оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии и позволяющие выполнить научно обоснованный, технически целесообразный, технологически и экономически выгодный выбор параметров нового технического решения. ...
Добавлено: 5 февраля 2013 г.
М. : НИЯУ МИФИ, 2009
Конференция включала работу 3-х секций: 1) Проектирование СБИС, Наноэлектроника; 2) Электронные системы; 3) Радиационная стойкость электронных устройств и систем .
Результаты исследований, представленных в сборнике, будут интересны специалистам в области современной электроники, а также аспирантам и студентам старших курсов электронных специальностей. ...
Добавлено: 11 августа 2013 г.
Критерий качества в автоматизированном проектировании устройств оборудования иммерсионной литографии
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России 2012 № 3 С. 69-77
Рассмотрен подход, позволяющий осуществлять выбор параметров нового технического решения, принимаемого за основу при создании оборудования иммерсионной ультрафиолетовой литографии. Представлено устройство, обеспечивающее возможность формирования дорожек нанометрового диапазона с проектными нормами не более 32 нм, и минимальной технологической дефектностью процесса. ...
Добавлено: 16 ноября 2012 г.
Н. Новгород : Издательство Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, 2014
НАНОФИЗИКА И НАНОЭЛЕКТРОНИКА
Труды
XVIII Международного симпозиума
Нижний Новгород, 10–14 марта 2014 г.
Том I: секции 1, 2, 4, 5
Нижний Новгород
Издательство Нижегородского госуниверситета
2014 ...
Добавлено: 24 февраля 2017 г.
Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н. и др., Нелинейный мир 2012 Т. 10 № 7 С. 454-459
Предложена математическая модель непараметрической оценки плотности вероятности в условиях малых выборок обеспечивающая возможность технического моделирования без использования реальных технологических процессов. Реализация «обхода» проблем малых выборок обеспечивает увеличение объема исходных данных и повышает эффективность технического моделирования. Представлено устройство, обеспечивающее возможность формирования дорожек диапазона порядка 32 нм, и минимальной технологической дефектностью процесса. ...
Добавлено: 16 ноября 2012 г.
М. : НИЯУ МИФИ, 2013
Сборник научных трудов содержит статьи по материалам докладов 15-й Российской научно-технической конференции «Электроника, микро и наноэлектроника» (г. Суздаль, 25 – 28 июня 2013 г.).
Представленные работы выполнены преподавателями, научными сотрудниками, аспирантами и студентами НИЯУ МИФИ, НИИСИ РАН, а также специалистами других научно-исследовательских организаций и вузов.
Сборник предназначен для специалистов, аспирантов и студентов, интересующихся работами в области современной ...
Добавлено: 10 июня 2013 г.
ИППМ РАН, 2021
Выпуск III настоящего периодического издания содержит 31 доклад из числа представленных на X
Юбилейную Всероссийскую научно-техническую конференцию «Проблемы разработки
перспективных микро- и наноэлектронных систем – 2020» (Москва, Зеленоград, март-ноябрь 2021 г.).
Работы выполнены научными сотрудниками и аспирантами институтов РАН, специалистами
российских научно-производственных организаций и предприятий, преподавателями, научными
сотрудниками, аспирантами и студентами вузов, а также сотрудниками ряда зарубежных организаций
и вузов, работающих ...
Добавлено: 12 ноября 2021 г.