• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Диагностика параметров наноразмерных пленок в реальном времени их формирования методом рентгеновской рефлектометрии in-situ

С. 87-89.
Новоселова Е. Г., Монахов И. С., Егоров А. А., Смирнов И. С.

Описан метод in-situ рентгеновской рефлектометрии. Приведены результаты определения параметров тонких пленок титана и кремния, нанесенных на кремниевые подложки, в реальном времени их формирования.

В книге

Черноголовка: Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, 2010.