• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Термостабилизация элементов в устройствах сканирующей зондовой микроскопии

С. 237-239.
Ефимов И. А., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С., Лучников П. А.

В настоящей работе рассмотрено одно из решений обеспечения термостабилизации пьезопривода и зонда в системе устройства СЗМ. Предложенный метод позволяет обеспечить теплоотвод от пьезопривода и зонда и, в конечном итоге, реализует их термостабильность.