Глава
Модель морфологической коррекции в литографической технологии
С. 163-166.
Рассмотрено решение задачи морфологической фильтрации одномерной функции как задачу поиска экстремума функционала штрафа. Представлено практическое применение фильтрации и сегментации в иммерсионной ультрафиолетовой литографии (ИУФЛ).
Модель литографического процесса, однажды полученная на основании этих данных, позволяет проводить точную коррекцию любых дополнительных более сложных геометрий.
Язык:
русский
Полный текст (PDF, 1.53 Мб)