• A
  • A
  • A
  • АБB
  • АБB
  • АБB
  • А
  • А
  • А
  • А
  • А
Обычная версия сайта

Глава

Модель морфологической коррекции в литографической технологии

С. 163-166.
Ивашов Е. Н., Костомаров П. С.

Рассмотрено решение задачи морфологической фильтрации одномерной функции как задачу поиска экстремума функционала штрафа. Представлено практическое применение фильтрации и сегментации в иммерсионной ультрафиолетовой литографии (ИУФЛ).

Модель литографического процесса, однажды полученная на основании этих данных, позволяет проводить точную коррекцию любых дополнительных более сложных геометрий.